内容简介
GB/T 21287-2021 代替 GB/T 21287-2007电子特气三氟化氮
Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
2022-05-01实施
2021-10-11发布
前 言
本文件按照ＧＢ／Ｔ１．１—２０２０《标准化工作导则 第１部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件代替ＧＢ／Ｔ２１２８７—２００７《电子工业用气体 三氟化氮》，与 ＧＢ／Ｔ２１２８７—２００７相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
———更改了三氟化氮应符合的技术要求（见第４章，２００７年版的第３章）；
———更改了抽样、判定和复验的要求（见５．１，２００７年版的４．１）；
———更改了采样的要求（见５．２，２００７年版的４．１．６）；
———增加了尾气处理的要求（见５．３）；
———增加了试验方法的一般规定（见６．１）；
———更改了纯度计算方法（见６．２，２００７年版的４．２）；
———更改了氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟化硫含量的测定方法（见６．３，２００７年版的４．３、４．４）；
———更改了水分含量的测定方法（见６．４，２００７年版的４．６）；
———更改了可水解氟化物的测定方法（见６．５，２００７年版的４．５）；
———更改了标志、包装、运输及贮存（见第７章，２００７年版的第５章）；
———更改了安全信息（见７．３，２００７年版的附录Ｄ）。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并归口。