ICS 77.150. 99 H 68
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T840—2012
再硅料分类和技术条件
Classification and technical specification for renewable crystal silicon
2012-11-07发布
2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国有色金属
行业标准再生硅料分类和技术条件
YS/T840—2012
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中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013) 北京市西城区三里河北街16号(100045)
网址www.spc.net.cn
总编室：(010)64275323 发行中心：(010)51780235
读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印剧厂印刷
各地新华书店经销
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开本880×12301/16 印张0.5 字数8千字 2013年1月第一版 2013年1月第一次印刷
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书号：155066·2-24295 定价 14.00元
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版权专有 侵权必究举报电话：(010)68510107
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前 言
本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位：西安隆基硅材料股份有限公司。 本标准主要起草人：李振国、钟宝申、赵可武、张群社。 本标准系首次发布。
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家 YS/T840—2012
再生硅料分类和技术条件
1范围
本标准规定了再生硅料的技术条件及分类、测试方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存、订货单等。
本标准适用于从生产、加工、使用过程中产生的可回收利用的硅料，来源包括用于生产太阳能级硅晶体的除过碳的碳极多晶硅（碳头料）、晶体硅头尾料、边皮料、埚底料、晶体硅样块、原生型废硅片等。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1550 非本征半导体材料导电类型测试方法 GB/T1551 硅单晶电阻率测定方法 GB/T1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 GB/T14264 半导体材料术语 GB/T24574 硅单晶中Ⅲ-V族杂质的光致发光测试方法 GB/T 24579 酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物 GB/T 24581 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、V族杂质含量的测试方法 GB/T24582 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金展杂质 SEMI PV1 用高分辨率辉光放电光谱测定法测定太阳能级硅中的痕量元素
3术语和定义
GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3. 1
碳极多晶硅（碳头料）carbonendspolysilicon 在多晶硅生产过程中，包围在U型多晶硅棒的碳极周围，沾连有石墨的不规则形状多晶硅料。
3. 2
单品硅头尾料 monocrystallinetopand tail 在拉制单晶硅棒过程中形成的头尾圆锥体。也包括拉制单晶失败产生的多晶硅棒和位错单晶。
3. 3
埚底料potscrap 在拉制单晶硅棒的过程中，残留在石英埚中的硅料。
3. 4
晶体硅样块testsiliconmaterial 在晶体硅棒的检测和评估中作为测试用的样块。
3.5
原生型废硅片brokenwafer 在硅棒切割、研磨或抛光过程中产生的不合格硅片。
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4要求
4.1技术条件及分类
再生硅料可选择按电阻率或按杂质浓度进行分档，需经供需双方协商一致。每一档的产品应该同时满足本档的要求，若某项指标超出标准，则降为下一档。按电阻率分，各档不同导电类型的相关参数应符合表1的规定；按杂质浓度分，各档的相关参数应符合表2的规定。
表 1
电阻率范围/(a·cm）
导电类型 n型 p型
一档 >40 >10
二档 2~40 1~10
三档 1~2 0. 35~1
表 2
项 目受主杂质浓度/ppba 施主杂质浓度/ppba 碳浓度/ppma 金属杂质（Ti,Cr，Fe，Ni,Cu Zn，Mo)总含量/ppba
一档 ≤20 2 0.5 ≤50
二档 ≤300 ≤50 2 ≤100
三档 ≤1 000 100 ≤4 ≤200
4.2尺寸范围
再生硅料的线性尺寸不小于3mm。
4.3外观特征
再生硅料的外观应无色斑、氧化层以及其他的污染物等。
5测试方法
5.1 再生硅料中碳浓度测量按照GB/T1558的规定进行。 5.2再生硅料中Ⅲ、V族杂质含量按照GB/T24574或GB/T24581、SEMIPV1、GB/T24579、SIMS 测试。 5.3再生硅料中的金属杂质含量按照SEMIPV1或GB/T24579、GB/T24582、SIMS测试。 5.4再生硅料的尺寸分布范围用筛网检验，或由供双方商定的方法检验。 5.5再生硅料的表面质量用目视或放大镜检查。 5.6再生硅料的导电类型测试方法按照GB/T1550进行测试。 5.7 再生硅料的电阻率测定按照GB/T1551进行测试。
2 YS/T840—2012
6检验规则
6.1检查和验收 6.1.1再生硅料应由供方质量监督部门进行检验。保证质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。 6.1.2需方可对收到的产品按订货单（或合同)进行检验，若检验结果与本标准(或订货合同的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。 6.2组批
每批应由相同型号、相同档位的产品组成。 6.3检验项目
出厂检验项目包括一般检验项目和特殊检验项目。 一般检验项目：包括型号、电阻率、表观质量以及尺寸；特殊检验项目：包括受主杂质浓度、施主杂质浓度、碳含量、金属杂质含量等。
6.4检验结果判定 6.4.1每批产品的一般检验项目均采用全数检验，特殊检验项目由供需双方协商一致解决。 6.4.2接受质量限（AQL)规定为Ac=0，Re=1，或由供需双方协商解决。
7标志、包装、运输、贮存
7.1产品的包装
产品用洁净的聚乙烯桶（盒）包装或用洁净的聚乙烯包装袋封装并用纸箱或木箱进行外包装；包装时应防止容器破损，以避免产品外来污染。 7.2标志
包装箱（桶）外应标有“小心轻放”及“防腐、防潮”字样或标志，并标明： a) 供方名称； b) 产品名称及分档； c）净重、毛重； d) 批号及件数。
7.3运输
产品在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震防潮措施。 7.4贮存
产品应贮存在清洁、干燥环境中。 7.5质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：
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a) 供方名称； b) 产品毛重、净重； c) 各项检验结果及检验部门印记； d) 本标准编号或合同编号； e) 出厂日期。
8 订货单（或合同）内容
本标准所列产品的订货单(或合同)应包括下列内容： a) 产品名称； b) 要求； c) 数量； d) 本标准编号； e) 其他。
版权专有 侵权必究
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书号：155066·2-24295 定价：
14.00元
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打印日期：2013年1月29日F009A