ICS 71.060.50 G 12
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T33335—2016
高纯工业品三溴化硼
High purity boron tribromide for industrial use
2017-07-01实施
2016-12-13发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T33335—2016
前 創言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63)归口。 本标准起草单位：贵州省产品质量监督检验院、贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、中海油天津
化工研究设计院。
本标准主要起草人：钟宏波、蒋飚、冯永渝、祝飘、陈泉、陈文强、龚宁、刘涛、周大颖、程永福、邵青松、 程群、麻晖、王琪。
- GB/T33335—2016
高纯工业品三溴化硼
警示一一高纯工业品三溴化硼在湿空气中激烈发烟，遇水猛烈反应生成硼酸，并放出溴化氢气体。 在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。接触三溴化硼时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护用具。严禁与水接触，避免吸入蒸汽、接触皮肤及黏膜。当发生漏损时，应用泥沙或石灰处理，如已接触皮肤，应立即用大量流动水冲洗。
1范围
本标准规定了高纯工业品三漠化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。
本标准适用于以工业三溴化硼为原料，经提纯后制得高纯工业品三漠化硼。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6678 ：化工产品采样总则 GB/T6680 液体化工产品采样通则 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1电子级水 GB15258化学品安全标签编写规定 GB50472 电子工业洁净厂房设计规范
3分子式和相对分子质量
分子式：BBr3。 相对分子质量：250.52（按2013年国际相对原子质量）。
4分级
高纯工业品三溴化硼分为两个等级：
-6N级：纯度（基于阳离子）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；一7N级：纯度（基于阳离子）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC)、分离器件扩散源。
1 GB/T33335—2016
，
5 要求
5.1 外观：无色透明液体， 5.2 高纯工业品三溴化硼按本标准规定的试验方法检测应符合表1要求。
表1要求
指标
项目
6N级 99.999 9 10 10 4 2 2 2 10 2 2 5 2
7N级 99.999 99
> ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤
纯度(基于阳离子）W/% 铝(Al)w/(μg/kg) 锑(Sb)w/(μg/kg) 砷(As)w/(μg/kg) 钡(Ba)w/(μg/kg) 铋(Bi)w/(μg/kg) 锅(Cd)w/(μg/kg) 钙(Ca)w/(μg/kg) 铬(Cr)w/(μg/kg) 钻(Co)w/(μg/kg) 铜(Cu)w/(μg/kg) 镓(Ga)w/(μg/kg) 金(Au)w/(μg/kg) 铁(Fe)w/(μg/kg) 铅(Pb)w/(μg/kg) 锂(Li)w/(μg/kg) 镁(Mg)w/(μg/kg) 锰(Mn)w/(μg/kg) 汞(Hg)w/(μg/kg) 镍(Ni)w/(μg/kg) 钾(K)w/(μg/kg) 银（Ag)w/(μg/kg) 钠(Na)w/(μg/kg) 锡(Sn)w/(μg/kg) 锶(Sr)w/(μg/kg) 钛(Ti)w/(μg/kg) 钒（V)w/(μg/kg) 锌(Zn)w/(μg/kg) 色度/APHA 2
5 3 1 1 1 1 5 1 1 2 1 1 10 1 1 8 1 1 1 3 1 5 1 1 1 2 3 60
2 10 2 2 10 2 12 2 10 2 10 2 2 2 10 5 60 GB/T33335—2016
6试验方法
6.1 安全提示
本试验方法中的样品及部分试剂具有腐蚀性，操作者须小心谨慎！如溅到皮肤上应立即用水冲洗，严重者应立即治疗。使用易燃品时，严禁明火加热。 6.2一般规定
