GB/T 16596-2019 代替GB/T 16596—1996
确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system
2020-02-01实施
2019-03-25发布
前言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T 16596—1996《确定晶片坐标系规范》。与GB/T16596-1996相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
—规范性引用文件中删除了GB/T 12964、SEMI M12和SEMI M13,增加了GB/T 34479和YS/T 986(见第2章,1996年版的第2章）;
—增加了"晶片坐标系的建立原则"（见第3章）;
—增加了"晶片背面坐标系"和"三维坐标系"（见4.2、4.3）;
—删除了"晶片坐标系的应用及有关内容"中的4.1.1和4.1.2（见1996年版的4.1.1、4.1.2）;———增加了"在 SEMIM1中,用边缘轮廓模板建立的边缘参考坐标系用于边缘的参照,其与本晶片坐标系不同。边缘轮廓模板和边缘轮廓参数使用不同的坐标系,具体如下:…·"在某些情况下,无图形的晶片表面不易区分正面和背面""对晶片的直径没有特殊规定,但对于自动设备,可能只接收标称直径的晶片"等内容（见5.3、5.6、5.9）。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC2）共同提出并归口。