ICS 77. 150. 99 H 63
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 1371—2020
离子注入机用钨材 Tungstenmaterialforion implanter
2021-04-01实施
2020-12-09发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1371—2020
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：厦门虹鹭钨钼工业有限公司、西安瑞福莱钨钼有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公
司、成都联虹钼业有限公司。
本标准主要起草人：侯海涛、林强、杜勇、张衍诚、谭华、石涛、汤瑾、朱博、张林海、吴朝圣、范荣奎。 YS/T 13712020
离子注入机用钨材
1范围
本标准规定了离子注入机用钨材（钨板和钨杆)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存、质量证明书和订货单（或合同）等内容。
本标准适用于离子注入机用钨板和钨杆。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T2828.1—2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4324.25钨化学分析方法第25部分：氧量的测定 脉冲加热情气熔融-红外吸收法 GB/T4324.26钨化学分析方法第26部分：氮量的测定脉冲加热情气熔融-热导法和奈氏试
剂分光光度法
GB/T4324.27钨化学分析方法第27部分：碳量的测定高频燃烧红外吸收法 GB/T4340.1金属材料维氏硬度试验第1部分：试验方法 GB/T14265金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则 YS/T901高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
3技术要求
3.1化学成分
产品的化学成分应符合表1规定
表1离子注入机用钨材的化学成分
质量分数/%
化学成分
含量 99. 98 0.00250 0.00150 0.00150 0.00150 0.00150 0.00150
W Na Cr Fe Ni Mo Ta
主成分”，不小于
杂质成分，不大于
1 YS/T1371—2020
表1离子注入机用钨材的化学成分（续）化学成分
质量分数/%
含量 0.00100 0.00050 0.00050 0.00050 0.00050 0.00010 0.00010 0.00002 0.00001 0.00001 0.00001 0.00001 0.0001 0.00500 0.00500 0.00500 0.00150
K Ca Ag La Au Co S Mn Cu Zn Pd Cd Cs H 0 N c
杂质成分，不大于
主成分含量由100%减去杂质元素(不含C、H、O、N这四种元素)实测值的总和得到
3.2密度 3.2.1离子注入机用钨板
离子注人机用钨板的密度应符合表2规定。
表2离子注入机用钨板的密度要求
密度 g/cm ≥19. 15 ≥19.10
厚度 mm >1~10 >10~26
3.2.2离子注入机用钨杆
离子注人机用钨杆的密度应符合表3规定。
表3 离子注入机用钨杆的密度要求
密度 g/cm ≥19.15 ≥19.10
直径 mm >1~10 >10~26
2 YS/T 1371—2020
3.3 硬度 3.3.1 离子注入机用钨板的硬度一般采用HV30标识，如客户有其他要求可由供需双方进行协商。 3.3.2 离子注入机用钨板的硬度应符合表4规定。
表4离子注入机用钨板的硬度要求
厚度 mm >1~10 >10~26
硬度 HV30 >330~480 >330~460
3.3.3 离子注入机用钨杆的硬度应符合表5规定。
表5离子注入机用钨杆的硬度要求
直径 mm >1~10 >10~26
硬度 HV30 >350~500 >350~480
3.4尺寸和允许偏差 3.4.1离子注入机用钨板
离子注入机用钨板的厚度、宽度、长度及其允许偏差应符合表6规定。当合同中未注明允许偏差等级时，按Ⅱ级偏差供货。
表6高 离子注入机用钨板的尺寸规格及允许偏差
单位为毫米
允许偏差
项目厚度宽度长度
规格 >1~26 >1~150 >1~150 >150~300
I级 ±0. 025 ±0.025 ±0.025 ±0.50
