2008
，稀有金属快报
高纯钛的应用及其生产方法
刘正红，陈志强
（中国船舶重工集团第七二五研究所，河南洛阳471039）
维警资讯bap/A
摘要：详细介绍了高纯钛的应用现状，并对高纯钛的主要生产方法一克劳尔法、碘化法、熔盐电解法、电子束熔炼精炼法等进行了综述，指出只有几种方法结合才能获得纯度要求非常高的高纯钛；研发新的制备方法，克
服传统制备工艺的复杂性，提高生产效率，降低生产成本，是高纯钛制备研究的发展方向。关键词：高纯钛；克劳尔法：碘化法：熔盐电解法：电子束熔炼精炼法
中图法分类号：TF823 1前言
文献标识码：A
文章编号：10085939(2008)02-00108
做生物捆扎材料。此外，内埋导管的钛制注人式针头也达到了高纯钛级别。
纯钛一般是指纯度（质量分数)大于99%的钛材料，其中高纯钛纯度可以达到4N级（99.99%），甚至更高。作为钛系列产品中的一员，高纯钛除具有密度低、熔点高、抗腐蚀性强等性质外，还具有强度低、塑性好（延伸率可达50%~60%，断面收缩率可达70%~80%)等特点!。近年来，随着航空航天、电子信息等高科技产业的快速发展，高纯钛的用量也越来越多，采用适当的方法制造高品质、低
成本的高纯钛，关系到这些行业的发展。 2高纯钛的应用
相比一般的工业纯钛，高纯钛价格昂贵，应用
范围较窄。主要用来满足一些特殊行业的使用。 2.1生物材料
钛是无磁性金属，在很强的磁场中也不会被磁化，且与人体有良好的相容性，无毒副作用，可以用来制造人体植人器件。
一般医用钛材并没有达到高纯钛的级别，但是考虑到钛中不纯物的溶出问题，植入件用钛的纯度应尽可能的高12]。文献[3，4还提到，高纯钛丝可用
收稿日期：2007-10-12
2.2电子信息材料
近年来，随着半导体技术、信息技术等高科技领域的快速发展，高纯钛在溅射乾靶材（见图1）、集成电路、DRAMs和平板显示器等方面的用量越来越大，对钛材的纯度要求越来越高。在半导体超大规模集成电路行业，控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和配线材料。制造这些材料采用溅射法，而溅射法用的钛靶材对纯度要求很高，特别是对碱金属元素和放射性元素要求含量极低。近年来，其与之相
图1半导体薄膜溅射高纯钛靶材
Fig.1High purity titanium target sputtered on semiconductor film
作者简介：男，1981年生，硕士研究生，中国船舶重工集团第七二五研究所，河南
阳471039，电话：0379-67325019，
Email:brandonliu@tom.com
.cqvip.c