摘要∶提出了超精密机床多尺度设计方法，建立了包含机械结构、控制系统、电磁驱动在内的集成模型。采 用仿真方法计算了气浮导轨气腔微结构在一定气体压力下内部气流场压强和速度分布数据，并代入 集成模型中分析了微结构对宏观机床动力性能的影响。用实例证明了超精密加工机床的结构设计与分析综合考虑机构系统在宏观、介观和微观尺度下多尺度、多层次特征，对设计超精密加工机床的必要性。