ICS 77. 150. 99 CCS H 66
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 1413-—2021
超高纯钢 Ultra high purity indium
2021-03-05发布
2021-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1413—2021
前 言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SCA/TC243)提出并归口。 本文件起草单位：峨眉山市峨半高纯材料有限公司，峨嵋半导体材料研究所，成都中建材光电材料有
限公司，广东先导稀材股份有限公司，有色金属技术经济研究院有限责任公司。
本文件主要起草人：孙平、张程、雷聪、黎亚文、朱君、郑林、覃士敏、孙艳容、朱赞芳。 YS/T1413—2021
超高纯钢
1范围
本文件规定了超高纯钢的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于以99.99%钢为原料，经过电解、真空蒸馏、直拉等工艺制备的纯度不低于99.99999% 的超高纯铟。产品主要用于制作半导体化合物、高纯合金及半导体材料的掺杂剂等。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 YS/T981.1高纯铟化学分析方法镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、铊、铅的测定 高质量
分辨率辉光放电质谱法
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
4.1化学成分
超高纯钢的牌号为In-07，其化学成分应符合表1的规定。
表1牌号及化学成分牌号
In-07 99. 99999 0. 002 0. 005 0. 005 0. 005 0. 005 0. 005 0. 01
In/%,不小于
Ag Cd Cu Fe Mg Ni Pb
化学成分（质量分数）
杂质/10-4%，不大于 YS/T1413—2021
表1牌号及化学成分（续）牌号
In-07 0. 02
Zn Al Au Ca Co V Cr Ga Mn Na Ti T1
杂质/10-4%，不大于
化学成分（质量分数）
0. 1
杂质总和°/10-4%，不大于
注：用户对其他杂质元素要求提供检测数据时，可由双方协商解决。 超高纯铟的铟含量为100%减去杂质(不包含C、N、O等气体元素）总和的余量。 b杂质总和为包括且不限于表中所列杂质元素实测值之和。
4.2规格
超高纯为锭状、棒状、粒状。具体规格及尺寸要求由供需双方商定 4.3外观质量
超高纯钢外观呈银白色有金属光泽，锭状产品表面应平整、无缩孔。
5试验方法
5.1超高纯铟中镉、铜、铁、镁、镍、铅、锌、铝含量的检测按照YS/T981.1的规定进行，其他化学成分分析参见附录A，或按照供需双方协商确定的方法进行。 5.2超高纯钢的规格及尺寸要求由供需双方商定。 5.3超高纯钢的外观质量用目视法检查。
6检验规则
6.1检查与验收 6.1.1超高纯钢应由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 6.1.2需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时，应在收到产品之日两个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，应由供需双方在需方共同取样或由供需双方协商确定。 2 YS/T1413—2021
7. 2 包装
采用以下三种方式之一进行包装： a）用透明聚酯薄膜包裹，用塑料袋真空封装（两层），外层用铝箔纸真空或充氩（wAr=99.999%）封
装，再用纸箱包装，用泡沫塑料等软物塞紧； b) 用玻璃管真空封装，再用纸箱包装，用泡沫塑料等软物塞紧； c) 由供需双方协商确定的包装方式。
7.3运输
超高纯钢在运输过程中应防潮，不得与酸碱等腐蚀性物质混装和混运，不得剧烈碰撞。 7.4存
超高纯铟应贮存在阴凉、干燥、通风、清洁、无酸碱气氛之中。 7.5 5随行文件
每批超高纯钢应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：
