第34卷第3期 2013年6月
热处理技术与装备
RECHULIJISHUYUZHUANCBEI
等离子表面渗、镀设备的功能与应用
李忠厚，潘俊德
（青岛滨海学院，山东青岛266555）
Vol.34,No.3 Jun,2013
·设备·
摘要：本文介绍了等离子表面镀膜、渗金属、渗氨和碳氮共渗设备的功能，工作原理，可从事的研究及应用领域。
关键词：等离子体：应用领：设备
中图分类号：TG156.8文献标志码：B文章编号：1673-4971(2013)03-0053-03
FunctionandApplicationofPlasma SurfaceMetallizingandCoatingEquipments
LI Zhong-hou,PAN Jun-de
(Qingdao Binhai College,Qingdao Shandong 266555, China)
Abstract: In this paper it is introduced the functions of plasma surface coating, metalizing, nitriding and carbonnitriding equipments,and working principles as well as its research and application fields to be able to engage.
Key words :plasma; applied field ;equipment
青岛滨海学院表面工程研究室拥有先进的等离子镀膜和渗金属、渗氮、渗碳及碳氮共渗设备，如图 1、图2所示。从事材料表面改性方面的科研、教学和为相关企业技术服务。为了使这些设备更好地为科研、教学和社会服务，现将这些设备的特点、工作原理、功能及应用介绍如下。
1等离子表面冶金炉 1.1结构特点
该设备抽气系统设置机械泵和扩散泵。根据工作要求，炉内可获得低真空和中高真空。在炉壁设置一弧靶，从炉底引人两阴极柱。当系统抽到高真空时，利用弧靶和一个阴极靶（弧靶提供金属离子，阴极上悬挂工件），可以实现在金属工件上镀金属膜层、镀金属化合物膜层。当系统抽到初、中真空时，利用弧靶和一个阴极靶，可以进行弧光、辉光渗金属。利用两个阴极靶，一个阴极靶悬挂欲渗金属，另
收稿日期：2013-01-02
一个阴极靶悬挂工件，进行双层辉光离子渗金属。
本设备实现弧光、辉光渗金属技术的复合。 1.2表面合金化原理
1.2.1双层辉光渗金属技术
图1多功能离子镀膜机
Fig. 1The multifunction ion film plating device
作者简介：李忠厚（1949-），男，教授，从事材料表面改性的研究工作。
联系电话：18706424258;E-mail;lizhonghou108@126.com
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