摘要∶根据电子束加工机床的需要，构建了电子束加工工艺流程，设计了运动系统结构并实现了X和Y方向的二维运动，研究了运动系统驱动原理。完成了基于PC机的控制系统设计，开发出基于串口的上位机控制软件，设计出基于AT8952单片机芯片的下位机。对完成的运动及控制系统进行实验研究并获得误差补偿值。