GB/T 34481-2017
低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法
Test method for measuring etch pit density(EPD)in low dislocation density monocrystalline germanium slices
2018-07-01 实施
2017-10-14发布
前  言
本标准按照GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口.