GB/T 39144-2020
氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法
Test method for magnesium content in gallium nitride materials— Secondary ion mass spectrometry
2020-10-11 发布
2021-09-01实施
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）共同提出并归口。