【摘要】为满足面积阵列封装对所需焊球越来越高的要求，提出了利用气动膜片式微滴喷射原理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置，使用由自制电火花微孔加工机床加工的直径50μm不锈钢喷嘴，成功实现了直径100μm以下焊球的制作，研究了主要控制参数对焊球直径的影响。结果表明，气动膜片式微滴喷射方法制作的焊球直径精确、表面闪亮、球形完美，填补了国内直径100μm 以下超精密微焊球制作技术的空白。