ICS 23.160 N 68
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T30434—2013
电阻真空计通用技术条件
General specifications for resistance vacuum gauge
2013-12-31发布
2014-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T 30434—2013
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国实验室仪器和设备标准化技术委员会（SAC/TC526)归口。 本标准起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、
上海市计量测试技术研究院、上海云捷真空仪器有限公司、成都容宝电子科技有限公司、沈阳仪表科学研究院、上海维可电真空技术开发有限公司、成都国光电气股份有限公司。
本标准主要起草人：徐自勇、金丽辉、许红、陈建沪、贺良武、徐秋玲、陈凌云、李泞。
- GB/T30434—2013
电阻真空计通用技术条件
1范围
本标准规定了电阻真空计的术语和定义、使用条件、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于压力指示范围为1.0×10-Pa~1.0×10°Pa（测量范围为5.0×10-1Pa~3.0×10°Pa）的电阻真空计（以下简称真空计）。
2规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T191—2008包装储运图示标志 GB/T2829—2002 周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T3369.1—2008 过程控制系统用模拟信号第1部分：直流电流信号 GB/T3369.2—2008 过程控制系统用模拟信号第2部分：直流电压信号 GB4793.1—2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求 GB/T4982—2003 真空技术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型 GB/T6107-2000 使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口 GB/T11014—1989 平衡电压数字接口电路的电气特性 GB/T25480—2010 仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法 JJG2022—2009 真空计量器具 ANSI/EIA/TIA574—1990 使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路端接设备之间
的同步接口
3术语和定义
GB/T3163--2007界定的术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了 GB/T3163一2007中的一些术语和定义。 3.1
真空计 vacuumgauge 测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的仪器。 注：通常使用的某真空计实际上不测量压力（术语中它是以作用在表面上的力来表达的），而是测量在规定条件
下与压力有关的某些其他物理量。 [GB/T3163—2007,定义4.1.2]
3.2
规管 gaugehead 规头电阻真空计中，包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。
1 GB/T 30434—2013
[GB/T3163—2007,定义4.1.2.1]
3.3
真空计控制单元 Egauge control unit 电阻真空计中，包含电源和测量、控制及输出等功能所需的部件。 [GB/T3163—2007,定义4.1.2.2]
3.4
真空计指示单元 gauge indicating unit 电阻真空计中，以压力为单位显示输出信号的部件。 [GB/T3163—2007,定义4.1.2.21]
4 使用条件
4.1 环境温度：0℃~40℃。 4.2 相对湿度：不大于85%。
供电电源：交流额定电压220V，允许偏离额定值的范围为士10%（采用模块电源的允许在交流电
4.3
压为85V～265V的范围内工作）；额定频率50Hz，允许偏离额定值的范围为士2%。 4.4 周围无强烈振动、灰尘、强电磁干扰和腐蚀性气体。
5 要求 5.1外观 5.1.1规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。 5.1.2 2真空计的开关、按钮、指示灯、插头（座）、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好。 5.1.3 3真空计所有紧固件应牢靠，不应松动脱落。 5.1.4真空计机箱表面应平整、光洁，无明显涂层剥落、锈蚀等现象。 5.2 规管 5.2.1电阻值 5.2.1.1 当规管热丝电阻冷态电阻值在10Q～50Q时，其电阻值不应超过规管设计要求值的土5%。 5.2.1.2 当规管热丝电阻冷态电阻值在51α100α时，其电阻值不应超过规管设计要求值的±1.5%。 5.2.2 规管与真空系统的连接 5.2.2.1规管连接部分为圆型管道时，管道的外径应为15.5mm±0.5mm 5.2.2.2 2规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，应符合GB/T4982一2003的要求。 5.2.3密封性
