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中华人民共和国国家标准
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857812012
电子工厂化学品系统工程技术规范
Terhnical code for Cherieal System. of
Electromic Factory
20126-28 发布
2012-1201实流
中华人民共和国住房和城影建设部中华美民共和国国家质量监督检验检校总局
联合发布
中华人民共和国国家标准
电子工厂化学品系统工程技术规范
Technical code for Chemical System of
Electronic Factory
GB50781-2012
主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:20 12 年 12 月 1 日
中国计划出版社
2012北京
中华人民共和国住房和城乡建设部公告
第1434号
关于发布国家标准《电子工厂化学品
系统工程技术规范》的公告
现批准《电子工厂化学品系统工程技术规范》为国家标准,编号为GB50781—2012,自2012年12月1日起实施。其中,第 3.2.8(1、2、3、4)、6.1.2、6.1.5、6.4.2(7)条(款)为强制性条文,必须严格执行。
本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发
行。
中华人民共和国住房和城乡建设部
2012年6月28日
前言
本规范是根据原建设部《关于印发<2007年工程建设标准规
范制定、修订计划>的通知(第二批)》建标【2007126号文的要求,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会同有关单位共同编制完成。
本规范在编制过程中,根据我国集成电路工厂、平板显示器件工厂和太阳能电池工广的设计、建造和运行的实际情况,同时考虑工厂目前的现状,对国外工程公司也进行了调查研究,广泛征求了全国有关单位与个人意见,并反复修改,最后经审查定稿。
本规范共分7章,主要内容有:总则,术语、缩略语,化学品供
应系统,化学品回收系统,化学品监控及安全系统,相关专业设计:工程施工及验收。
本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。 本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解
释,工业和信息化部负责日常管理,信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行过程中有意见和建议请寄至信息产业电子第十设计研究院科技工程股份有限公司《电子工厂化学品系统工程技术规范》管理组(地址:四川成都市双林路251号,邮编:610021,传真:028-84333172),以便今后修订时参考。
本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:信息产业电子第十设计研究院科技工程股份
有限公司信息产业部电子工程标准定额站
参编单位:中国电子系统工程第二建设有限公司
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上海华虹NEC电子有限公司成都爱德工程有限公司上海正帆科技有限公司冠礼控制科技(上海)有限公司液化空气上海有限公司上海兄弟微电子技术有限公司上海至纯洁净系统科技有限公司
主要起草人:李骥崔永祥刘序中 王开源 李东升
王鹏亮 张志辉杨春蓉 朱海英 张家红简建至 杜宝强 宋 燕 周礼誉 陈盛云吴建华 巨龙
主要审查人:陈霖新 薛长立 路世昌 周向荣 刘俊超
冯卫中 顾爱军 陈奕 毛煜林 张悦
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