SJ/T 11493-2015
硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
2015 -10- 01 实施
2015-04- 30 发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009制定的规则起草。
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本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。