内容简介
GB/T 17874-2021 代替GB/T 17874-2010电子特气三氯化硼
Electronic specialty gas—Boron trichloride
2022-05-01实施
2021-10-11 发布
前言
本文件按照 ＧＢ／Ｔ１．１—２０２０《标准化工作导则 第１部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件代替ＧＢ／Ｔ１７８７４—２０１０《电子工业用气体 三氯化硼》。与 ＧＢ／Ｔ２１２８７—２００７相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
———更改了三氯化硼应符合的技术要求（见第４章，２０１０年版的第３章）；
———更改了检验规则的要求（见第５章，２０１０年版的４．１）；
———更改了纯度计算方法（见６．１，２０１０年版的４．２）；
———更改了氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳甲烷含量的测定方法（见６．２，２０１０年版的４．４、４．５）；
———增加了四氯化硅含量的测定方法（见６．２）；
———增加了氯气含量的测定方法（见６．３）；
———增加了碳酰氯、氯化氢含量的测定方法（见６．４）；
———更改了金属元素的测定方法（见６．５，２０１０年版的４．７）；
———删除了颗粒的测定（２０１０年版的４．８）；
———更改了标志、包装、运输及贮存（见第７章，２０１０年版的第５章）；
———更改了安全信息（见７．３，２０１０年版的５．２）。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并归口。