本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂。所用水为GB/T11446.1规定的电子级水，25℃在线电导率不大于0.0055mS/m。试验中所用标准滴定溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按照GB/T601、GB/T603的规定配制。电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)操作需在不低于GB50472中规定的1000级洁净室进行，其溶液的配制及样品的处理宜在不低于GB50472中规定的100级环境下进行。 6.3纯度 6.3.1方法提要
通过扣除阳离子质量分数总和的方法，计算得出高纯工业品三溴化硼的纯度。
6.3.2结果计算
高纯工业品三溴化硼的纯度W1，按式（1)计算：
Zw; ×10- ×100%
wWi=100%-
(1 )
台
式中： W. -6.4中测定的各阳离子的质量分数，单位为微克每千克（μg/kg）。
6.4阳离子含量的测定 6.4.1方法提要
在电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)上采用标准加人法测定试样中的各阳离子质量分数。 6.4.2试剂 6.4.2.1混合标准溶液I：1mL溶液含Ag、Al、As、Ba、Ca、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Ga、K、Li、Mg、Mn、Na、 Ni、Pb、Sr、V、Zn各0.010mg。 6.4.2.2混合标准溶液Ⅱ：1mL溶液含Au、Sb、Sn各0.010mg。 6.4.2.3混合标准溶液Ⅲ：1mL溶液含Ti、Bi各0.010mg。 6.4.2.4单元素标准溶液IV：1mL溶液含Hg0.010mg。 6.4.3仪器和设备 6.4.3.1电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）。 6.4.3.2 2容量瓶：容积为100mL，材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)。 6.4.3.3埚：容积为100mL，材质为聚四氟乙烯（PTFE）。 6.4.3.4 移液枪：10μL~100μL，100μL~1000μL，1mL~5mL。 6.4.3.5 超纯水净化器：带0.2um终端过滤器，在线制备电导率（25℃）不大于0.0055mS/m的超
3 GB/T 33335—2016 纯水。 6.4.4分析步骤 6.4.4.1 试验溶液的制备
用移液枪准确移取待测试样1.0mL（约2.65g)于100mL洁净干燥的埚中，缓慢向埚里滴加水处理样品，滴加约1mL后，再向内加人约20mL水，然后将埚放到电热板上加热消解，电热板温度调至90℃～100℃，待埚中的样品液澄清后，将埚从电热板上取下，将样品液转移到100mL (V3）容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。 6.4.4.2 2工作曲线溶液的制备
用移液枪各移取0.5mL的混合标准溶液I、混合标准溶液Ⅱ、混合标准溶液Ⅲ和单元素标准溶液 IV，置于同一100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。该标准溶液现用现配，1mL溶液中含阳离子各0.05μg。
用移液管移取六份10mL(V2)试验溶液，分别置于六个100mL(V1)容量瓶中，再用适合的移液枪准确移取0.00mL、0.025mL、0.05mL、0.10mL、0.20mL、0.40mL上述标准溶液，分别置于上述容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。 6.4.4.3 测定
按电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)操作规程打开仪器，待仪器处于稳定状态后，以水为空白，对工作曲线溶液进行测定，以被测各阳离子浓度为横坐标，对应的响应值为纵坐标绘制工作曲线。将曲线反向延长与横坐标相交，交点即为被测阳离子的浓度（μg/L）。
本标准中所测阳离子元素的同位素相对原子质量见表2。
表2离子元素的同位素相对原子质量
元素名称铝(AI) 锑(Sb) 砷(As) 领(Ba) 铋(Bi) 镉(Cd) 钙(Ca) 铬(Cr) 钻(Co) 铜(Cu) 镓(Ga) 金(Au) 铁(Fe) 铅(Pb)
相对原子质量
元素名称锂(Li) 镁(Mg) 锰(Mn) 汞(Hg) 镍(Ni) 钾(K) 银(Ag) 钠(Na) 锡(Sn) 锶(Sr) 钛(Ti) 钒(V) 锌(Zn)
相对原子质量
27 122 75 137 209 111 40 52 59 63 69 197 56 208
24 55 201 60 39 107 23 119 88 48 51 64