Ⅱ级 ±0. 05 ±0.10 ±0.10 ±1. 00
3.4.2 2离子注入机用钨杆
离子注入机用钨杆的直径、长度及其允许偏差应符合表7规定。当合同中未注明允许偏差等级时，按Ⅱ级偏差供货。
表71 离子注入机用钨杆的尺寸规格及允许偏差
单位为毫米
允许偏差
项目直径长度
规格 >1~26 >1~150 >150~300
I级 ±0.025 ±0. 05 ±0.50
Ⅱ级 ±0.05 ±0.10 ±1. 00
3 YS/T1371-2020
3.5表面粗糙度
磨光态表面粗糙度R.值应不大于0.8μm，车光态表面粗糙度R。值应不大于1.6μm。 3.6外观质量 3.6.1产品外观为磨光态或车光态。 3.6.2产品外观应无裂纹、崩边、凹坑、分层、夹杂、氧化等缺陷。
4试验方法
4.1化学成分 4.1.1氧元素的含量按GB/T4324.25进行检验；氮元素的含量按GB/T4324.26进行检验；碳元素的含量按GB/T4324.27进行检验；氢元素的含量按GB/T14265进行检验。 4.1.2其他元素的含量按YS/T901进行检验。
4.2密度
产品的密度按GB/T3850进行检验。 4.3硬度
产品的硬度按GB/T4340.1进行检验，如有特殊要求，供需双方协商确定。 4.4尺寸
产品的尺寸采用满足分辨率要求的测量工具进行检测。 4.5表面粗糙度
产品的表面粗糙度按GB/T1031进行检验。 4.6外观质量
产品的外观质量用目视检查，必要时，用放大镜进行鉴别。
5检验规则
5.1检查与验收 5.1.1产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单（或合同）的规定要求，并填写质量证明书， 5.1.2需方应对收到的产品按本标准或订货单(或合同)的规定进行检验。检验结果与本标准或订货单（或合同）的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于尺寸、表面粗糙度或外观质量的异议，应在收到产品之日起1个月内提出；属于其他性能的异议，应在收到产品之日起3个月内提出。如需仲裁，可委托供需双方认可的单位进行，仲裁取样由供需双方共同进行。 5.2组批
产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一批烧结坏料、同一生产方法、同一加工状态和同一规格的产品组成。 4 YS/T 13712020
5.3检验项目及取样规定
每批产品的检验项目及取样应符合表8规定。
表8离子注入机用钨材的检验项目及取样规定
取样规定
要求的章条号 试验方法的章条号
检验项目化学成分密度
每批任取1件，取样位置需避开边缘位置10mm以上每批任取1件，取样位置需避开边缘位置10mm以上
3.1 3. 2
4. 1 4. 2
每批任取1件，取样位置需避开边缘位置10mm以上；硬度值以小样中心位置检测结果为准
硬度
3. 3
4. 3
尺寸及允许偏差 GB/T2828.1—2012AQL=1.0IL=I 表面粗糙度
4. 4 4. 5 4.6
3. 4 3. 5 3. 6
每批任取1件
外观质量
逐件
5.4检验结果的判定 5.4.1 化学成分、密度、硬度和表面粗糙度
取样检验结果如有一项不合格时，则在该批产品中对该不符合项加倍取样复验，加倍取样复验结果有一个不合格时，则该批产品判为不合格；如加倍取样复验结果都合格，则该批产品判为合格。 5.4.2尺寸及允许偏差
取样检验结果不合格时，则判该批产品不合格。但允许供方逐件检验，合格产品重新组批交货。 5.4.3外观质量
检验结果不合格时，则判该件产品不合格。
6标志、包装、运输、贮存及质量证明书
6.1标志
检验合格的产品应附有标签或标牌，其上注明： a）供方名称； b）产品名称和规格； c）生产批号； d）数量；
e 生产日期。 6.2包装 6.2.1离子注人机用钨材采用真空包装或牛皮纸包裹。 6.2.2产品之间以及产品与包装箱内壁之间采用珍珠棉等缓冲物进行隔离，包装箱内衬防潮纸，并放置干燥剂，最后用珍珠棉等缓冲物填充满包装箱，以防产品相互碰撞。
5 YS/T 13712020
6.3 运输
产品运输时，应防止受潮，不应剧烈碰撞。 6.4贮存
产品应存放于干燥、通风、无酸碱的环境中。 6.5 质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明： a) 供方名称； b) 产品名称和规格； c) 产品批号； d) 产品数量； e) 各项分析检验结果和质量检测部门印记； f) 出厂日期。
订货单（或合同)内容
7
订购本标准所列产品的订货单（或合同)应包括以下内容： a) 产品名称和规格； b) 数量或质量； c) 本标准编号； d) 其他。
6