ICS23.160 J 78
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T34873—2017/ISO3567:2011
真空计 与标准真空计直接比较校准 Vacuum gauges-Calibration by direct comparison with a reference gauge
(ISO3567:2011.IDT)
2017-11-01发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T34873—2017/ISO3567:2011
目 次
前言
TT
范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义
符号及缩略语总则
4.
6 要求
6.1 校准室的设计 6.2 真空计与校准室连接管路 6.3 真空和进气系统 6.4 校准气体 6.5 温度计和室内条件 6.6 标准真空计校准
+
7
7.1 步骤 7.2 测量结果评价 7.3 测量不确定度 8校准证书附录A（资料性附录） 可行的校准系统样例附录B（资料性附录） 实际校准中的问题参考文献
10 11 13
+.+
. GB/T 34873—2017/ISO3567:2011
前言
本标准按照GB/T1.1一 -2009给出的规则起草本标准使用翻译法等同采用ISO3567：2011《真空计与标准真空计直接比较校准》。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：中国航天科技集团公司第五研究院第五一零研究所、中国计量科学研究院、合肥
智海光电技术有限公司，浙江真空设备集团有限公司，湖南维格磁流体股份有限公司，北京北仪创新真空技术有限责任公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：李得天、习振华、成永军、赵澜、孙雯君、于红燕、王金库、刘磊、王西龙、钟云会、 言继春、王功发、侯荣华、王红雪、王长明、张维、董猛、郭美如、陈联、王玲玲
II GB/T34873—2017/ISO3567:2011
真空计与标准真空计直接比较校准
1范围
本标准规定了真空计与标准真空计直接比较校准需满足的物理、技术及计量条件。通过对这些条件的描述，可推知能够适用于真空计校准的装置的设计。
被校真空计能为任意类型。许多类型的真空计由若干部分构成，主要有：规管、线缆、操作仪器和信号读取仪器。这一整部分可视为一个需被校准的单元。因而，如果仅对规管（即，真空计直接暴露于真空环境的部分）进行校准，那么可以记录所有的设置及条件，以便被校规管的使用者能够采用与校准时相同的方式进行测量。
标准真空计也是经过校准的真空计，可潮源至真空原级标准或国家标准（通常情况），配有符合 GB/T27025一2008要求的校准证书，或者溯源至国际单位制并能确定测量不确定度的绝对测量仪器（少数情况）。
本标准对如何处理特殊类型真空计未作出指导，不论是标准真空计还是被校真空计，此类指导将在其他标准中提供。
本标准中所论述的校准压力范围取决于校准装置的实际设计以及标准真空计的类型。校准范围在 10-6Pa～110kPa之间变化。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T27025一2008检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC17025：2005.IDT） ISO/IECGuide98-3测量不确定度第3部分：测量中不确定度表示指南（GUM：1995）［Uncer-
tainty of measurement-Part 3: Guide to the expression of uncertainty in measurement (GUM: 1995)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
原级标准 primary standard 使用一级参考测量程序建立的测量标准。 注：参见ISO/IECGuide99:2007，5.4，修改采用。
3.2
国家标准national standard 经国家权威机构认证，在一个国家或经济体内作为同类量的其他测量标准定值依据的测量标准参见ISO/IECGuide99:2007,5.3
3.3
参考标准referencestandard 在指定组织或指定地区内指定用于校准同类量其他测量标准的测量标准。
1 GB/T34873—2017/ISO3567:2011
［参见ISO/IECGuide99:2007.5.6] 注：本标准中，该定义等同于标准真空计。
3.4
真空计vacuum gauge 测量低于大气压力的气体或蒸气压力的仪器［参见ISO3529-3:1981,3.1.2 注1：常用的某些真空计没有直接测量压力，而是测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量，注2：所用到的各类真空计的术语和定义。可见ISO3529-3。
3.5
规管gauge head 真空计中，包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。 注：含有操作装置的规管通常被称为传感器。 【参见ISO3529-3:1981，3.1.2.1，修改采用
3.6
操作仪器 operational device 用于操作规管且（或）传递与压力相关信号的真空计部件。
3.7
待校准仪器 unit under calibration UUC 待校准真空计。
3.8
接入法兰 entrance flange 可将待校准仪器或标准真空计连接至校准室的法兰。
3.9
校准室 calibration chamber 向标准真空计和待校准真空计提供共同真空介质的真空室。
3.10
接entrance mouth 待校准仪器、标准真空计或校准系统其他组成部分通向校准室的接口。
3.11
校准气体 calibration gas 用于改变校准室压力的单一或混合气体。
3.12
吸附 sorption 固体或液体对气体或蒸汽的捕获。
3.13
解吸desorption 材料吸附气体或蒸汽的释放。
3.14
放气率 outgassing rate 材料暴露于真空下，分子或原子的脱附速率。
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