4 GB/T33335—2016
-用移液管移取不同体积的500APHA单位铂-钻标准溶液，用蒸馏水稀释至100mL，可得不同APHA单位的铂-钻标准工作溶液；配制100mL所需APHA单位铂-钻标准工作溶液，所移取500APHA单位铂-钻标准溶液的体积V，数值以mL表示，按式（3）计算：
V=NX100
.·（3)
500
式中： N-—欲配制的铂-钻标准工作溶液的APHA单位数。
6.5.3仪器和设备 6.5.3.1 比色管：容积50mL或100mL，平底，在底部以上有刻度标记。一套比色管的玻璃颜色和刻线高度应相同。 6.5.3.2比色管架：底部衬白色底板，也可安有反光镜，以提高观察颜色的效果。 6.5.4分析步骤
向比色管中注试样，注满到刻线处。同样向另一支比色管中注入铂-钻标准工作溶液（见6.5.2.5），注满到刻线处。
比较试样与铂-钻标准工作溶液的颜色，比色时应在日光或日光灯照射下，正对白色背景，从上往下观察，避免侧面观察。
7检验规则
7.1本标准要求中规定的所有指标项目为出厂检验项目，应逐批检验。 7.2生产厂以每天或每一生产周期生产的产品为一批。 7.3按照GB/T6678和GB/T6680的规定进行采样。采样在室温20C左右的洁净室中进行，所取样品应不少于300g，混合均匀，分别装于两个清洁干燥的聚四氟乙烯瓶中，密封。瓶上粘贴标签，注明生产厂名、产品名称、批号、等级、采样日期和采样者姓名。一瓶用于检验，另一瓶保存备查。 7.4检验结果中如有指标不符合本标准要求时，应重新自两倍量的包装物中采取样品进行复验，复验结果即使只有一项指标不符合本标准要求，则整批产品不合格。 7.5采用GB/T8170规定的修约值比较法判定检验结果是否符合标准。
8标志和标签
8.1高纯工业品三溴化硼包装物上应有牢固清晰的标志，内容包括生产厂名、厂址、产品名称、等级、 “危险化学品”字样、净含量、批号或生产日期、本标准编号和GB190规定的“腐蚀性物品”标志及 GB/T191规定的“向上”标志。标签应符合GB15258的规定。 8.2每批出厂的高纯工业品三溴化硼都应附有质量证明书。内容包括生产厂名、厂址、商标、产品名称、净含量、等级、批号、生产日期，产品质量符合本标准的证明和本标准的编号。
9 包装、运输和贮存
9.1高纯工业品三溴化硼采用石英材质容器包装，容器外套厚质PVC塑料袋和不透光塑料膜；外包装
6 ICS 71.060.50 G 12
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T33335—2016
高纯工业品三溴化硼
High purity boron tribromide for industrial use
2017-07-01实施
2016-12-13发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T33335—2016
前 創言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63)归口。 本标准起草单位：贵州省产品质量监督检验院、贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、中海油天津
化工研究设计院。
本标准主要起草人：钟宏波、蒋飚、冯永渝、祝飘、陈泉、陈文强、龚宁、刘涛、周大颖、程永福、邵青松、 程群、麻晖、王琪。
- GB/T33335—2016
高纯工业品三溴化硼
警示一一高纯工业品三溴化硼在湿空气中激烈发烟，遇水猛烈反应生成硼酸，并放出溴化氢气体。 在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。接触三溴化硼时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护用具。严禁与水接触，避免吸入蒸汽、接触皮肤及黏膜。当发生漏损时，应用泥沙或石灰处理，如已接触皮肤，应立即用大量流动水冲洗。
1范围
本标准规定了高纯工业品三漠化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。
本标准适用于以工业三溴化硼为原料，经提纯后制得高纯工业品三漠化硼。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6678 ：化工产品采样总则 GB/T6680 液体化工产品采样通则 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1电子级水 GB15258化学品安全标签编写规定 GB50472 电子工业洁净厂房设计规范
3分子式和相对分子质量
分子式：BBr3。 相对分子质量：250.52（按2013年国际相对原子质量）。
4分级
高纯工业品三溴化硼分为两个等级：
