ICS 27.010 F:01
GB
中华人民共和国国家标准
GB 29447--2012
多晶硅企业单位产品能源消耗限额
The norm of energy consumption per unit products of polysilicon enterprise
2013-10-01实施
2012-12-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB 29447—2012
前言
本标准4.1、4.2为强制性的，其余为推荐性的。 本标准由国家发展和改革委员会资源节约与环境保护司、工业与信息化部节能与综合利用司提出。 本标准由全国能源基础与管理标准化技术委员会（SAC/TC20)和全国有色金属标准化技术委员
会（SAC/TC243）归口。
本标准起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室、中国恩菲工程技术有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、 江西赛维LDK光伏硅科技有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、亚洲硅业（青海）有限公司、特变电工新疆硅业有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司。
本标准主要起草人：严大洲、汤传斌、肖荣晖、贺东江、万烨、杜俊平、袁金满、谢秦、银波。 GB29447—2012
多晶硅企业单位产品能源消耗限额
1范围
本标准规定了多晶硅企业单位产品能源消耗（以下简称能耗）限额的技术要求、统计范围、计算方法、计算范围、节能管理与措施。
本标准适用于所有以工业硅、氯气、氢气为原料生产三氯氢硅，以及副产物四氯化硅经氢化生产三氯氢硅，三氯氢硅经精馅提纯后，用高纯氢气还原生产多晶硅的企业单位产品能耗的计算、考核，以及对新建项目的能耗控制。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2589 综合能耗计算通则 GB/T12963 硅多晶 GB/T17167 用能单位能源计量器具配备和管理通则 GB/T 25074 太阳能级多晶硅
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3. 1
工序能源单耗unitenergyconsumptioninworkingprocedure 工序生产过程中生产单位合格产品消耗的能源量。
3. 2
工序实物单耗unitobjectconsumptioninworkingprocedure 工序生产过程中生产单位合格产品消耗的某种能源实物量。
3. 3
工艺能源单耗unitenergyconsumptionoftechnology 工艺生产过程中生产单位合格产品消耗的能源量。
3. 4
工艺电耗unit electricityconsumptionof technology 工艺生产过程中生产单位合格产品消耗的电量。
3.5
蒸汽消耗 steamconsumption 生产单位合格产品所消耗的蒸汽。 GB29447--2012
3. 6
综合电能源单耗unitconsumptionofintegrateelectricity 即单位产品综合电能消耗，是指工艺电能源单耗与工艺产品辅助电能消耗及损耗分摊量之和。
3. 7
综合能源单耗unitconsumption of integrateenergy 即单位产品综合能源消耗，是指工艺能源单耗与工艺产品辅助能耗及损耗分摊量之和。
4技术要求
4.1 现有多晶硅企业单位产品能耗限定值
现有多晶硅企业单位产品能耗限定值应符合表1的要求。
表1多晶硅企业单位产品能耗限定值
每公斤多晶硅综合能耗限定值
序号
工艺、工序
工艺电耗 蒸汽消耗 综合电耗 kW · h/kg
综合能耗 kgce/kg ≤3. 23 ≤8.45 13.16 ≤9.59 ≤10.62 ≤4.53 ≤0.07 ≤0.25
kg/kg ≤20 ≤60 ≤35 ≤35 5 ≤15 0 0
kW · h/kg ≤3.6 ≤2.6 ≤67 ≤37 ≤80 ≤18 ≤0.5 ≤2.0
三氟氢硅合成工序 2 三氟氢硅精馏提纯工序 3 四氯化硅高温氢化工序
≤3.0 ≤2. 0 65 ≤35 ≤75 ≤18 ≤0.5 ≤2.0
1
四氯化硅低温氢化工序 5 还原工序 6 还原尾气干法回收工序 7 多晶硅产品处理、包装工序 8 硅芯制备工序
7
公用工程包括：纯水系统、循环水、脱盐水，制氮、压缩空气、锅炉、空调、水源、中控及 ≤13.3 其他
≤13.3
≤10
《3.01
10 制氢系统 11 “三废”处理工序 12 其他 13 多晶硅工艺能耗（高温氢化） 14 多晶硅工艺能耗（低温氢化）
≤11 ≤1. 0 1 ≤191.8 ≤161.2
≤11 ≤1.0 《1 ≤200 ≤170
≤1.37 ≤0.18 ≤1.42 《46.28 ≤42.71
0 0 10 ≤155 ≤155
4. 2 新建多晶硅企业单位产品能耗准入值
新建多晶硅企业单位产品能耗准入值应符合表2的要求。
2 GB 29447-2012
表2 新建多晶硅企业单位产品能耗准入值
每公斤多晶硅综合能耗准人值
序号
工艺、工序
工艺电耗 kW · h/kg ≤2.6 ≤1.7 ≤55.3 ≤30 ≤60 ≤15.3 ≤0. 43 ≤1.7
综合电耗 kW.h/kg kgce/kg
综合能耗
燕汽消耗 kg/kg ≤17 ≤51 ≤29.8 ≤29.8 ≤4. 3 ≤12.75
≤2.75 ≤7.2 ≤11.2 ≤8.15 ≤8.53 ≤3. 85 ≤0. 06 ≤0.21
1 三氯氢硅合成工序 2 三氯氢硅精馏提纯工序 3 四氯化硅高温氢化工序 4 四氮化硅低温氢化工序
≤3.1 ≤2.2 ≤57 ≤31.5 ≤64.2 ≤15.3 ≤0. 43 ≤1.7
还原工序 6 还原尾气干法回收工序 7 多晶硅产品处理、包装工序 8 硅芯制备工序
5
0 0
公用工程包括：纯水系统、循环水、纯水、脱盐水、制氮、压缩空气、锅炉、空调、水源、中 ≤11.3 控及其他
≤8.5
≤11.3
≤2.56
9
10 制氢系统 11 “三废”处理工序 12 其他 13 多晶硅工艺能耗（高温氢化） 14 多晶硅工艺能耗（低温氢化）
≤9. 4 ≤0.9 ≤0.9 ≤159.2 ≤133.2
≤9. 4 ≤0.85 ≤0.85 ≤166.2 ≤141.2
≤1.16 ≤0.15 ≤1.2 ≤38.87 ≤35.83
0 0 ≤8.5 ≤131.8 ≤131.8
4. 3 多晶硅企业单位产品能耗先进值
多晶硅企业单位产品能耗先进值应符合表3的要求。
表3 多晶硅企业单位产品能耗先进值
.
