ICS 29.020 J 09
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T5226.33—2017/IEC60204-33:2009
机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinery-Electrical equipment of machines- Part 33 : Requirements for semiconductor fabrication equipment
(IEC 60204-33:2009.Safety of machineryElectrical equipment of machines
Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment.IDT)
2017-10-14发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
中国国家标准化管理委员会 GB/T 5226.33—2017/IEC60204-33:2009
目 次
前言范围
VI
1
2 规范性引用文件术语和定义
3
基本要求· 4.1 一般原则 4.2 电气设备的选择… 4.3 电源 4.4 实际环境和运行条件 4.5 运输和存放 4.6设备搬运 4.7 安装引人电源线端接法和切断开关· 5.1引人电源线端接法· 5.2连接外部保护接地系统的端子 5.3电源切断（隔离）开关 5.4 附加切断装置 5.5对未经允许、疏忽和错误连接的防护 6电击防护. 6.1 概述 6.2 直接接触的防护 6.3 间接接触的防护 6.4 采用PELV的保护。 6.5 防止有技能人员和受训人员接触危险带电部分 7电气设备的保护。 7.1 概述 7.2 过电流保护 7.3 电动机的过热保护 7.4 电动机的超速保护 7.5 异常温度的检测· 7.6对电源中断或电压降落随后复原的保护 7.7 接地故障/残余电流保护 7.8 相序保护
4
DIEE
12
.
.:
-.
.E..E..
12
1.3
1.5
16
16
k
17
1.8 19
19 19 20 22 22
23 23 23
闪电和开关浪涌引起过电压的防护 7.10 电解电容器等电位联结
7.9
23
23
A GB/T5226.33—2017/IEC60204-33:2009
8.1 概述· 8.2保护联结电路 8.3功能联结 8.4限制大泄漏电流影响的措施·
23 25 27 27 27
9控制电路，紧急断开（EMO）和保护联锁电路
.I..
9.1 控制电路 9.2 紧急断开（EMO） 9.3 紧急断开之外的操作· 9.4 联锁保护. 9.5 安全功能和（或）保护措施的暂时停止操作板和安装在机械上的控制器件
27
28 29 30 31
10
31
10.1 总则 10.2 按钮 10.3 指示灯 10.4 光标按钮 10.5 旋动控制器件 10.6 起动器件 10.7 紧急断开装置 10.8 紧急停止装置 10.9 使能控制器件 11控制设备：位置、安装和电柜 11.1 般要求
31
32 33 A 34 34 34 35 35
..
.
35 35 35 36 36 38 38
11.2 位置和安装 11.3 防护等级 11.4 电柜 12 导线和电缆 12.1 般要求 12.2 绝缘 12.3 载流容量 12.4 导线和电缆的电压降 12.5 柔性电缆 13配线技术
39 39 39 39 40 40 42 42 42 43 45 46 46 46
连接和布线 13.2 多插座组件 13.3 插头/插座组合件 13.4 导线的标识 13.5 电柜外配线 13.6 管道、接线盒与其他线盒 14 电动机及有关设备 14.1 般要求 14.2 远程安装的电动机 Ⅱ
13.1 GB/T 5226.33—2017/IEC60204-33:2009
14.3 电机尺寸 14.4 电机的安装与隔间
46 46
15附件和照明 15.1 附件 15.2 半导体设备的局部照明 16# 标记、警告标志和参照代号· 16.1 概述 16.2 电击危险警告标志 16.3 功能识别 16.4 设备的铭牌 16.5 参照代号 17 技术文件 17.1 概述 17.2 提供的资料 17.3 适用于所有文件的要求 17.4 安装文件 17.5 概略图和功能图 17.6 电路图 17.7 操作文件 17.8 维修文件 18 测试 18.1 概述 18.2 接地连续性和保护联结回路连续性试验 18.3 体式电源线的接触电流试验 18.4 耐压试验 18.5 电线防拉试验 18.6 电输出源短路试验 18.7 联锁保护电路功能试验 18.8 储能电容器放电试验（见6.2.4）... 18.9 温度试验 18.10 电柜强度试验30N的稳定力试验 18.11 电气柜强度试验；250N的稳定力试验 18.12 指型试具试验 18.13 导线弯曲试验 18.14 绝缘电阻试验 18.15 EMO功能试验 18.16 输人电流试验· 18.17 其他安全电路实验 18.18 电动机温度试验附录A（规范性附录） 在TN系统中的基本保护（间接接触的防护）（来自GB/T16895.21一2011
46 46 46
47
47 47 47 48 48
.
.....
....
48 48 48 49 49 50 50 50 50
.
-.E-
++
.
51
51 51 52
J
53 54 54 54
.
55 56
56 56 31 57
57 57 57
.....
...
和GB/T16895.23—2012)
59 ⅢI GB/T 5226.33—2017/IEC60204-33:2009
表C.4 环境温度校正系数表C.5 非绝缘母线尺寸表C.6 洁净室等级1000或以下的电气间隙和爬电距离表C.7 印刷线路板（PWB）爬电距离 #出#中由中表C.8 洁净室等级1000以上的电气间隙和爬电距离
66 66 68 68 69
++
V