
ICS 23.160 J78 备案号:33645—2011
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 11080—2011
真空技术 涡旋干式真空泵
Vacuum technologyScroll dry pump
2011-11-01 实施
2011-08-15 发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
JB/T 11080—2011
目 次
前言.
.I1
范围. 规范性引用文件
2 3 术语和定义. 4型式与基本参数
4..型式.. 4.2型号.. 4.3基本参数 5技术要求.. 6 测量方法. 6.1测量装置.…. 6.2 测量条件 6.3抽气速率和极限压力的测量 6.4最大消耗功率的测量 6.5工作温度的测量 6.6噪声的测量 6.7入口最大允许压力的测量 7抽样及判定方法 7.1抽样方法 7.2判定方法. 8检验规则… 9标志、包装、运输和贮存.. 图1涡旋干式真空泵工作原理图图2测试罩. 表 基本参数表2 测试罩直径尺寸表3 检验项目
...............
......................
.........................
.3
X
4
....................
......................
............................
..........................
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JB/T 11080—2011
前言
本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准负责起草单位:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、川北科技(北京)有限公司。 本标准参加起草单位:沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:张振厚、陈林、王光玉、孔祥玲、全太前、王学智本标准为首次发布。
II
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4 型式与基本参数 4.1型式
泵的结构型式是涡旋转子与定子采用相同涡旋型线,转子绕定子作无摩擦平动,转子与定子的相位差为180°(工作原理图见图1)。
排气位置
定子
进气位置
转子
图1涡旋干式真空泵工作原理图
4.2型号
型号表示方法口口-口
真空泵设计序号,从第一次改型设计开始,以字母A、B、C、表示名义抽气速率,单位为L/s 干式真空泵,用“G”表示涡旋真空泵,用“WX”表示
示例:抽气速率为8 L/s 的涡旋干式真空泵,型号为“WXG-8A"。 4.3基本参数
泵的基本参数应符合表1的规定。
表 1基本参数
抽气效率
配用电动 进气口法兰 排气口法兰机功率 公称通径 公称通径 kw
序号 型号 抽气速率
极限全压力 噪声Lw
L/s
dB(A)
Pa
1 kPa 时 5 Pa 时
mm
mm
WXG-2 WXG-4 WXG-8 WXG-15 15
≤3 ≤3 ≤3 ≤3
≤63 ≤65 ≤65 ≤69
0.37 0.55 0.75 1.5
25 25 40 50
16 16 25 40
2 4 8
2
≥80% ≥40%
3
4
2
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5 技术要求
5.1泵的各项性能指标应符合表1 的规定,并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。 5.2 泵的工作环境温度为(0~40)℃。 5.3 泵在规定的极限压力下运转,其噪声指标应符合表1的规定。 5.4 泵应运转平稳,无异常声音。 5.5 泵的零部件装配前必须作清洁处理。 5.6 设计时泵的几何抽速应为名义抽速的1倍~1.2 倍。 5.7 说明书中应给出泵的最高工作温度和泵的平均无故障工作时间(MTBF)。 5.8 泵在入口压力 1000 Pa下连续运转 500 h 后的性能指标应符合本标准的规定, 5.9 泵工作时的入口最大允许压力应≥6 000 Pa。 5.10 )泵的设计、安装、运行、维修及拆卸过程应符合GB22360 的规定。 6测量方法 6.1测量装置 6.1.1测试罩
如图2所示,形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为 1.5 D,D是罩的内径。实验气体进口在罩的轴线上,并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力和极限压力的真空计在距离连接法兰0.5D处,其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。测试罩的容积 Vp至少应是泵- 一个压缩周期扫过容积V的 5倍。在泵入口必须连接一个异径接头,其长度不应超过0.5D(见图2)。