每公斤多晶硅综合能耗先进值
序号
工艺、工序
综合电耗 综合能耗 kW - h/kg
工艺电耗 kw·h/kg ≤2.17 ≤1.45 ≤47 ≤25.3 ≤54.2 ≤13 ≤0.36 ≤1. 45
蒸汽消耗 kg/kg ≤14.5 ≤43.4 ≤25.3 ≤25.3 ≤3. 6 ≤10.8
kgce/kg ≤2.33 ≤6.1 ≤9. 5 ≤6.93 ≤7.67 ≤3.27 ≤0.05 ≤0.18
1 三氟氢硅合成工序 2 三氟氢硅精馏提纯工序 3 四氟化硅高温氢化工序 4 四氯化硅低温氢化工序 5 还原工序 6 还原尾气干法回收工序 7 多晶硅产品处理、包装工序 8 硅芯制备工序
≤2. 6 ≤1. 9 ≤48. 4 ≤26.7 ≤57.8 ≤13 ≤0.36 ≤1.45
2
足
0 0
一
3 GB29447---2012
表3（续）
每公斤多晶硅综合能耗先进值蒸汽消耗
序号
工艺、工序
工艺电耗 kW - h/kg
综合电耗 kW ·h/kg
综合能耗 kgce/kg
kg/kg
公用工程包括：纯水系统、循环水、纯水、脱盐水、制氮、压缩空气、锅炉、空调、水源、中控及其他
≤7.2
≤9.6
≤9.6
2.17
10 制氢系统 11 “三废”处理工序 12 其他 13 多晶硅工艺能耗(高温氢化) 14 多晶硅工艺能耗（低温氢化）
≤7.95 ≤0.72 ≤0.72 ≤138.6 ≤116.5
0 0 ≤7.2 ≤112 ≤112
≤7.95 ≤0.72 ≤0.72 ≤145 ≤123
0.99 0.13 1.03 33.5 ≤30.9
4.4其他
半导体级直拉用多晶硅还原电耗≤100kW·h/kg，区熔用多晶硅还原电耗<120kW·h/kg，半导体级产品，其他工序能耗限额参照执行。多晶硅产品质量应满足GB/T25074和GB/T12963的要求。
5统计范围、计算方法及计算范围
5.1统计范围 5.1.1企业实际（生产)消耗的各种能源
企业实际消耗的各种能源包括：一次能源（原煤、石油、天然气等），二次能源（电力、热力、石油制品、 焦炭、煤气等）和生产使用的耗能工质（水、氧气、压缩空气等）所消耗的能源。
企业实际消耗的各种能源是指用于生产活动的各种能源。其包括主要生产系统、辅助生产系统和附属生产系统用能，不包括生活用能和批准的基建项目用能。在企业实际消耗的能源中，用作原料的能源也必须包括在内。
生活用能是指企业系统内的宿舍、学校、文化娱乐、医疗保健、商业服务等直接用于生活方面的能耗。 5.1.2企业计划报告期内的能源实物消耗量和能源消耗量
企业计划报告期内的某种能源实物消耗量的计算，应符合式（1)：
(1)
式中： eh 企业的能源实物消耗量；
企业购人能源实物量；期初库存能源实物量；期末库存能源实物量；
S e2 e3
ef 外销能源实物量；
生活用能源实物量；
es
4 GB 29447—2012
e企业工程建设用能源量。 企业计划报告期内的能源消耗量的计算，应符合公式（2）：
EE+E-E-E-E 或E=EzG+EzF
........( 2)
=Ezz
式中： E E1 一 购人能源量； E2 - 库存能源增减量； E3 外销能源量； E4 生活用能源量； Es 企业工程建设用能源量； EzG— 诸产品工艺能源消耗量； EzF— 间接辅助生产部门用能源量及损耗； Ezz 诸产品综合能源消耗量。 所消耗的各种能源不得重计或漏计。存在供需关系时，输入、输出双方在计算中量值上应保持
企业报告期内的能源消耗量；
.