-6N级：纯度（基于阳离子）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；一7N级：纯度（基于阳离子）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC)、分离器件扩散源。
1 GB/T33335—2016
，
5 要求
5.1 外观：无色透明液体， 5.2 高纯工业品三溴化硼按本标准规定的试验方法检测应符合表1要求。
表1要求
指标
项目
6N级 99.999 9 10 10 4 2 2 2 10 2 2 5 2
7N级 99.999 99
> ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤
纯度(基于阳离子）W/% 铝(Al)w/(μg/kg) 锑(Sb)w/(μg/kg) 砷(As)w/(μg/kg) 钡(Ba)w/(μg/kg) 铋(Bi)w/(μg/kg) 锅(Cd)w/(μg/kg) 钙(Ca)w/(μg/kg) 铬(Cr)w/(μg/kg) 钻(Co)w/(μg/kg) 铜(Cu)w/(μg/kg) 镓(Ga)w/(μg/kg) 金(Au)w/(μg/kg) 铁(Fe)w/(μg/kg) 铅(Pb)w/(μg/kg) 锂(Li)w/(μg/kg) 镁(Mg)w/(μg/kg) 锰(Mn)w/(μg/kg) 汞(Hg)w/(μg/kg) 镍(Ni)w/(μg/kg) 钾(K)w/(μg/kg) 银（Ag)w/(μg/kg) 钠(Na)w/(μg/kg) 锡(Sn)w/(μg/kg) 锶(Sr)w/(μg/kg) 钛(Ti)w/(μg/kg) 钒（V)w/(μg/kg) 锌(Zn)w/(μg/kg) 色度/APHA 2
5 3 1 1 1 1 5 1 1 2 1 1 10 1 1 8 1 1 1 3 1 5 1 1 1 2 3 60
2 10 2 2 10 2 12 2 10 2 10 2 2 2 10 5 60 GB/T33335—2016
6试验方法
6.1 安全提示
本试验方法中的样品及部分试剂具有腐蚀性，操作者须小心谨慎！如溅到皮肤上应立即用水冲洗，严重者应立即治疗。使用易燃品时，严禁明火加热。 6.2一般规定
本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂。所用水为GB/T11446.1规定的电子级水，25℃在线电导率不大于0.0055mS/m。试验中所用标准滴定溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按照GB/T601、GB/T603的规定配制。电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)操作需在不低于GB50472中规定的1000级洁净室进行，其溶液的配制及样品的处理宜在不低于GB50472中规定的100级环境下进行。 6.3纯度 6.3.1方法提要
通过扣除阳离子质量分数总和的方法，计算得出高纯工业品三溴化硼的纯度。
6.3.2结果计算
高纯工业品三溴化硼的纯度W1，按式（1)计算：
Zw; ×10- ×100%
wWi=100%-
(1 )
台
式中： W. -6.4中测定的各阳离子的质量分数，单位为微克每千克（μg/kg）。
6.4阳离子含量的测定 6.4.1方法提要
在电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)上采用标准加人法测定试样中的各阳离子质量分数。 6.4.2试剂 6.4.2.1混合标准溶液I：1mL溶液含Ag、Al、As、Ba、Ca、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Ga、K、Li、Mg、Mn、Na、 Ni、Pb、Sr、V、Zn各0.010mg。 6.4.2.2混合标准溶液Ⅱ：1mL溶液含Au、Sb、Sn各0.010mg。 6.4.2.3混合标准溶液Ⅲ：1mL溶液含Ti、Bi各0.010mg。 6.4.2.4单元素标准溶液IV：1mL溶液含Hg0.010mg。 6.4.3仪器和设备 6.4.3.1电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）。 6.4.3.2 2容量瓶：容积为100mL，材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)。 6.4.3.3埚：容积为100mL，材质为聚四氟乙烯（PTFE）。 6.4.3.4 移液枪：10μL~100μL，100μL~1000μL，1mL~5mL。 6.4.3.5 超纯水净化器：带0.2um终端过滤器，在线制备电导率（25℃）不大于0.0055mS/m的超
3 GB/T 33335—2016 纯水。 6.4.4分析步骤 6.4.4.1 试验溶液的制备
