ICS 17.100 N11
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 9481—2020 代替JB/T9481—1999
扩散硅力敏器件 Diffused silicon pressure sensitive device
2020-12-09发布
2021-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T9481—2020
目 次
前言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4分类与命名， 5要求... 6试验方法， 7检验规则 8标志、包装、运输和贮存附录A（规范性附录）器件性能指标的计算方法
n
12 14 16
表1型号及测量上限表2器件的准确度等级. 表3检验项目和检验顺序表A.1校准循环次数与包含因子
12 .20 JB/T9481—2020
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JB/T9481-1999《扩散硅力敏器件》，与JB/T9481一1999相比主要技术变化如下：
修订拓宽了适用范围（见第1章，1999年版的第1章）；增加了规范性引用文件，修订了引用文件的版本（见第2章，1999年版的第2章）；一删除了原来的定义，引用GB/T4475和GB/T7665界定的术语和定义（见1999年版的第3章）；针对第1章拓宽的适用范围，进行了适用性修改，并删除了原4.3“结构、尺寸”（见第4章 1999年版的第4章）；
对5.1“工作条件”进行了修改，调整、增加、规范了相关要素，使总要素由18个增加到35
个，并提出了相应要求（见第5章，1999年版的第5章）；一对6.1“试验设备和仪器要求”进行了修改，对第5章的35个要素，给出了试验方法（见第6
章，1999年版的第6章）；一增加了表3“检验项目和检验顺序”，对7.3“型式检验”进行了修改（见第7章，1999年版的
第7章)；增加了“包装”“运输”和“贮存”，并进行了相应的修改（见第8章，1999年版的第8章）。
本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。 本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心（沈阳国
仪检测技术有限公司）、传感器国家工程研究中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司、西安森瑟斯传感器有限公司、中国仪器仪表协会传感器分会。
本标准主要起草人：郑东明、张阳、于振毅、王冰、崔卫、张治国、孙克、徐秋玲、祝永锋。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
ZBN110111988; —JB/T9481—1999。
II JB/T9481-2020
扩散硅力敏器件
1范围
本标准规定了扩散硅力敏器件的术语和定义、分类与命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体扩散硅力敏器件（以下简称器件）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志 GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温 GB/T2423.2—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.3—2016 环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验 GB/T2423.5—2019 环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击 GB/T2423.10—2019 环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦） GB/T2423.15—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ga和导则：稳态加
速度
GB/T2423.17—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ka：盐雾 GB/T2423.21—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验M：低气压 GB/T2423.24—2013 环境试验第2部分：试验方法试验Sa：模拟地面上的太阳辐射及其试验
导则
GB/T2423.25—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Z/AM：低温/低气压综合试验
GB/T2423.26—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Z/BM：高温/低气压综合试验
GB/T2423.27—2020 环境试验第2部分：试验方法试验方法和导则：温度/低气压或温度/湿度/低气压综合试验
GB/T2829周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T4475 敏感元器件术语 GB/T 7665 传感器通用术语
3术语和定义
GB/T4475和GB/T7665界定的术语和定义适用于本文件。
- JB/T9481—2020
4 4分类与命名
4.1 型号命名 4.1.1 型号的组成
器件的型号由汉语拼音首字母和数字组成。 示例：
ML3-
其中： M：主称（敏感器件）； L: 类别（力敏器件)： 3：结构特征；口口口：测量上限。
4.1.2 说明
