总第192期 2013年6月
文章编号：10099700(2013)03002103
南方金
属
SOUTHERNMETALS
四探针探头的生产工艺及改进
周映芬
（广州半导体材料研究所，广东广州510610）
Sum.192 June2013
摘要：介绍四探针电阻率测试仪四探针探头的生产工艺：针对高温环氧浇铸锥头时，浇液容易渗漏到锥头与模具关键词：四探针探头；弹簧片；渗漏；接触不良
中图分类号：TH832.1
文献标识码：B
ProductionProcessandImprovementsofFore-pointProbe
ZHOU Ying-fen
(Guangzhou Semiconductor Materials Research Institute. , Guangzhou, Guangdong, 510610, P. R. China)
Abstract: It introduced the production process for a fore-point probe, When it uses the high-temperature epoxy costing cone-head, during pouring, the liquid is easy to leak into the gap between the cone-head and the mould which causes the cavity of the high-temperature epoxy. The probe and the spring piece are contacted poorly, so, some preventive measures and improved methods are shown
Key words : Fore-point probe; Spring piece; Pour; Poor contact
半导体材料的特性参数很多，常规测量的电学性能参数就有导电型号、电阻率、少子寿命、载流子迁移率等，其中电阻率反映半导体材料的导电性能，是其最重要的电学参数.半导体材料的导电性能对材料中的杂质浓度以及外界环境条件的变化十分敏感，材料的电阻率会随着杂质含量、热、光、电、磁、压力等因素的变化而变化.确定半导体材料材料在特定使用环境下的电阻率，是充分利用材料性能和开展科学研究的前提和关键
测量半导体材料电阻率的方法有很多，对于硅锗单晶的电阻率测量，在生产中应用最普遍的是四探针测量法广州半导体材料研究所多年研发生产四探针电阻率测试仪，是四探针电阻率测试仪国家标准的起草单位之一，本人主要从事四探针测量的
一四探针探头的研发，本文对其生产工
关键组件一
艺及改进进行分析总结收稿日期：2013-01-24
四探针探头的技术要求
四探针法是一种最常用而简便的测量电阻率的方法，测量装置如图1.4根由钨丝制成的探针等间距地排成直线，彼此相距为（0.628~1.590mm）.测量时将针尖压在样品的表面上，外面两根探针通以电流I，里面的两探针用电位差计来测量电压，
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图1四探针测量示意
作者简介：周映芬（1966－），女，1993年毕业于华南理工大学计算机及应用专业，工程师，