ICS 77.120.99 H 68
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中华人民共和国国家标准
GB/T 26312--2010
蒸发金
Gold for evaporating
2011-11-01实施
2011-01-14发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会 发布
数码防伤 GB/T 26312—2010
前言
本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准起草单位：北京达博有色金属焊料有限责任公司、贺利氏招远贵金属材料有限公司、贺利氏
招远（常熟）电子材料有限公司、北京有研亿金新材料股份有限公司。
本标准主要起草人：杜连民、向翠华、禹洁丽、房晋、周晓光、毛松林、王卫东、付建彬、闫琳。
I GB/T26312-2010
蒸发金
蒸
1范围
本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T11066（所有部分）金化学分析方法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934（所有部分）高纯金化学分析方法
3要求
3.1产品分类 3.1.1蒸发金产品按化学成分分为Z-Au99.999和Z-Au99.99两种牌号。 3.1.2蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态应满足表1的要求。需方有其他要求时由供需双方协商解决。
表 1
形状柱状片状线盘状
定 义
供货状态
直径为0.5mm~8mm、长度为2mm~100mm的线材
长为5mm~20mm、宽为5mm~20mm、厚为0.5mm~3mm的片材
硬态
直径为0.5mm~2mm、重量在100g~500g的线材盘成线盘
状为主，线盘直径一般为100mm~300mm
3.2产品标记示例 3.2.1 柱状蒸发金标记
Z-Au99.999,×mm
长度直径
示例：直径为5mm、长度为20mm、成分为99.999%的柱状蒸发金产品标记为：Z-Au99.999，$5×20mm。 GB/T26312—2010
3.2.2 蒸发金片状产品标记
Z-Au99.999,×xmm
厚宽长
示例：长为10mm、宽为10mm、厚为2mm的片状蒸发金产品标记为：Z-Au99.999，10×10×2mm。 3.2.3 3蒸发金线盘状产品标记
Z-Au99.999，串mm，g/线盘
每线盘重量线材直径
示例：线径为0.5mm、每盘200g重量的线盘状蒸发金产品标记为：Z-Au99.999，0.5mm，200g/线盘。
3.3 3化学成分
产品化学成分应符合表2的要求，其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，按供需双方协商进行。
表 2
杂质含量（质量分数)/%，不大于
Au/% 不小于 ≥99.999 0. 000 5 0.0001 0.0002 0.0001 0. 0001 0.0001 0.0002 0.0001 ≥99.99 0.005 0.002 0.002 0. 001 0.002 0.001 0.005 0.0003
牌号 Z-Au 99. 999 Z-Au 99.99
Bi
Cu
Fe
Pb
Sb
Si
Mn
Ag
杂质含量（质盘分数)/%.不大于
Au/% 不小于
牌号 Z-Au 99. 999 ≥99.999 0.0001 0.0002 0.0001 0.0001 0. 0001 0.0001 0. 01
Sn
总量
Pd
Mg
As
Cr
Ni
0.005 0. 003 0.003 0. 001 0.000 3 0. C00 3 0. 1
Z-Au 99. 99
≥99.99
3.4尺寸及允许偏差 3.4.1 产品形状如图1所示。片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求；柱状产品的尺寸及允许偏差应符合表4和表5的要求；线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求，以需方要求的每盘重量范围为主协商解决。
LDJ
Cy
d
-
一
c) 线盘状
a）片状
b）柱状
图1蒸发金产品图
2 GB/T26312—2010
表 3
单位为毫米
A ±1
B ±1
c ± 0. 2
示意尺寸允许偏差
表 4
单位为毫米
允许偏差 ±0. 01 ±0.08 ±0, 08 ±0.09 ± 0. 09 ±0. 1 ± 0. 1
直 径 ≥0.10 ≥1. 00 ≥3. 0 ≥5.0 ≥6. 0 ≥7.0 ≥8.0
单位为毫米
表5 长度允许偏差
允许偏差
定尺长度 N10
±1. 0 ±2. 0
>10
3.4.2供需双方可协商生产其他规格产品，需方如有其他要求在合同中注明。 3.5外观质量 3.5.1蒸发金产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。 3.5.2蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污。 3.5.3蒸发金产品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷。 3.5.4蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。 3.6 内部组织
蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证，内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷。
试验方法
4
4.1Z-Au99.999蒸发金的化学成分仲裁分析方法按GB/T25934的规定进行。Z-Au99.99蒸发金的化学成分仲裁分析按GB/T11066的规定进行。 4.2产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行。 4.3 外观质量检验采用目视进行，必要时可采用放大镜或（10～25)倍双目显微镜检查。
3 GB/T26312—2010
5检验规则 5.1检查与验收 5.1.1 蒸发金产品由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定并填写质量证明书。 5.1.2 需方可对收到的产品按本标准规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同，或技术协议）规定不符合时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托双方认可的单位进行复验，仲裁取样在需方由双方共同进行。 5.2组批
蒸发金产品应成批提交验收，每批产品应为同一牌号、炉号、状态、规格的产品组成。 5.3检验项目
每批蒸发金应进行化学成分、尺寸偏差、外观质量项目检验。 5.4取样规则及数量
检验项目、取样位置及数量应符合表6的规定。
表 6
检验项目
要求的章条号 检验的章条号
取样规定
化学成分尺寸偏差外观质量内部组织
按批在每个铸链的任意部位或半成品时任取一个试样片状或柱状产品按数量的1%进行取样，但不得少于3个；
3. 3 3. 4 3. 5 3. 6
4. 1 4. 2 4. 3
线盘状产品取10%进行抽检，每盘任意取3个部位进行尺寸测量
抽取10%
5.5检验结果的判定 5.5.1化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。 5.5.2尺寸及其偏差不合格，取双倍样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。 5.5.3外观质量不合格，重新取双倍样进行检验；若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。
6标志、包装、运输、贮存
6.1标志、包装 6.1.1将检验的合格产品按要求分件包装。 6.1.2 2蒸发金产品内包装真空密封，内外包装间装防震动的填充物。 6.1.3 3每件包装产品塑料袋外应附有标签，其上注明：供方名称、产品名称及牌号、规格尺寸、批号、数
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