致。设备大修的能源消耗也应计算在内，且按检修后设备的运行周期逐月平均分摊。企业综合能耗的计算按照GB/T2589的规定进行。 5.1.3各种能源的计量单位
企业生产能耗量、产品工艺能耗量、产品综合能耗量的单位：千克标准煤每千克（kgce/kg）、吨标准煤每干克（tce/kg）。
煤炭、焦炭、重油、汽油、柴油的单位：千克（kg）、吨（t)。 电力的单位：千瓦时（kW·h）、万千瓦时（10+kW·h）；蒸汽的单位：千焦（kJ)、兆焦（MJ）、百万千焦（GJ)；煤气、压缩空气、氧气、天然气的单位：立方米（m）、万立方米（10*m"）；水的单位：吨（t）、万吨（10*t）。 多晶硅综合能耗量的单位：kgce/kg（于克标准煤每千克）。
5.1.4各种能源（包括生产耗能工质消耗的能源）折算标准煤量方法
应用基于发热量等于29.3076MJ的燃料，即1kgce。 各种能源及耗能工质消耗量在折算标准煤量时，外购的燃料能源可取实测的低（位）发热量或供货
单位提供的实测值为计算基础，或用国家统计部门的折算系数折算，参见附录A；二次能源及耗能工质均按相应的能源等价值折算（电用当量值）；企业能源转换自产时，按实际投人的能源实物量折算标准煤量；由集中生产单位外销供应时，其能源等价值按主管部门规定；外购外销时，其能源等价值应相同；当未提供能源等价值时，可按国家统计部门的折算系数折算，参见附录B；企业回收的余热按热力的折算系数，余热发电统一按电力的折算系数折算。 5.1.5多晶硅产品能耗的计算原则
多晶硅各工序能耗的计算，采用同一计划报告期内产出的合格产品实物产量计算单位产品能耗。 所有产品产量均以千克(kg)为计量单位，以企业计划统计部门正式上报的数据为准。
5.1.6企业余热利用能源的计算原则
企业回收的余热，属于节约能源循环利用，不属于外购能源，在计算时，应避免和外购能源重复计
5 GB29447—2012
算。余热利用装置用能计人能耗。回收能源自用部分，计入自用工序；转供其他工序时，在所用工序以正常消耗计入；回收的能源折标准煤后应在回收余热的工序、工艺中扣除。 5.1.7其他
企业的辅助、附属生产系统的能源消耗及耗能工质在企业内部贮存、转换与分配供应及外销中的损耗，应根据各产品工艺能耗占企业生产工艺能耗量的比例，分摊给各个产品。 5.2计算方法 5.2.1工序（工艺）实物单耗的计算
工序（工艺)实物单耗按式（3)计算：
Es=Ms
(3)
Pz
一
式中： Es—某工序（工艺）的实物单耗，单位为千克每千克（kg/kg）、千瓦时每千克（kW·h/kg）、立方
米每千克（m"/kg）；
Ms一-某工序（工艺)直接消耗的某种能源实物总量，单位为千克（kg）、千瓦时（kW·h）、立方米
(m");
Pz一—某工序（工艺)产出的合格产品总实物量，折合成多晶硅计算，单位为千克(kg)。 5.2.2工序（工艺）能源单耗的计算
工序（工艺)能源单耗按式（4)计算：
E = Pz EH
·(4)
式中： E,—某工序（工艺）能源单耗，单位为千克标准煤每千克，（kgce/kg）； E某工序（工艺）直接消耗的各种能源实物量折标准煤为代数和，单位为千克标准煤(kgce）； Pz——某工序（工艺)产出的合格产品总实物量，折合成多晶硅计算，单位为千克(kg）。
5.2.3企业综合能耗的计算
综合能耗的计算应符合公式（5）：
Ez=E,十Er
(5)
式中： Ez—综合能耗，单位为千克标准煤每千克（kgce/kg）； E，—工艺能耗，单位为千克标准煤每于克（kgce/kg)； Er—辅助能耗和损耗分摊量，单位为千克标准煤每千克（kgce/kg）。
5.3计算范围 5.3.1三氯氢硅合成工序
从合成用氢气制备、氢气纯化、液氯气化、氯化氢合成、氯化氢脱水、氯化氢预热，硅粉干燥预热、三氯氢硅合成、合成产物分离、尾气回收，到分离得到含三氯氢硅99%为止。包括从备料、配料、进料、合成、分离提纯、排渣、供排风、物料输送、收尘、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量。按一吨三氯氢硅产品计算能源消耗，折多晶硅能源消耗时，按每吨多晶硅消耗的三氯氢硅数量确定。
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