ICS 29. 045 H 83
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T792-2012
单晶炉用碳/碳复合材料
Carbon-carbon composites crucible used in single crystal furnace
2012-11-07发布
2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T7922012
前言
本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准负责起草单位：湖南金博复合材料科技有限公司、洛阳单晶硅有限责任公司、上海九晶电子
材料股份有限公司、常州天合光能有限公司。
本标准主要起草人：廖寄乔、部卫平、王跃军、吴书晓、王文卫、史、戴瑞麟、黄振飞、李军、龚玉良王丽、瞿雪林。
H YS/T792—2012
单晶炉用碳/碳复合材料璃
1范围
本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮存、质量说明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料埚，也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料埚。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3074.4石墨电极测定方法石墨电极热膨胀系数(CTE)测定方法 GB/T5163烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的
测定
GB/T22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数 YB/T5146 高纯石墨制品灰分的测定
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3. 1
表观密度 apparentdensity 制品烘干后的质量与其体积之比。
4要求
4.1产品分类 4.1.1碳/碳复合材料埚按内径大小分为不同的规格，其常见的规格代号有41、46、51、56四种规格。 4.1.2碳/碳复合材料埚按结构分为整体式埚和分体式埚，分体式埚常见的三种型式分别为活动底分体式、上下分体式和三体分体式。图1和图2分别为整体式埚和分体式埚示意图。 YS/T792—2012
中
+
b) 上下分体式埚
3
+ 由
5
三体分体式埚
)
说明： ① 埚的体； ②- 甘埚的活动底； ?- 一地埚的埚筒； - 埚的埚碗 ?- 甘埚的埚简托。
-
图2（续）
4.1.3 根据中灰分含量，埚按纯度等级分为I级、Ⅱ级和Ⅲ级。 4.2产品标记
产品型号及意义如下：
G（z或f)X-
埚纯度代号埚规格代号结构代号埚代号
4.2.1埚代号以“”字汉语拼音首写大写字母“G”表示。 4.2.2埚结构代号分别以“整”、“分”字汉语拼音首写小写字母“z”、“”表示，分体式埚用f1、f、 f依次表示活动底分体式埚、上下分体式埚和三体分体式埚。 4.2.3规格代号以其内径值的厘米数（按四舍五入取整)表示。
3 YS/T792—2012
4.2.42 中灰分与纯度等级的对应关系见表1。
表1 埚中灰分与纯度等级的对应关系
1 <50
I 50~200
纯度等级/级灰分/(mg/kg)
Ⅲ >200~500
4.2.5标记示例
只内径为508mm，纯度为I级的活动底分体式标记如下： Gf 51--- I
4.3外观质量
产品表面光滑圆整，无裂纹，无磕碰伤痕，无夹杂物和结块，无水、油污和灰尘等杂物。 4.4尺寸及其允许偏差
常用规格的埚，其各部分尺寸推荐值见表2，尺寸允许偏差的推荐值见表3。 图纸上注明了允许偏差的依图纸所示执行，图纸上未注明允许偏差的依照GB/T1804标准的粗糙
c等级执行。
具体尺寸和允许偏差可由供需双方商定，
表2： 各部分尺寸推荐值
埚规格代号和各部分尺寸 46
项目
单位
56 560(22英寸）
41 408(16英寸)
51 508(20英寸）
460(18英寸）
d
12 220 390 300 319 10 120 100 3 5 500 23 25
12 248 450 330 351 10 90 100 3 5 510 20 25
12 296 490 360 383 16 110 100 3 5 560 20 25
12 220 360 270 289 10 76 80 3 5 415 20 25
dj d2 hi h2 hs R; R2 Rs R SR a β
mm
()
4 YS/T792--2012
表3 埚尺寸允许偏差推荐值
项目单位允许偏差
hi
hz mm +1
R
d
di
SR
2
β
6
(°)
+2 0. 2 +1
+2
-1
±1
±1
-1
4.5 性能指标
的主要性能指标应符合表4的要求。
表4 埚的主要性能指标
纯度等级 Ⅱ级 1.5±0.2 50~200 <2. 0 >60 >35
单位
项目
I级
Ⅲ级
表观密度灰分热膨胀系数
g/cm3 mg/kg 106 /℃ W/(m·K)
<50 <2. 0
>200~500
<2. 0
/(平行方向) 工（垂直方向）
导热系数
注：灰分、热膨胀系数和导热系数为参考指标。具体技术指标也可由供需双方商定。
5试验方法
5.1埚的尺寸检验采用游标卡尺、高度尺、角度尺、直尺和平板等按图纸要求进行， 5.2外观质量的检验用目视的方法进行，其中裂纹可用25倍便携式放大镜检查。 5.3埚的表观密度检验按GB/T5163进行。 5.4埚的灰分检验按YB/T5146进行。 5.5埚的热膨胀系数检验按GB/T3074.4进行。 5.6的热扩散率测试按GB/T22588进行，再根据式（1)计算导热系数：
aα·C'p
·（(1 )
式中：入 一导热系数，单位为瓦每米开尔文[W/（m·K)]；
一热扩散率，单位为平方毫米每秒（mm/s）；
?
C——比热容，单位为焦耳每克开尔文[J/(g·K)],在本标准中c,=0.716J/(g·K)；
一表观密度，单位为克每立方厘米（g/cm"）。
p-
6检验规则
6.1 检查和验收 6.1.1产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。 6.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。复验结果与本标准或订货合同的规定不符时，
5 YS/T792—2012
应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量及尺寸偏差的异议，应在收到产品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起3个月内提出。如需仲裁，仲裁取样在需方由供需双方共同进行。 6.2组批
产品应成批提交验收，每批由同种原料、同种工艺在同一连续时间内生产的组成。 6.3检验项目
每件产品出厂前应进行外观质量、尺寸和表观密度的检验。其他性能由供方根据生产情况进行定期检测或抽检。检验项目也可由供需双方商定，并在合同中注明。 6.4取样及检验结果的判定
产品取样及检验结果的判定按GB/T2828.1进行，具体的检验项目、检查水平和接收质量限见表5，也可由供需双方另行商定。
表5埚检验项目、检验水平和接受质量限
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9
检验项目
检查水平 1
接收质量限（AQL)
2. 5 4 0. 65 1. 0 1. 0 4 4 2. 5 2. 5
图纸注明了公差的尺寸图纸未注明公差的尺寸
I I Ⅱ S-2 I Ⅱ S-2 S-2
裂纹表观密度灰分磕碰伤痕
夹杂物和结块及其他表面缺陷
热膨胀系数导热系数
1
标志、包装、运输、贮存
7.1标识 7.1.1埚侧面应刻印产品型号或生产编号。 7.1.2产品外包装箱上应注明供方相关资料、产品型号、产品名称及数量，附有“防潮”、“防碰撞”、“防挤压”等字样或标识。 7.2包装
产品外包装用瓦楞纸箱或木箱，内包装用聚乙烯塑料袋、纸板和泡沫板。埚放人塑料袋中，纸板折成角，放包装箱四角使之将产品定位牢靠，泡沫板放于上下以防震。I级纯度的埚应采用真空包装。
产品包装也可由供需双方确定的方法包装。
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