a) 质量保证书； b）合格证； c）产品使用说明； d)j 产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告； e) 产品交付表； f）其他。
订货单内容
B
需方可根据自身需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容： a) 产品名称； b）牌号； c) 规格； d) 化学成分及检测方法的特殊要求； e) 包装方式； f) 本文件编号； g) 其他。 YS/T1413—2021
附录A (资料性）
超高纯钢化学分析方法 辉光放电质谱法 痕量元素含量的测定
A.1方法原理
试料作为阴极进行辉光放电，在氩气气氛下，其表面原子被溅射而脱离试样进入辉光放电等离子体中，在等离子体中离子化后被导入质谱仪。在每一元素同位素质量数处以预设的扫描点数和积分时间对相应谱峰积分，所得面积即为谱峰强度，元素含量用公式（A.1)求出。无标准样品时，计算机根据仪器软件中的“典型相对灵敏度因子”自动计算出各元素的质量分数；有标准样品时，需通过在与被测样品相同的分析条件、离子源结构以及测试条件下对标准样品进行独立测定获得相对灵敏度因子，应用该相对灵敏度因子计算出各元素的质量分数。
被测元素含量以该元素的质量分数wx计，以μg/kg表示，按公式（A.1)计算：
W=RSF(x/m)·（Ix·An)/(Im·Ax）·Wm
.(A.1)
式中： Wx RSF(x/b) 在特定辉光放电条件下测定In中X元素的校正系数： Ix,In
待测杂质元素质量分数，单位为微克每千克（ug/kg）；
分别为待测元素X和In元素的同位素谱峰强度，单位为个每秒(cps)；分别为待测元素X和In元素的同位素丰度； In的质量分数，数值为1.00×10°μg/kg。
Ax,An Win
A.2试剂或材料
除非另有说明，分析中所用的试剂均为优级纯，所用的水为一级水。 A.2.1 硝酸（p=1.42g/mL）。 A.2.2硝酸(1十5)。 A.2.3铟标准样品，被测元素质量含量在1μg/kg~500μg/kg之间。 A.2.4仪器背景监控样品，被测元素质量分数低于被测试样的10倍以上。 A.2.5 氩气（WAr≥99.999%）。 A.2.6 氮气（wN≥99.999%）。
A.3仪器
A.3.1高质量分辨率辉光放电质谱仪，中分辨率模式下分辨率可达3000～4000，高分辨率模式下分辨率可达9000～10000。 A.3.2测定同位素及分辨率见表A.1。测定时要求同位素115In的谱峰强度不小于1×10°cps，峰形符合分辨率要求。
表A.1 测定同位素及分辨率
元素 同位素质量数 分辨率 元素 同位素质量数 分辨率 元素 同位素质量数 分辨率
23 24
Na Mg
中分辨 Ti 中分辨 V
中分辨 Al 中分辨 Ca
27 44
48 51
中分辨中分辨
5 YS/T1413—2021
表A.1 测定同位素及分辨率(续）
元素 同位素质量数 分辨率 元素 同位素质量数 分辨率 元素 同位素质量数 分辨率
197 205 208 115
52 55 56 59 60
中分辨 Cu 中分辨 Zn 中分辨 Ga 中分辨 Ag 中分辨 Cd
63 64 69 109 111
中分辨 Au 中分辨 T1 中分辨 Pb 中分辨 In 中分辨
中分辨中分辨中分辨中分辨
Cr Mn Fe Co Ni
A.4样品
将样品制备成所需要的几何形状（块状或棒状），待分析面应平坦光滑。尺寸要求能放人辉光放电离子源内并且能够稳定地进行辉光放电。
A.5分析步骤
A.5.1 将加工好的样品以硝酸（A.2.2)和水依次清洗，用氮气（A.2.6)吹干，装入辉光放电离子源中。 A.5.2仪器背景监控试验
测定仪器背景监控样品（A.2.4)，观察被测元素的仪器背景情况。 A.5.3相对灵敏度因子的测定
使用钢标准样品（A.2.3)得出各被测元素的相对灵敏度因子。 A.5.4测定 A.5.4.1选择适当电流进行10min~20min电流预溅射，以清除样品表面污染。 A.5.4.2将辉光放电离子源溅射条件调节到分析所需要的条件，进行测量。同一溅射点连续采集的三个测量数据的精密度满足表A.2所允许的相对偏差的要求时，取其平均值作为测量结果。被测元素的含量以质量分数计，计算机直接给出计算结果。
A.6允许差
实验室之间分析结果的相对偏差应不大于表A.2所列允许相对偏差。
表A.2相对允许偏差
重复性条件下的允许相对偏差RSD
再现性条件下的允许相对偏差RSD
分析含量范围w
% 100 150 200
% 50 100 150
μg/kg >20~60 >5~20 >1~5