规管对氮气的漏率不应大于10-"Pa·m"/s。 5.2.4绝缘电阻
规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不应小于10Mα。
2 GB/T30434—2013
5.3整机性能 5.3.1指示范围
指示范围为1.0×10-1Pa～1.0×10°Pa。 5.3.2测量范围内相对误差 5.3.2.1测量范围为5.0×10-1Pa～3.0×10°Pa。 5.3.2.2测量范围内示值相对误差不应超过土50%。 5.3.3稳定性 5.3.3.1正式调整好开始，零点1h内漂移量不应超过测量范围下限值的士10%。 5.3.3.2正式调整好开始，满度1h内漂移量不应超过指示范围上限值的士25%。 5.3.4供电电源电压影响量 5.3.4.1供电电源电压在220V士22V范围内变化时，零点的漂移量不超过测量范围下限值的土5%。 5.3.4.2供电电源电压在220V土22V范围内变化时，满度的漂移量不超过指示范围上限值的土5%。 5.3.5安全性能 5.3.5.1在采用规定值的介电强度电压试验时，真空计不应出现击穿或重复飞弧现象（电晕效应和类似现象可忽略不计）。 5.3.5.2真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻，在电源开关闭合情况下不应小于10MQ。 5.3.6模拟量输出信号
当真空计有模拟量输出信号时，应满足下列要求： a) 真空计模拟直流电流信号范围应符合GB/T3369.1一2008的要求； b) 真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T3369.2-2008的要求。
5.3.7开关量输出接口与通信接口 5.3.7.1 当真空计有开关量输出接口时，应满足下述要求：
a) 应注明接口的电气性能，如，有源或无源触点输出、触点的功率参数等； b) 应注明接口的各个引线的序号和功能。
5.3.7.2 当真空计有通信接口时，应满足下述要求：
a) 真空计的数字通信接口，应优先采用RS232、RS485和RS422接口； b) 采用25针和RS232C/RS485接口应符合GB/T6107一2000的要求； c) 采用9针RS232C/RS485接口应符合ANSI/EIA/TIA574—1990的要求； d) 采用RS422接口应符合GB/T11014一1989的要求。
5.3.8抗运输环境性能
真空计在包装完好状态下，模拟运输、贮存基本环境条件进行高温试验、低温试验、湿热试验和跌落试验，试验结束后，打开包装，真空计应完好无损，其结果应符合5.1、5.2和5.3的要求。 5.3.9规管完好性判断
当真空计不接规管或规管损坏时，真空计应有特别指示（具体提示方法由制造商在技术文件中给
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出），不应显示错误的真空度数据。
6试验方法 6.1 试验条件
环境温度为23℃士5℃，湿度不大于85%，周围无热源、无空气对流并无振动。 6.2 外观检查
用目测、手动方法或相应的测量工具进行检查，结果应符合5.1的规定。 6.3 规管试验 6.3.1 电阻值试验 6.3.1.1 用电桥测量法测量冷态电阻，测量电路见图1，
R
说明： RI、R2 标准电阻，R，=R2，R：、R，取近似于R。的2倍，其误差不超过士0.5%； R.
电阻真空计规管电阻；标准电阻箱，最小步进值应优于规管电阻R。的0.2%，最大电阻为R。的2信； 0kn20kn多圈电位器； 0.5级光点检流计；稳定度优于0.2%的直流稳压电源，其标称值为2V；准确度等级为1级的直流毫安表。
R3 R, G E mA
图1 电桥测量法电路示意图
6.3.1.2 测量时取加热电流为工作时最小电流的1%。 6.3.1.3 在环境温度为23℃士5℃、湿度不大于85%，并在无热源、无空气对流及无振动的条件下，按照规管正常使用时的安装位置放置规管。调节标准电阻箱R3，使得Is为0；这时R。=Rs，R。值由电阻箱读出，其电阻值应符合5.2.1的规定。
注：参照JF1050—1996的有关规定进行。 4 GB/T30434—2013
6.3.2规管与真空系统的连接试验 6.3.2.1用游标卡尺测量圆型管道的外径（离出口不小于30mm部分），结果应符合5.2.2.1的规定。 6.3.2.2用观察或GB/T4982一2003所规定的相应检测工具进行检查，结果应符合5.2.2.2的规定。 6.3.3密封性试验
在灵敏度不低于（5×10-1°）Pa·m/s的氨质谱检漏仪上进行检查，结果应符合5.2.3的规定。 6.3.4绝缘电阻试验
用测试电压为500V的绝缘电阻测试仪检查规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻，结果应符合 5.2.4的规定。 6.4 整机性能试验 6.4.1指示范围试验 6.4.1.1仪器零点的调整，当真空系统真空度高于1.0×10-2Pa时，对真空计指示值进行零点调节 6.4.1.2仪器满度的调整，用氮气缓缓放入真空系统至1.0×10'Pa时，对真空计指示值进行满度调节。 6.4.1.3在真空校准系统上检查电阻真空计显示的压力指示范围，结果应符合5.3.1的规定。 6.4.2测量范围内相对误差试验 6.4.2.1采用标准真空计比对校准法来检测真空计测量的相对误差。示意图见图2。
X 真空阀
标准真空规
被校真空规
真空室
真空阀
.