用移液枪准确移取待测试样1.0mL（约2.65g)于100mL洁净干燥的埚中，缓慢向埚里滴加水处理样品，滴加约1mL后，再向内加人约20mL水，然后将埚放到电热板上加热消解，电热板温度调至90℃～100℃，待埚中的样品液澄清后，将埚从电热板上取下，将样品液转移到100mL (V3）容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。 6.4.4.2 2工作曲线溶液的制备
用移液枪各移取0.5mL的混合标准溶液I、混合标准溶液Ⅱ、混合标准溶液Ⅲ和单元素标准溶液 IV，置于同一100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。该标准溶液现用现配，1mL溶液中含阳离子各0.05μg。
用移液管移取六份10mL(V2)试验溶液，分别置于六个100mL(V1)容量瓶中，再用适合的移液枪准确移取0.00mL、0.025mL、0.05mL、0.10mL、0.20mL、0.40mL上述标准溶液，分别置于上述容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。 6.4.4.3 测定
按电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)操作规程打开仪器，待仪器处于稳定状态后，以水为空白，对工作曲线溶液进行测定，以被测各阳离子浓度为横坐标，对应的响应值为纵坐标绘制工作曲线。将曲线反向延长与横坐标相交，交点即为被测阳离子的浓度（μg/L）。
本标准中所测阳离子元素的同位素相对原子质量见表2。
表2离子元素的同位素相对原子质量
元素名称铝(AI) 锑(Sb) 砷(As) 领(Ba) 铋(Bi) 镉(Cd) 钙(Ca) 铬(Cr) 钻(Co) 铜(Cu) 镓(Ga) 金(Au) 铁(Fe) 铅(Pb)
相对原子质量
元素名称锂(Li) 镁(Mg) 锰(Mn) 汞(Hg) 镍(Ni) 钾(K) 银(Ag) 钠(Na) 锡(Sn) 锶(Sr) 钛(Ti) 钒(V) 锌(Zn)
相对原子质量
27 122 75 137 209 111 40 52 59 63 69 197 56 208
24 55 201 60 39 107 23 119 88 48 51 64
4 GB/T33335—2016
-用移液管移取不同体积的500APHA单位铂-钻标准溶液，用蒸馏水稀释至100mL，可得不同APHA单位的铂-钻标准工作溶液；配制100mL所需APHA单位铂-钻标准工作溶液，所移取500APHA单位铂-钻标准溶液的体积V，数值以mL表示，按式（3）计算：
V=NX100
.·（3)
500
式中： N-—欲配制的铂-钻标准工作溶液的APHA单位数。
6.5.3仪器和设备 6.5.3.1 比色管：容积50mL或100mL，平底，在底部以上有刻度标记。一套比色管的玻璃颜色和刻线高度应相同。 6.5.3.2比色管架：底部衬白色底板，也可安有反光镜，以提高观察颜色的效果。 6.5.4分析步骤
向比色管中注试样，注满到刻线处。同样向另一支比色管中注入铂-钻标准工作溶液（见6.5.2.5），注满到刻线处。
比较试样与铂-钻标准工作溶液的颜色，比色时应在日光或日光灯照射下，正对白色背景，从上往下观察，避免侧面观察。
7检验规则
7.1本标准要求中规定的所有指标项目为出厂检验项目，应逐批检验。 7.2生产厂以每天或每一生产周期生产的产品为一批。 7.3按照GB/T6678和GB/T6680的规定进行采样。采样在室温20C左右的洁净室中进行，所取样品应不少于300g，混合均匀，分别装于两个清洁干燥的聚四氟乙烯瓶中，密封。瓶上粘贴标签，注明生产厂名、产品名称、批号、等级、采样日期和采样者姓名。一瓶用于检验，另一瓶保存备查。 7.4检验结果中如有指标不符合本标准要求时，应重新自两倍量的包装物中采取样品进行复验，复验结果即使只有一项指标不符合本标准要求，则整批产品不合格。 7.5采用GB/T8170规定的修约值比较法判定检验结果是否符合标准。
8标志和标签
8.1高纯工业品三溴化硼包装物上应有牢固清晰的标志，内容包括生产厂名、厂址、产品名称、等级、 “危险化学品”字样、净含量、批号或生产日期、本标准编号和GB190规定的“腐蚀性物品”标志及 GB/T191规定的“向上”标志。标签应符合GB15258的规定。 8.2每批出厂的高纯工业品三溴化硼都应附有质量证明书。内容包括生产厂名、厂址、商标、产品名称、净含量、等级、批号、生产日期，产品质量符合本标准的证明和本标准的编号。
9 包装、运输和贮存
9.1高纯工业品三溴化硼采用石英材质容器包装，容器外套厚质PVC塑料袋和不透光塑料膜；外包装
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