GB/T 36705-2018
氮化家衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates-Raman spectrum method
2019-06-01 实旅
2018-09-17发布
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC 203/SC 2）共同提出并归口。