气体入口压力计接头
D
qS'
xeuqlo
不
异径接头
2- S
)
「泵入口直径
D
图 2 测试罩
对于给定规格的泵,测试罩直径尺寸在表2中给出。
表2 测试罩直径尺寸
序号 1 2 3 4
D mm 100 160 250 400
Vp L 0~0.26 0.26~1.1 1.1~4.2 4.2 ~ 17
Vp L 1.3 5.4 21 84
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6.1.2 压力计
对于压力高于或等于1Pa 时,其校准精度为土5%,对于更低压力,校准精度为土10%。 6.1.3功率表和电流互感器
功率表和电流互感器应具有一级精度,并具有计量部门签发的有效证书。 6.2测量条件
测量时应符合以下条件: a)泵的转速及配用电动机应符合产品设计规定,泵的实际转速与规定转速相差不得超过土3%; b)测量时环境温度应为5℃~35℃,测量期间温度波动不大于土1℃; c)测量气体为干燥空气,相对湿度不大于75%; d)测带有气镇的涡旋干式真空泵时,其掺气量应符合设计要求。
6.3抽气速率和极限压力的测量
按 GB/T 19956.1 和 GB/T 19956.2 的规定进行测量。 6.4最大消耗功率的测量 6.4.1测量方法
在不同入口压力下,用功率表测泵驱动电动机的输入功率,然后乘以电动机不同负荷下的效率,即为泵的消耗功率。 6.4.2测量步骤
关闭微调阀和辅助进气阀,开泵运转,待泵温平衡后,开启微调阀和辅助进气阀,使罩内压力由低至高,逐点稳定,同时测取功率值,为使测得值具有要求的精度,应避免功率表在示值1/2以下使用。 测量值应具有两位有效数字。
对于气镇泵,应在上述测量后,完全打开气镇阀,待泵温再一次平衡后,重新测量气镇时的消耗功
率。 6.5工作温度的测量
泵在极限压力下运转1h后,把温度计固定在排气阀附近,连续观察30min,若温度变化不超过1℃,温度计指示的最终温度即为泵的工作温度
对于气镇泵,应在上述测量后,完全打开气镇阀,继续运转1h,再测量气镇时的工作温度,工作温度最好与极限压力同时测量。 6.6噪声的测量
按 GB/T 21271 的规定进行测量。 6.7入口最大允许压力的测量
按 GB/T 19956.1中的方法,调节进气阀,使测试罩内的压力保持在 6 000 Pa 或 6 000 Pa 以上的某一压力值,使泵连续运转48 h,停放8h后,按6.3~6.6 的方法测量泵的各项指标,如果符合要求,该压力值即为泵的入口最大允许压力。 7 抽样及判定方法 7.1抽样方法 7.1.1检查批的组成
单台泵经简单汇集形成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输批相同或不同,由同一规格型号或不同规格型号、同一质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台泵组成。但每个检查批的批量不得超过 100 台。
批的组成、批量大小以及识别批的方式等,应协商确定。 7.1.2抽样方案
采用一次抽样方案。每批样本数为两台,不合格判定数为0。
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7.1.3样本的抽取
样本应从检查批中随机抽取,可在批构成之后或在批构成过程中进行。 7.1.4样本的检验
抽取的样本按第8章规定的方法进行检验。 7.2 判定方法
每台泵(样本)必须符合本标准全部考核项目的技术要求才能判定为合格产品,凡达不到本标准规定的任何一项指标,均判定为不合格品。两台样本均为合格品,则判定该批为合格批,否则判定该批为不合格批。 8检验规则 8.1每台泵必须经制造厂检验部门检验合格,并附有产品质量合格证方可出厂。 8.2泵的检验分为出厂检验和型式检验,检验项目见表3。
表 3检验项目
本标准所属条款
出厂检验 型式检验
检验项目
技术要求
检验方法第6章 GB/T 21271 GB/T 19956.2
连续运转24 h,检验泵是否运行平稳
测量泵的噪声测量极限全压力测量最大消耗功率测量泵的最高工作温度
△
表 1
6.4 6.5
△
测量抽气速率测量泵入口最大允许压力 500 h连续运转试验
GB/T 19956.1
5.9 5.8
6.7 第6章
注1:“△”表示必须做注2:“—”表示不做。
8.3有下列情况之一时,泵应进行型式检验:
a)新产品试制时; b)当产品在设计、工艺或使用材料等方面有重大变更而可能影响产品性能时; c)产品长期不生产而恢复生产时; d)正常生产的产品,每年或积累一定产量后,应周期性进行型式检验抽查。
9标志、包装、运输和贮存 9.1每台泵均应在明显部位装上产品标牌,其尺寸符合GB/T13306 的规定。应注明:
a)泵型号及名称。 b)制造厂名称。 c)泵技术参数:
极限压力:单位为 Pa; 抽气速率:单位为 L/s; 配用电动机功率:单位为kW。
d)转速:单位为 r/min。 e)泵的编号。
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