摘要∶为了满足超薄壁微小结构零件的超精密加工需要，研制了一台微小型超精密三轴联动微细铁削加工 机床。机床的总体尺寸为600 mmx500 mmx700 mm，三个直线运动轴的行程均为75mm。为了克服传统的由滚珠丝杠驱动的伺服系统带来的非线性问题，此机床采用了永磁直线电动机直接驱动气体静压导轨，并由5nm分辨率的线性光栅作为位置反馈元件组成全闭环控制系统的伺服控制方法;采用高精度运动控制卡PMAC嵌入工控机的开放式数控系统，并采用"PID算法+前馈控制"的复合控制策略。跟踪阶跃信号和正弦信号的实验结果表明，机床可以实现纳米级的运动控制精度;使用分辨率为1nm的Renishaw 激光干涉仪测量，得到补偿后的三个运动轴的定位精度均小于±0.25 pum，重复定位精度均小于±0.2 pum。使用d0.5mm的硬质合金立铁刀加工一组高度为50 pm 的台阶，加工精度为±0.3μm;使用plmm的硬质合金立铣刀加工平面的表面粗糙度为40m。