JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF 1535—2015
微机电（MEMS）陀螺仪校准规范
Calibration Specification for MEMS Gyroscopes
2015-09-15实施
2015-06-15发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1535—2015
微机电（MEMS）陀螺仪
校准规范 Calibration Specification for
JJF1535—2015
MEMS Gyroscopes
归口单位：全国惯性技术计量技术委员会
主要起草单位：南京理工大学
中航工业北京长城计量测试技术研究所
参加起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
本规范委托全国惯性技术计量技术委员会负责解释 JJF1535—2015
本规范主要起草人：
裘安萍（南京理工大学）施芹 (南京理工大学) 董雪明（中航工业北京长城计量测试技术研究所）
参加起草人：
朱欣华（南京理工大学）各海锋（中国电子科技集团公司第十三研究所） JJF1535—2015
目 录
引言
(Ⅱ) (1) (1) (1) (1 ) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (4) (4) (5) (11) (12) (13) (16)
范围· 2 引用文件· 3 术语· 3.1MEMS陀螺仪 3.2零偏重复性B. 3.3 零偏稳定性B 3. 4 零偏温度灵敏度B 3.5 零偏加速度灵敏度B。 3.6 角度随机游走系数·· 3.7 带宽Bw
1
概述· 5 计量特性
4
校准条件 6. 1 校准环境条件。 6.2 校准用设备
6
校准项目和校准方法 7. 1 校准项目 7. 2 校准方法 8校准结果表达·
复校时间间隔附录A微机电（MEMS）陀螺仪主要参数不确定度评定示例附录B校准证书内页格式
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- JJF1535—2015
引言
陀螺仪按照特定的类型大部分都有专用的校准规范或测试方法，MEMS陀螺仪作为一种新型传感器，广泛应用于国民经济各领域。依据MEMS陀螺仪校准的实际情况参照IEEEStd1431TM一2004《科里奥利原理振动陀螺仪的IEEE标准技术规范格式指南和试验方法》（IEEEStandardSpecificationFormatGuideandTestProcedureforCo riolisVibratoryGyros）编写本规范
本规范为首次发布。
II JJF1535—2015
微机电（MIEMS）陀螺仪校准规范
1范围
本规范规定了微机电（MEMS）陀螺仪（以下简称MEMS陀螺仪）的校准项目和校准方法，适用于单敏感轴MEMS陀螺仪，多敏感轴MEMS陀螺仪可以参照执行。
2引用文件
本规范引用了下列文件： GB321一2005优先数和优先数系 GJB585A一1998惯性技术术语 GJB2425A一2004光纤陀螺仪测试方法 IEEEStd1431TM一2004科里奥利原理振动陀螺仪的IEEE标准技术规范格式指
南和试验方法（IEEEStandardSpecificationFormatGuideandTestProcedureforCori olis Vibratory Gyros)
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语
GJB585A一1998、GJB2425A一2004确立的以及下列术语、定义和符号适用于本规范。 3.1MEMS陀螺仪MEMSgyroscopes
微电子与微机械相结合的基于高频振动的质量被基座带动旋转时存在哥氏效应原理的微型化速率陀螺仪。 3.2零偏重复性B，biasrepeatability
在同样的条件下及规定的时间间隔内，多个工作周期的MEMS陀螺仪零偏之间的
一致程度。重复性一般包括逐日和逐次重复性。用零偏的标准偏差或零偏变化量表示，/h，“/s。 3.3零偏稳定性B。biasstability
一个工作周期内MEMS陀螺仪的零偏稳定程度。用零偏的标准偏差或零偏的最大变化量表示，°/h，/s。 3.4零偏温度灵敏度B，biastemperaturesensitivity
相对于室温零偏，由温度变化引起的零偏变化量与温度变化量之比，一般用绝对值的最大值表示，（°/h）/℃，（/s）/℃。 3.5零偏加速度灵敏度B。或B，biasg-sensitivity
由加速度引起的MEMS陀螺仪零偏变化程度。一般利用重力加速度进行测量， (°/h)/g，(°/s)/g。
1 JJF1535—2015
表1MEMS陀螺仪的主要计量特性计量特性名称
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 零偏重复性 12 零偏加速度敏感度 13
单位 mV/(°/s)
标度因数标度因数非线性度标度因数不对称度标度因数重复性标度因数温度灵敏度阅值分辨力零偏准备时间零偏稳定性
1/℃ °/h,°/s °/h,°/s °/h,°/s
"/h,"/s "/h,"/s
(°/h)/g,(°/s)/g
"/h,"/s
角度随机游走系数
14 零偏温度灵敏度 15 带宽
(/h)/℃ ,(°/ s)/℃
Hz
6
校准条件 6. 1 校准环境条件
1）校准温度：（20士5）℃，校准过程中温度波动量不超过2℃。 2）相对湿度：≤85%。 3）周围无强电磁场，无腐蚀性气体或液体，无强震源。
6.2 校准用设备
校准用标准装置及配套设备如表2所示。
表2校准用标准装置及推荐技术指标
序号
技术指标速率精度及平稳度： 0.05%（速率>10/s）
用途标度因数
校准用标准装置及配套设备
速率转台
标度因数非线性度标度因数不对称度标度因数重复性标度因数温度灵敏度
电压表（频率计）
分辨率：6位半
速率转台
1
温度偏差：土2℃ 温度波动度：1℃ 温度均匀度：2℃
阅值分辨力
温箱
零偏温度灵敏度
3