型号中第三项“结构特征”：1——硅应变片，2——硅应变梁，3——硅杯。 型号中第四项“测量上限”，由三位数字组成，第一位数代表10的幂数，第二位数代表测量上限的
整数值，第三位数代表测量上限的小数十分位。测量上限的单位为千帕（kPa）。例如：
325
第一位3：代表10的3次幂；第二位2：代表整数；第三位5：代表小数0.5。 该三位数表示的测量上限是：2.5×103kPa。 器件的型号及测量上限见表1。
表1型号及测量上限
单位为千帕
型号 ML*-010 ML*-016 ML*-025 ML*-040 ML*-060 ML*-110 ML*-116 ML*-125 ML*-140 ML*-160 ML*-210 ML*-216 ML*-225 ML*-240 ML*-260
测量上限 1.0 1.6 2.5 4.0 6.0 10 16 25 40 60 100 160 250 400 600
2 JB/T9481—2020
表1 型号及测量上限（续）
单位为千帕
型号 ML*-310 ML*-316 ML*-325 ML*-340 ML*-360 ML*-410 ML*416 ML*-425 ML*-440 ML*-460
测量上限 1 000 1 600 2 500 4 000 6 000 10 000 16 000 25 000 40 000 60 000
注：*可以选择1、2或3。 4.2 品种及规格
器件品种及规格见表1。 4.3 准确度等级
器件的准确度等级应符合表2的规定。
表2 器件的准确度等级
准确度等级 (0.01)
允许的基本误差 %
±0.01 ±0.02 ±0.03 ±0.05 ±0.1 ±0.2 ±0.25 ±0.3 ±0.5 ±1 ±2
0.02 (0.03) 0.05 0.1 (0.2) 0.25 (0.3) 0.5 1.0 2.0
注：不带括号的为优先推荐值。
5 要求
5.1 工作条件
5.1.1 温度范围
器件使用的典型环境温度为-30℃～80℃。其他特殊要求的器件，可参照下述温度等级选择：
3 JB/T9481—2020
-70℃、-65℃、-55℃、-40℃、-25℃、-10℃、5℃、40℃、50℃、70℃、85℃、100℃、125℃、 155℃、200℃、250℃、400℃。 5.1.2激励
器件的标称激励，典型值是直流1.5mA或5V。也可选择直流0.5mA、1mA、2mA、5mA或直流激励电压3V、6V、9V、12V、18V。 5.1.3参比大气条件
器件的参比大气条件： a）温度：20℃±2℃； b）相对湿度：65%土10%； c）大气压力：86kPa～106kPa。
5.1.4一般试验大气条件
当器件不可能或无必要在参比大气条件下进行试验时，推荐采用下述大气条件： a）温度：15℃~35℃ b）相对湿度：30%~85%； c）大气压力：86kPa～106kPa。 注：在每项试验期间，允许的温度变化每小时不大于1℃。
5.1.5其他环境条件
除上述大气条件外，试验应在下述环境条件下进行： a）磁场：除地磁场外，无其他外界磁场； b）机械振动：无机械振动。
5.2外观、尺寸和重量 5.2.1外观
器件的外观应符合下列要求： a）标志清晰完整、准确； b）表面加工质量良好； c）焊接件焊缝牢固； d）电连接器接触可靠，连接方式符合产品技术条件（详细规范）的规定。
5.2.2尺寸和重量
外形尺寸、机械接口型式与尺寸、重量应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.3 3电气性能 5.3.1绝缘电阻
器件的绝缘电阻应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.3.2 绝缘强度
器件的绝缘强度应符合产品技术条件（详细规范）的规定。
4 JB/T9481—2020
5.4静态性能 5.4.1零点输出
器件的零点输出应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.4.2满量程输出
器件的满量程输出应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.4.3非线性度
器件的非线性度应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.4.4迟滞
器件的迟滞应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.4.5重复性
器件的重复性应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.4.6准确度
器件的准确度应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.5 零点漂移
器件的零点漂移应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.6过载
器件的过载应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.7破坏压力额定值（适用时）
器件的破坏压力额定值应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.8 3零点稳定性
器件的零点稳定性应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.9 9动态性能 5.9.1 频率响应（适用时）
器件的频率响应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.9.2谐振频率（适用时）
器件的谐振频率应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 5.9.3自振频率（亦称振铃频率）（适用时）
器件的自振频率应符合产品技术条件（详细规范）的规定。
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