QJ 20505-2016
全方位离子注入与沉积制备类金刚石碳膜技术条件
Technical requirements for plasma immersion ion implantation and deposition preparation of diamond-like carbon
2016-03-01 实施
2016-01-19 发布
前 言
本标准由中国航天科技集团公司提出。
本标准由中国航天标准化研究所归口。
本标准起草单位∶国营一四九厂、中国科学院兰州化学物理研究所、中国航天标准化研究所。