ICS 17.040.20 J 04
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T 33523.70—2020
产品几何技术规范（GPS) 表面结构区域法 天　第70部分：实物测量标准
Geometrical product specification (GPS)-Surface texture: Areal-
Part 70 : Material measures
(ISO 25178-70:2014,MOD)
2020-12-14发布
2021-07-01 实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会 发布 GB/T 33523.70—2020
目 次
前言范围 2 规范性引用文件
术语和定义总则实物测量标准的要求实物测量标准的类型
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轮廓法实物测量标准 8区域法实物测量标准· 实物计量证书·
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附录 A（规范性附录）测量要求附录B（资料性附录）实物测量标准名称的对照表附录C（资料性附录）评价区域仪器上的间距测量值附录D（资料性附录）不规则的测量标准附录E（资料性附录） 与 GPS 矩阵模型的关系参考文献
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27 GB/T 33523.70—2020
产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法　第 70部分：实物测量标准
1范围
GB/T 33523的本部分规定了用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测量标准的特性。
本部分适用于基于区域法表面结构标准链,链环G定义的轮廓表面结构和区域表面结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6062产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针)式仪器的标称特性 (GB/T 6062—2009,ISO 3274:1996,IDT)
GB/T19022　测量管理体系　测量过程和测量设备的要求（GB/T 19022—2003,ISO 10012: 2003,IDT)
GB/T 27025 检测和校准实验室能力的通用要求（GB/T 27025一2019,ISO/IEC 17025:2017, IDT)
GB/T 33523.2　产品几何技术规范（GPS）表面结构　区域法　第2部分:术语、定义及表面结构参数(GB/T 33523.2—2017,ISO 25178-2:2012,IDT)
GB/T 33523.601　产品几何技术规范（GPS）表面结构　区域法第 601部分：接触（触针)式仪器的标称特性(GB/T 33523.601—2017,ISO 25178-601:2010,IDT)
JJF 1001—2011　通用计量术语及定义
3术语和定义
GB/T 6062、GB/T 33523.2、GB/T 33523.601 和 JJF 1001 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1
实物测量标准material measure 具有所赋量值,使用时以固定形态复现或提供具有一个或多个量值的用于表面结构测量的专用测
量标准。
注1：实物测量标准的示值是所赋的量值。 注2：实物测量标准可以是测量标准。 注3：实物测量标准有时称为校准样件,校准样品,校准标准,标准制品，物理测量标准或物理标准。 注4：改写JJF1001—2011,定义6.5。
4总则
实物测量标准一般可用于两种不同的目的：
1 GB/T 33523.70—2020
一一仪器计量特性的校准,需要测量不确定度的评定; 一 一 用户用来调整测量仪器，生成被测量的修正因子。 两种目的效果均取决于实物测量标准的计量特性（参见GB/T33523.700 系列）。 本部分中的实物测量标准适用于这两种目的，但这些实物测量标准用于仪器系统误差的评定和
修正更为适合。通过对修正系数Cx,C和Cz的评定和检验对X、Y和Z的坐标值进行校准（参见 GB/T 33523.600 系列）。
使用这些实物测量标准无法将仪器引入的误差与滤波和计算算法引起的误差分开。这些计算方法可以用软件测量标准来测试（参见 GB/T19067.2,GB/T 33523.71和ISO 25178-72）。
本部分所述的大多数实物测量标准均可用来验证和修正区域法测量仪器的驱动单元X与驱动单
元Y之间的垂直度偏差。
测量方法和实物测量标准的特性应由其制造商提供在GB/T 33523.2 中,每个术语名称后面是它的参数（缩写）,然后是它的符号。虽然缩写术语可以
包含多个字母，但符号只包含一个带有下标的单个字母。对于这些术语,符号用于本文的等式中。这种区分是为了避免把复合字母误解为方程中的数字相乘。参数(缩写)在本文的其他部分，,比如产品文档、 图纸和数据表中使用。
实物测量标准的要求
5
实物测量标准的设计特性应符合实际应用要求。见附录A。 实物测量标准的材料特性不应显著影响对其进行的测量实物测量标准的实际整体表面特征应具有规定的尺度限制，而尺度限定范围之外的特征应不影响
测量。
特征举例如下：
实物测量标准的实际整体表面的平面度偏差; 一沟槽的形状偏差（即 PGR,PGC,PDG，AGP，AGC 等）; 一沟槽底部圆弧半径（即 PGC,PCS,PDG，AGP，AGC 等）; 一三角形侧面的形状偏差（即 PPT,PCS,PDG,AGP 等）; 一沟槽之间的平行度误差（即 PDG,AGP等）; 一沟槽之间的垂直度（即 AGP 等）;
任意点的局部斜率（使用光学仪器时）；一沟槽或三角形(线,平面或圆柱)的平分线,名义上应垂直于测量标准的基准平面; 一表面反射率(使用光学仪器时);
材料的硬度（使用触针仪器时）; 材料的折射率; 材料的颜色。
一
一
测量标准应该具有唯一标识。被测量的序列号、类型和标称值应刻在测量标准(量具)的本体和/或测量标准的外壳上。
6实物测量标准的类型
表 1 和表 2列出了 GB/T 33523 的本部分所涵盖的不同类型的实物测量标准。 注1：前缀P用于轮廓法实物测量标准类型。 注 2：前缀 A用于区域法实物测量标准类型。 2 GB/T 33523.70—2020
本部分与其他标准（例如GB/T19067.1和GB/T33523.701)中定义的实物测量标准的命名对照表
参见附录 B。
表1轮廓法实物测量标准类型
类型 PPS PPT PPR PPA PGR PGC PRO PCR PRI PRB PAS PCS PDG
名称
周期正弦波形周期三角形周期矩形周期弧形矩形沟槽圆形沟槽不规则轮廓圆形不规则轮廓棱体剃刀刀刃近似正弦波形轮廓标准双沟槽
表 2 区域法实物测量标准类型
类型 AGP AGC ASP APS ACG ACS ARS ASG AIR AFL APC
名称
垂直沟槽圆环沟槽半球平面-球交叉栅线交叉正弦径向正弦星形沟槽不规则形状平面光致变色图案
3 GB/T 33523.70—2020
7轮廓法实物测量标准
7.1PPS型:周期正弦波形 7.1.1设计特性
这种实物测量标准复现了一个单方向延伸的正弦波形。该正弦波的形状由周期p 和幅值d 确定（如图1所示）。
图1正弦波形
注1：根据GB/T19067.1,该实物测量标准根据其周期分为B2型或C1型（参见附录B)。 注2：PPS型实物测量标准的一个特殊例子，啾信号，其周期会逐渐增大或减小。这种实物测量标准可以用来评
价仪器带宽或者横向分辨力。
7.1.2 被测量
见表3。
表3PPS型实物测量标准的被测量
轮廓法 Ra或Rq RSm
区域法 Sa或 Sq 平均 PSm
z轴 X轴(Y轴)
注1：RSm等于正弦波形的周期。 注2：在假定入c 和入s滤波器的影响忽略不计的情况下,Ra和Rq可以通过公式(1)和公式（2)计算：
Ra = d
.....(1)
元 d 2 /2
Rq =
...(2)
元给出。
注3：此实物测量标准的最大斜率由比值注4：对于“平均 PSm"的定义，参见附录C。
b
7.2PPT型:周期三角形 7.2.1设计特性
该实物测量标准沿一个方向复现一个三角形。三角波形状由周期p和深度d,或者深度d 和夹角 α (如图2所示)确定。
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