JJF1238—2010
集成电路静电放电敏感度
测试设备校准规范 Calibration Specification for the Testing System for Microcircuits Electro-static
JJF1238—2010
：人草味啡参
Discharge (ESD) Sensitivity 本规范经国家质量监督检验检疫总局于2010年1月5日批准，并自
2010年4月5日起施行。
归口单位：全国无线电计量技术委员会起草单位：中国电子技术标准化研究所
本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释 JJF1238—2010
安想电电精电东
本规范主要起草人：
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吴京燕（中国电子技术标准化研究所）
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参加起草人：
陈大为（中国电子技术标准化研究所） ggisdbaid
自日01OS总量国
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本木量十电整天国全：单口同处邦科木子电国中：单草
市场监管总局
责员会员委木艾量开申整天国全开委菲财本 JJF1238—2010
目 ·录
范围引用文献·
1 2
(1) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (4) (4) (5) (7)
3 术语·
概述· 5 计量特性. 6校准条件.. 6.1环境条件· 6.2测量标准及其他设备 7 校准项目及校准方法 * 8 校准结果的表述 . 9 复校时间间隔· 附录A 集成电路静电放电敏感度测试设备校准证书内页格式附录B 集成电路静电放电敏感度测试设备校准不确定度分析
4
...
市场 JJF1238—2010
集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范
.2
1范围
感成麻颜社
本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备（人体放电模型HumanBody Model，简称HBM）的校准。
赶文承团
器嫂.S.8
2 引用文献
OHNH
：宽带小量
GJB548B一2005微电子器件试验方法和程序（方法3Q15）置分大靠回切长工使用本规范时， 应注意使用上述引用文献的现行有效版本 火来带宝S.S.0
SHOI：宽带大
IOH
3术语 3.1 衰减时间 decaytimes
E abos8s.0
O·宽带
放电电流从10g%峰值衰减到36.8%峰值所需的时间。 3.2振荡电流 ringing current
NIH 大量
放电电流波形中抖动、不连续点电流幅度 4概述
D
搬容备受
友顾用业
手总进
集成电路静电放电敏感度测试设备（简称ESD设备）主要模拟产生自然界中人体可能带有的静电电压，并将产的静电电压施加到被测器件上，以考察器件的抗静电能力。其主要结构如图1所示：
数事
0
1.5k2
P
羊品测试座
高压源
100pl
R
器效示宇楼。长 图1集成龟路静电放电敏感度测试设备结构示意图 5计量特性 发进（M8H）本人式81 5.1短路电流参数（人体模型HBM) 申12量器效示用器味大彩女 5.1.1峰值电流I：±（0.2～6)A 范围10%的器.1.
（
大电器8bos
直斯电
范围（2~10)ns电量示酒图，图
5.1.2上升时间 5.1.3衰减时间td：150ns 5.1.4振荡电流I.：
烘各
范围：士20ns 范围15%模量器
注：被校准设备具体量程以GJB548B-2005方法3015为准。8圈）点耳交幽背代讯效已
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6 校准条件 6.1环境条件 6.1.1环境温度：（23士5）℃。 6.1.2环境相对湿度：30%~75%。 6.1.3e交流电源电压：（220士11）V；（50士1)Hz。效电赠电果用财本 6.2测量标准及其他设备
财音想电集
围菜
（MHoboM
6.2.1数字示波器
文用S
最小带宽：≥350MHz；上升时间最大允许误差：350S量200-8880
6.2.2宽带电流探头
意
带宽：≥1GHz; 最大允许误差：土5%。
木
6.2.320dB衰减器
mee1.8
带宽：>1GHz；最大允许误差：土5%。
意家电电
同
新电S.
