第34卷第3期 2013年6月
热处理技术与装备
RECHULI JISHU YU ZHUANGBEI
Vol.34,No.3 Jun,2013
·材料研究·
纳米薄膜和涂层的制备和在绿色技术领域应用（二）
李望达
（哈尔滨工业大学材料科学与工程系，黑龙江哈尔滨150001）
中图分类号：TG136文献标识码：A文章编号：673-4971（2013)03-0031-04
Preparation and Application in Clean Technologies of Nanostructured ThinFilm and Coating(2)
LI Wang-da
(Department of materials science and engineering,Harbin Institute of Technology, Harbin Heilongjiang 150001,China) 1.4纳米结构涂层
前述的多种薄膜和涂层制造方法已经有很长的应用历史，并给人们在可控制备纳米粒子技术方面提供了很多有价值的信息["]。比如已发现在足够的压力下，金纳米颗粒可以直接在气相中形核和长大。
如果气相物质温度可以精确控制，就可以调控获得粒子的平均粒径及其分布[26]，即“先进气相沉积”（ACD），现已用于大规模生产纳米粒子作为制膜的前驱体。图7给出了一个制造钨的氧化物纳米颗粒的AGD单元示意图[2]。此法用途很广，可以用来制造纯金属、氧化物、氮化物等各种纳米粒子。具体的反应过程为：反应室（下)内原料加热蒸发成气相，之后被冷却并在气体流中形核长大。在良好的真空环境下，一个细传输管收集这些区域中形成的纳米颗粒并把它们送抵上方的沉积室内。然后这些纳米粒子经喷嘴沉积到一个可移动的基片上，从而得到均匀的单层膜。AGD技术同样也可以用多蒸发源制备混合膜或含纳米粒子的层状膜。此法的一个突出优点是可以将纳米颗粒的制备和薄膜的沉积过程分离；这样就能进行相邻纳米粒子电接触特性的微调，实际应用于检测空气质量的气体传感器等。纳米颗
收稿日期：2012-12-30
沉积室蒸发室
基材海膜传输管
氧化钨鸽微粒
机架
唯器
合成气体
真空票燕发管
感应加热发生器
图7一个AGD单元的示意 Fig.7Sketch map of a ACD unit
粒的气相合成也可以在高温环境中进行，如火焰或等离子环境[28]。
目前已经开发了很多液相环境中制备金属、无机物或半导体纳米粒子的方法。现已实现尺寸可控的微观粒子制备和纳米、微米尺度颗粒的表面修饰。这些结构往往具有新的特性，这方面的进展在文献里已有详细报道（29)。
作者简介：李望达（1991-），男，本科在读，从事纳米电极材料及表面工程方面研究。
联系电话：15004549146;E-mailpaopaokade@gmail.com
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