摘要∶硬脆材料的应用需求日趋强烈，旋转超声加工技术被视为其最佳的制造工艺手段之一，而国内旋转超声加工机床的核心技术相对滞后。针对三轴数控旋转超声加工机床进行了系统研究，提出了一种工具头振动和工作台振动的新型结构机床，并研制出一台旋转超声加工专机。该机床可实现超声磨削、超声铣削、超声钻削和传统的拷贝式超声加工等功能。在系统工艺实验的基础上，总结出了最优的工艺参数规律，并进行大量的验证性超声加工实验，加工出了陶瓷材料、磁性材料、大理石和玻璃材料等工件，形状特征包括复杂三维型腔、异形盲孔等，验证了该机床的良好性能。