JB/T 7621-1994
电力半导体器件工艺用高纯水
1994-12-09 发布
1995-06-01 实施
本标准给岀了电力半导体器件工艺用高纯水（下称高纯水）的级别、技术要求、测试方法和检验规 则。
本标准适用于去离子处理后的高纯水。