申点车不，运中能电电好
7校准项目及校准方法
监管总局
设备在进行校准前应按说明册要求预热。并检查校准用测试插座连接性、校准环境静电防护设施的正常性。要专人
通效
7.1短路电流（人体模型ABM）参数校准 租申 丰井迅电 7.1.1校准设备连接如图2所示。
示测「图顺整要主其。式
电流探头和衰减器
ESD设备
高速宽带示波器
测试座
图2校准连接框图
7.1.2选择被校设备测试座上引线最长的通道为被校准通道，将被校准通道（设置为放电通道）与地端（设置为GND通道）用短路线相连并接入电流探头，数字示波器通过20dB衰减器与电流探头相连。电流探头正端面向放电通道侧。 7.1.3被校设备设置放电模型为人体模型（HBM)，按表1的试验等级设置充电电压，通过电流探头和衰减器用示波器测量ESD电流波形参数。 7.1.4调节示波器的垂直刻度和水平刻度，使测量波形位于示波器恰当的位置上。按图3、图4所示，测量短路电流的峰值电流Ip、上升时间tr、衰减时间td、振荡电流I 各参数。
当把示波器的时间测量刻度调节到5ns/div（每格），以波形下降趋势线的向上延伸与波形上升沿的交互点（图3中A点）为峰值电流Ip；8双野量格具普好象效 2 JJF1238-2010
表1/ESD试验等级及对应电参数
承电前轴
等级 1 2 3 4 O
I，电流峰值 0.33A 0.67A 1.33A 2.67A 5.33A
范围 ±10% ±10% ±10% ±10% ±10%
模拟充电电压
0.5kV 1kV 2kV 4kV 8kV
品小室时（B 营室夹（d
1o 90%
1
A
（b 单（9
（g
10%
监管总局
5ns/div
图3短路电流的峰值电流Ip、上升时间t、振荡电流I.波形 本（
（
：麒日贵
人
I.
领夹爱未（m 開间期复电东回
，
36.8%
-
100ns/div
图4短路电流的衰减时间波形
上升时间t为10%峰值到90%峰值之间的时间；衰减时间t为峰值到36.8%峰值之间的时间；振荡电流I为放电电流波形中抖动、不连续点的电流幅度。一般小于15%峰值电
流Ip。
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7.1.5将峰值电流、振荡电流测量结果记录于附录A表1中，上升时间、衰减时间测量结果记录于附录A表2中。 前种旅申。 7.1.6对于同一通道上不同放电电压下电流波形参数校准点，重复7.1.3～7.1.5的校准步骤。 7.1.7对于其他的通道，选放电电压士1kV下的电流波形参数为验证点，重复 7.1.3～7.1.5的校准步骤，校准整个设备所有通道。将峰值电流、振荡电流测量结果记录于附录A表3中，上升时间、衰减时间测量结果记录于附录A表4中。
8校准结果的表述
OHONHSI
集成电路静电放电敏感度测试设备的校准结果用校准证书或校准报告表达，证书或报告至少包括以下信息：
1O LO
a）标题，如“校准证书”或“校准报告”； b）实验室名称和地址/ c）进行校准的地点（如果不在实验室内进行校准）； d）校准证书或报告的唯一性标识（如编号每页和总页数的标识 e）送校单位的名称和地址； f）校准的集成电路静电放电敏感测试设备名称、型号和编号； g）进行校准的目期，校准环境温，湿度等)；当接受日期对校准结果的有效性有
影响时还应注明被校对象的接收日期，
h）校准所依据的技术规范名称及代号； i）本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明， 电 i）校准结果及其测量不确定度的说明； k）校准证书戴校准报告签发人、校准人，审核人等效标识，以及签发日期； 1）校准结果仅对被校对象有效的声明 m）未经实验室书面批准，不得部分复制证书或报告的声明。
E S
9复校时间间隔
集成电路静电放电敏感度测试设备的复校时间用户可根据使用情况决定，建议复校
时间间隔为1年，必要时可随时送校 NA
METROLOGY
oeo
8
小融点中
红流
4 JJF1238-2010
附录A
新电 流电前花来
集成电路静电放电敏感度测试设备校准证书内页格式
坐
智
新利 丑电 号旅直量
量账
大吉
围萌
工作正常性：正常口 不正常口短路电流波形参数校准
Vi
Aoa.
表1 峰值电流、 振荡电流
I峰值电流 NH
I.振荡电流范围 <15%I,
设置电压
测量不 标准确定度 测量值
标准测量值
测量不确定度
范围
0.5kV 0.5kV 1kv 1kv 2kV -2kV 4kV -4kV G -2.94A 40A 8kV
0.30A~0. 36 0.36A~ 0.30A 0.60A~0. 90.73A
15%1, 15%1 15%1
60A
C1.20A~1.46A 1.46A~ 2.40A~2 94A
5-07
￥
15% <15% 15% 15%
4.80A~5.86A
-8kV I 5.86A~-4.80A
415%1, V 衰减时间
0
表2 上升时间、 衰减时间
A
t上升时间
设置电压 标准测量值 范围 测量不确定度 标准测量值 范围 测量不确定度
2ns~10ns
130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns~170ns 130ns170ns
0.5kV -0.5kV 1kV -1kV 2kV -2kV 4kV -4kV 8kV 8kV
nChong 2ns~10ns 2ns~10ns 2ns~10ns 2ns~10ns 2ns~10ns 2ns~10ns 2ns~10ns
2ns~10ns METRO OG
5