ICS 23.160 J 78
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T34876—2017/ISO27893:2011
真空技术 真空计 与标准真空计直接
比较校准结果的不确定度评定
Vacuum technology-Vacuum gauges-Evaluation of the uncertainties of results
of calibrations by direct comparison with a reference gauge
(ISO 27893:2011,IDT)
2017-11-01发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T34876—2017/ISO27893:2011
目 次
前言
范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义符号和缩略语
4.
基本概念和模型 5.1 概要 5.2 和模型 5.3 商模型 5.4 两种模型的组合
.
6和模型不确定度计算
6.1 和模型不确定度 6.2参考标准引人的不确定度分量 6.3 待校仪器引人的不确定度分量 6.4校准方法或校准条件引起的不确定度分量 6.5包含因子 7商模型中不确定度的计算
.
7.1 商模型不确定度 7.2参考标准产生的不确定度分量 7.3待校仪器产生的不确定度分量 7.4 校准方法或校准条件产生的不确定度分量 7.5 包含因子 8示值误差的和、商模型组合 9报告不确定度
.
9.1 不确定度报告 9.2 校准证书
10
......
.: -- ............
参考文献 GB/T34876—2017/ISO27893:2011
前言
本标准按照GB/T1.1一 -2009给出的规则起草本标准使用翻译法等同采用ISO27893：2011《真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结
果的不确定度评定》。
本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口：本标准起草单位：中国航天科技集团公司第五研究院第五一零研究所，中国计量科学研究院、合肥
智海光电技术有限公司，北京北仪创新真空技术有限责任公司威海智德真空科技有限公司沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：成永军、赵澜、李得天、张瑞芳、王永军、于红燕、刘磊、侯荣华、王红雪、林乐忠、 习振华、盛学民、孙冬花、王玲玲
I GB/T34876—2017/ISO27893:2011
真空技术真空计与标准真空计直接
比较校准结果的不确定度评定
1范围
本标准对测量不确定度的评定和报告给出了指导方针，该不确定度是按照ISO/TS3567与标准真空计直接比较校准真空计制定的。
本标准描述了真空计证书中不确定度的报告方法。按本标准给出的不确定度能相互借用，即某一结果评定的不确定度能作为另一测量或校准过程中不确定度评定的一个分量，第一个结果也可用于该测量和校准过程中。
本标准定义的两种测量模型足以覆盖绝大多数实例，但也有可能不适用于最新研发的真空计最终证书中报告的不确定度是通过评定输人量和影响量的不确定度获得的。本标准详细描述了影
响真空计校准结果的主要量，但未列出影响最终结果的所有可能量。
注：特殊类型真空计的校准未来将会在技术规范中介绍。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
ISO/TS3567真空计与标准真空计直接比较校准（Vacuumgauges一Calibrationbydirect comparison with a reference gauge)
ISO/IECGuide98-3测量不确定度第3部分：测量中不确定度表示指南（GUM：1995）［Uncel tainty of measurement -Part 3: Guide to the expression of uncertainty in measurement (GUM: 1995)
ISO/IECGuide99：2007国际计量学词汇基本和通用概念及相关术语（VIM）［International vocabulary of metrology-Basic and general concepts and associated terms(VIM)J
3术语和定义
ISO/TS3567、ISO/IECGuide98-3、ISO/IECGuide99界定的以及下列术语和定义适用于本
文件。 3.1
修正示值corrected reading 真空计示值经过系统误差修正后得到的数值。 示例：参照标准校准证书给出的结果。
3.2
