1993-10-08 发布

1994-01-01 实施
本标准规定了电力半导体器件用硅单晶切割片和研磨片（简称硅片）的产品分类、技术要求、试验 方法、检验规则和标志、包装、运输与贮存。
本标准适用于直拉单晶、悬浮区熔单晶、中子娼变掺杂单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。