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激光工艺与微电子技术

资料类别:电子信息

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资料语言:中文

更新时间:2020-08-17 16:20:04



推荐标签: 激光 技术 微电子 工艺 微电子技术 微电子技术

内容简介

激光工艺与微电子技术 目 录
第一篇 吸附薄膜的激光加工
引言…(1)
第—章 激光薄膜加工的物理基础……………………………(4)
1.1 激光辐射作用下的薄膜热……………………………(4)
1.1.1辐射能的吸收和转换……………………………(4)
1.1.2 加热阶段的热物理分析………………………………(6)
1.2 激光照射作用下的去膜机制………………(15)
1.2.1 过程的定性研究……………………………(15)
1.2.2 薄膜双相破损的理论分析………………(17)
1.2.3 唯象模……………………………·(21)
1.2.4 激光去膜技术的实验研究……………………………(26)
结论……………………-9
第二章 激光薄膜加工时光学图象的形成方法……(31)
2.1 轮廓光束(聚焦)法…………………………………………(31)
2.2 投影法…………………(33)
2.3 光象轮廓投影的形成法…………………………………·……(36)
2.4 光象正投影的形成法…………………………………·(41)
2.5 接触法…………………(45)
2.6全息法…………(46)
2.7关予辐射相下性作用的提示……………………(47)
结论·…(49)
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