
GB 50781 - 2012
电子工厂化学品系统工程技术规范
Technical code for Chemical System of Electronic Factory
2012 -06 -28 发布
2012-12 -01 实施
前言
本规范是根据原建设部《关于印发<2007年工程建设标准规 范制定、修订计划〉的通知(第二批)》建标C2OO7B26号文的要求, 由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会同有 关单位共同编制完成。
本規范在编制过程中.根据我国集成电路工厂、平板显示器件 工厂和太阳能电沌工厂的设计、建造和运行的实际情况.同时考虑 工厂目前的现状,对国外工程公司也进行了调査研究,广泛征求了 全国有关单位与个人意见.并反复修改.最后经审査定稿.
本规范共分7章,主要内容有:总则,术语、缩略语,化学品供 应系统.化学品回收系统,化学品监控及安全系统,相关专业设计, 工程施工及验收。