摘要∶研究超精密机床弹性微进给装置一体化设计方法，提出了基于拓扑优化设计、参数优化设计、可靠性分析的一体化设计方法，并对超精密机床弹性进给装置进行了拓扑优化设计和参数优化设计;基于可靠性分析方法，研究了材料及几何尺寸的随机性对进给装置输出位移的影响规律，为超精密机床弹性进给装置的设计及性能分析提供了方法和依据。