长期不稳定性long-terminstability 经过长时间后校准值可能发生的变化。 示例：器件运输引起的变化。 注：长期不稳定性与ISO/IECGuide99:2007，3.7中定义的可重复性不一样。
1 GB/T34876—2017/ISO27893:2011
3.3
模型model ISO/IECGuide98-3中建立的<测量不确定度>数学模型
3.4
漂移 offset <测量仪器》零点误差。 基值测量误差，其中规定的被测量值为零。 注：改写ISO/IECGuide99:2007,4.28。 示例：当无示值（绝压或差压情况下）或者压力远低于真空计分辨限值时的示值。
3.5
漂移偏差 deviation of offset 测量漂移（3.4）时刻和读取压力时刻之间漂移（3.4）可能产生的差值。
3.6
参考标准 reference standard 标准真空计通常是在指定的部门或组织中，其所做的测量可追溯且具有最高计量特性的标准。 注：改写ISO/IECGuide99:2007,6.6。 示例：依据ISO/TS3567，真空计或标准在校准装置中可以溯源到SI单位。
3.7
校准压力 calibration pressure <真空计通过评定参考标准（3.6）的修正示值（3.1）和待校仪器规管接口处所有必要的修正后得到
的压力值
示例：对规管端口间已知差值的必要修正。
4符号和缩略语
符号或缩略语
名称
单位
UUC e k puuc P ind,UUc p std p ind.xid ruuc r std s
待校仪器（真空计）示值误差扩展标准不确定度u的包含因子修正已知偏差后的UUC压力示值未修正偏差的UUC压力示值修正已知偏差后的标准真空计压力示值（参照标准）未修正偏差的标准真空计示值（参照标准）商模型中校准确定的量参考标准确定的量真空计输出的灵敏度标准不确定度扩展不确定度 UUC的示值标准真空计的示值
相对单位
1 Pal) Pa Pa Pa 任意单位任意单位任意单位任意单位任意单位任意单位任意单位
24. U TUUC Lstd
1) 1 Pa=0.01 mbar. 2 GB/T34876—2017/ISO27893:2011
真空计的输人量和修正值（通常未知）校准条件或校准方法输人量和修正值（通常未知）绝对单位制中的示值误差压力单位中的偏差（通常未知）的偏差（通常未知）磁悬浮转子规的有效传递系数
xi X: Ap p: or: elr
任意单位任意单位
Pa Pa
任意单位
1
5基本概念和模型
5.1概要
根据ISO/TS3567的方法校准真空计，修正后的标准真空计示值可溯源到国际基本单位SI。所有真空计应按压力校准。即，真空计按照ISO/TS3567和本标准校准，使用者可获得清晰表述的真空计输出量，单位为SI压力单位，帕斯卡。
修正参考标准输出示值后得到的压力值可用于确定待校真空计（UUC）的人口处压力。称之为校准压力值。通常，参考标准的修正示值通常与校准压力是一致的，适用于所有的真空计。
校准压力能用于确定待校仪器的示值误差△力，和模型对这种情况的测量做了充分的表述，校准压力值也能用于确定修正因子、灵敏度系数、有效传递系数或规管常数，商模型对这些测量做
了充分的描述。
在两种模型中，假定所有输人量是不相关的。 5.2和模型
和模型中，UUC示值Pind和能溯源到SI单位的“真实”校准压力间的差值为被测值△p。校准压力由参考标准压力P给出，也可通过修正项力给出，修正项是在考虑诸如高度修正、热流逸、压力不一致性等这些已知影响因素的基础上，由校准方法产生的。因此常见的和模型见式（1）。
A=uuc(pad+pm)
***(1)
第一项与UUC相关，第二项与参考标准相关，第三项与校准方法相关。后两项的和给出了校准压力值。所有量的单位应为SI压力单位，帕斯卡。
每一项又可表示为另一种模型，使所有由零漂移、温度修正、SI值示值偏差产生的必要修正项与校准证书一致。 5.3商模型
商模型中，UUC示值uuc和标准压力示值pina的比值为被测值ruuc。常见的商模型见式（2）。
uc IIX:
+.*(2)
ruuc=
batd
分子与UUC相关，分母与参考标准、校准方法和校准条件的乘积相关。后者也能用真空计来定义，例如，热阴极电离真空计的发射电流。也可用任一合理单位来表示工ind，例如压力、电压或者电流的单位。X，能够用有意义的物理量或者无量纲的量来表述。
任何一个因子都可以用另一种模型表示，使得所有因漂移、温度修正、示值偏差等产生的所有必要修正项和校准证书一致。以ruuc为例：
a）f=1无量纲的修正因子的倒数，其中uuc=puuc且X：=1# b）S 电容薄膜真空计模拟输出Vuuc的灵敏度，xuuc=puc； c)s 热传导真空计对应输出Vuuc的灵敏度，uuc=puuc；
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