真空获得系统
图2真空标准装置比对校准法示意图
6.4.2.2图中标准真空计采用压缩式真空计或薄膜真空计，具体测量范围及最大允差或不确定度见 JJG2022-2009。 6.4.2.3调节真空室压力使标准真空计指示在0.5Pa、1Pa、5Pa、10Pa、30Pa、60Pa、100Pa、200Pa、 500Pa、1000Pa、3000Pa等11个点上，逐点记录被检仪器的指示值，按式(1)计算各点的相对误差，其最大相对误差应符合5.3.2的规定。
8= P. -- P. ×100%
(1) 5
P. GB/T30434-2013
式中： d Pm -. 被校真空计指示值； P, — 标准真空计压力值。
相对误差；
6.4.3稳定性及供电电源电压影响量试验 6.4.3.11 仪器在试验前，预热时间不应少于30min。将真空计配用的真空规与真空系统连接，在真空室处于大气压力下调节好真空计的满度，在真空室真空度高于1.0×10-2Pa的某一稳定压力时，调节好真空计的零点。再将真空室处于大气压力下重新调节好真空计的满度，在真空室真空度高于 1.0×10-2Pa的某一稳定压力时，重新调节好真空计的零点。重复上述过程2次～3次，确认调节好真空计的满度和零点。 6.4.3.2 调好零点，1h后观察真空计指示值的漂移量，结果应符合5.3.3.1的规定。 6.4.3.3 调好满度，1h后观察真空计指示值的漂移量，结果应符合5.3.3.2的规定。 6.4.3.4 调好零点，维持系统压力不变，令供电电源电压在220V土22V范围内变化，真空计指示值的漂移量应符合5.3.4.1的规定。 6.4.3.5调好满度，维持系统压力不变，令供电电源电压在220V土22V范围内变化，真空计指示值的漂移量应符合5.3.4.2的规定。 6.4.4安全性能试验 6.4.4.1介电强度试验按GB4793.1一2007中6.8的规定进行，其结果应符合5.3.5.1的规定。 6.4.4.2用500V绝缘电阻表测量真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻，其结果应符合 5.3.5.2的规定。 6.4.5模拟量输出信号试验 6.4.5.1用0.5级直流电压表对输出模拟直流电压信号按制造商在技术文件中的规定进行检测。 6.4.5.2用0.5级直流电流表对输出模拟直流电流信号按制造商在技术文件中的规定进行检测。 6.4.6开关量输出接口与通信接口试验
按制造商在技术文件中的规定进行检测。 6.4.7抗运输环境性能试验
真空计在包装完好情况下，按GB/T25480—2010的要求进行。其中： a）高温试验选用：55℃土2℃； b) 低温试验选用：一25℃土2℃； c) 湿热试验选用：相对湿度（25℃）95%； d) 跌落试验选用：自由跌落高度250mm。
6.4.8规管完好性判断试验 6.4.8.1不接规管直接开机，按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示。 6.4.8.2连接好规管开机，记录当时的输出状态。将规管拔掉，再次记录此时的输出状态。检查这两次记录的输出状态是否改变，按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示。
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