2015年第1期
新疆钢铁
总133期
扫描电镜在钢铁产品研究和生产实践中的应用
张爱梅
（宝钢集团八钢公司制造管理部）
摘要：简要分析带能谱仪的扫描电子显微镜原理及特点，着重介绍了ZEISSEVO-M18型扫描电子显微镜
在断口分析、定点成分分析、组织形貌分析、产品缺陷判定等方面的实际应用。关键词：扫描电子显微镜；能谱仪；断口
中图分类号：TH671
文献标识码：A
文章编号：1672—4224(2015)01—0024—05
ApplicationofSEMwithEDXinStudyoftheSteel
Products and Production Practice
ZHANG Ai-mei
(Manufacturing Management Department, Bayi Iron&Steel Co., Baosteel Group)
Abstract:The principles and characters of SEM and Xray EDX are analyzed briefly in the paper. This paper empha-sizes the practical applications analysis on the fracture and element and microstructure and product defects by ZEISS E-VO-M18.
Key words: SEM; energy dispersive X-ray spectrometry;fracture
1前言
扫描电镜及能谱仪是材料检测及研究领域一种主要的检测分析仪器，其特点是可直接对断口形貌进行观察，无须破坏断口，对断裂部位进行最直接的原因分析，是其它检测仪器无法替代的，因此常用于失效分析。同时，在检测过程中，配合能谱仪对试样直接进行微区成分分析，对试样中的夹杂物、异物可直接进行定性、定量分析。目前，扫描电镜结合能谱仪，主要应用于材料断口分析、微区成分分析、层厚测量、显微组织形貌以及钢铁产品质量与缺陷分析等方面。
扫描电镜及能谱仪的特点 2
2.1扫描电镜的特点
扫描电镜是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。它是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小（直径一般为1~
5nm)的电子束，在末级透镜上方扫描线圈的作用下，使电子束在试样表面做光栅扫描，人射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X射线等各种信息。这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变（这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等），将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图像"。扫描电镜的主体结构如图1所示。
电子检
扫携线脂群品
真空系缺
扫精发生题情号效大愿头
口像管
图1扫描电镜的主体结构
联系人：张爱梅，女，34岁，大学本科，高级工程师，乌鲁木齐（830022)宝钢集团八钢公司制造管理部
Email:zhangam@bygt.com.cn 24