ICS 37.020 N 32
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T 27788—2020/ISO 16700:2016
代替GB/T27788—2011
微束分析 扫描电镜图像放大倍率校准导则
Microbeam analysis-Scanning electron microscopy-
Guidelines for calibrating image magnification
(ISO16700:2016,IDT)
2021-04-01实施
2020-06-02发布
国家市场监督管理总局 发布国家标准化管理委员会 GB/T27788—2020/ISO16700:2016
目 次
前言引言范围
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规范性引用文件术语和定义图像放大倍率参考物质校准过程图像放大倍率和标尺的准确度 8 校准报告附录A（资料性附录） 放大倍率参考物质附录B（资料性附录） 影响扫描电镜实际放大倍率的参数附录C（资料性附录） 放大倍率测量的不确定度附录D（资料性附录） 检测报告示例参考文献
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13
16 提供 GB/T27788—2020/IS016700:2016
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T27788—2011《微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则》。与
GB/T27788一2011相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：
删除了ISO5725-1；术语“Pitch”的翻译由“线距”改为“间距”。
本标准使用翻译法等同采用ISO16700：2016《微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则》。 与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下：
GB/T15000.3一2008标准样品工作导则（3） 标准样品定值的一般原则和统计方法 (ISOGuide 35:2006,IDT) GB/T15000.7—2012 2标准样品工作导则（7） 标准样品生产者能力的通用要求（ISOGuide34： 2009,IDT)
X
本标准做了下列编辑性修改：
在资料性附录A中增加了一条“A.2.5中国 中国计量科学研究院（NIMC)”，以使本标准更具有可操作性。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38)提出并归口。 本标准起草单位：中国地质科学院矿产资源研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国人民解放
军海军军医大学。
本标准主要起草人：陈振宇、周剑雄、李香庭、杨勇骥。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
GB/T27788—2011。
II GB/T27788—2020/IS016700:2016
引言
扫描电镜广泛用于对许多重要材料如半导体、金属、聚合物、玻璃、食品及生物材料等的表面结构的观察研究。本标准应用于扫描电镜图像放大倍率的校准，描述了在扫描电镜中使用有证参考物质或参考物质进行图像放大倍率校准的要求。
提供
V GB/T27788—2020/ISO16700:2016
微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则
1范围
本标准规定了使用适当的参考物质对扫描电镜（SEM)图像的放大倍率进行校准的方法本标准适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。 本标准不适用于专用测长型扫描电镜。
规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T27025—2008检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC17025：2005，IDT) ISO导则30标准样品常用术语和定义（Referencematerials一Selectedtermsanddefinitions） ISO导则34标准样品生产者能力的通用要求（Generalrequirementsforthecompetenceofref-
erence material producers)
ISO导则35标准样品 品定值的一般原则和统计方法（Referencematerials一Generaland statistical principles for certification)
3 ：术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
扫描电镜 scanning electron microscope SEM 通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器
3.2
图像 image 由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征。 注：用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。
3.3
图像放大倍率 imagemagnification 图像显示的线性尺度与试样上被扫描区域的相应线性尺度之比
3.4
标尺 scalemarker 图像（3.2)上表示试样上特定实际长度的线段或间隔
3.5
参考物质 reference material RM -种或多种特性足够均匀和稳定的物质，已被确认适合于在测量过程中使用。
1 GB/T27788—2020/IS016700:2016
3.6
有证参考物质 certified reference material CRM 一种或多种特性已通过有效的计量学认证且附有证书的参考物质（3.5），证书中提供了具有相关不
确定度和计量学可溯源的特性值。
注：在本标准中，参考物质/有证参考物质应具有可用于图像放大倍率（3.3)校准的间距样式，该间距样式具有适需
的间距尺度和准确度。
3.7
校准 calibration 在特定条件下执行的操作规程，使得扫描电镜（3.1)显示的放大倍率和通过检验参考物质（3.5)或
有证参考物质（3.6）而确定的相应的放大倍率之间建立起关系。 3.8
倾转角 tilt angle 倾转的试样表面与垂直于电子束轴的平面之间的夹角。 注：见图1。
提件
说明：
倾转的试样；
1
2- 电子束； 3- 试样； 4- 倾转角。
图11 倾转角
3.9
显示器 display 用于呈现图像（3.2)的模拟或数字设备，注：显示器可以是阴极射线管、等离子显示板、液晶显示屏等。
3.10
工作距离 working distance 试样表面和扫描电镜（3.1）物镜极靴下表面之间的距离。
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