GB/T 40418-2021
电子特气氟甲烷
Electronic specialty gas—Fluoromethane
2022-03-01实施
2021-08-20发布
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分∶标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。
1 范围
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备
GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T5099（所有部分） 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分∶电解法
GB/T6682 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T7144 气瓶颜色标志
GB/T14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB/T 16804 气瓶警示标签
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T 33145 大容积钢质无缝气瓶
TSG R0005 移动式压力容器安全技术监察规程
TSG 23 气瓶安全技术规程
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。