ICS 77. 120. 01 H 14
中华人民共和国国家标准
GB/T26289-2010
高纯硒化学分析方法
硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、 镁、钛、镍、铜、、镉、钢、铅、铋量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Methods for chemical analysis of high purity selenium-
Determination of boron,aluminum,iron,zinc,arsenic,silver,tin,antimony tellurium,mercury,magnesium,titanium,nickel,copper,gallium,cadmium
indium,lead and bismuth contents--
Inductively coupled plasma mass spectrometry
2011-11-01实施
2011-01-14发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
中国国家标准化管理委员会 GB/T 26289—2010
前言
本标准是按照GB/T1.1一2009给出的规则起草的。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准起草单位：北京有色金属研究总院。 本标准参加起草单位：北京矿冶研究院、峨嵋半导体材料厂。 本标准主要起草人：刘英、高燕、李继东、刘红、冯先进、文英、李华昌、阮桂色。
1 GB/T26289—2010
高纯硒化学分析方法
硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋量的测定
电感耦合等离子体质谱法
1范围
本标准规定了高纯硒中硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、镁、钛、镍、铜、镓、镉、钢、铅、铋杂质元素
的测定方法。
本标准适用于高纯硒中硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、、碲、汞、镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋含量的测定。测定范围见表1。
表 1
测定范围/% 0.0001~0.0010 0.000 05~0.0010 0.000 05~0.0010 0.00005~0.0010 0.000 05~0.0010 0.000 05~0.001 0 0. 000 05~0. 001 0 0.00005~0.001 0 0.000 05~0.001 0 0.00005~0.0010
元 素 Mg
测定范围/% 0.000 01~0.000 20 0.00001~0.00020 0.00001~0.00020 0.00001~0.00020 0.00001~0.00020 0. 000 01~0. 000 20 0. 000 01~0. 000 20 0.000 01~0.000 20 0.00001~0.00020
元 素
B Al Fe Zn As Ag Sn Sb Te Hg
Ti Ni Cu Ga Cd In Pb Bi
1
一
2方法提要
试料以硝酸溶解，采用电感耦合等离子体质谱法直接测定硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲和汞含量；以阳离子交换将镁、钛、镍、铜、镓、镉、钢、铅、铋与大量硒基体分离并得到富集，采用电感耦合等离子体质谱法测定镁、钛、镍、铜、镓、镐、钢、铅和铋含量，
3试剂与材料
除非另有说明，在分析中仅使用确认为优级纯的试剂；所用水为去离子水，电阻率不小于 18.2M·cm. 3.1盐酸(pl.19g/mL）。 3.2硝酸（pl.42g/mL）。
1 GB/T26289—-2010
3.3盐酸(1+1)。 3.4氢氟酸(pl.128g/mL)。 3.5氨水(p0.90g/mL)。 3.6硝酸(1+1)。 3.7硝酸(1+2)。 3.8硝酸（4+11)）。 3.9硝酸（1+1500)。 3.10银标准贮存溶液：称取1.0000g银EwAg≥99.99%，置于300mL烧杯中，加20mL硝酸（3.6），低温加热溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2)），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg银。 3.11砷标准贮存溶液：称取1.0000g砷［wA≥99.99%]，置于300mL烧杯中，加人50mL硝酸（3.6），低温加热溶解，加热除去氮的氧化物，冷却，移入1000mL容量瓶中，加入40mL硝酸（3.2)，用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg砷。 3.12硼标准贮存溶液：称取5.7174g硼酸［wH,B0,≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加少量水，低温加热溶解，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg硼。 3.13汞标准贮存溶液：称取1.0000g汞[wg≥99.99%]，置于盛有30mL硝酸（3.6)300mL烧杯中，移至通风橱内慢慢加热溶解，溶解完全后加水稀释，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg汞。 3.14铁标准贮存溶液：称取1.0000g铁wF≥99.99%]，置于300mL烧杯中，用30mL硝酸（3.6）溶解完全后，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg铁。 3.15碲标准贮存溶液：称取1.0000g碲[T≥99.99%]，置于300mL烧杯中，加50mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移入1000mL容量瓶中，加入40mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg碲。 3.16锌标准贮存溶液：称取1.0000g锌［wza≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加入20mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，冷却，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg锌。 3.17铜标准贮存溶液：称取1.0000g铜[wcu≥99.99%]，置于300mL烧杯中，加20mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2)，用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg铜。 3.18标准贮存溶液：称取1.0000g［wca≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加20mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg。 3.19镓标准贮存溶液：称取1.0000g镓［wGa≥99.99%]，置于300mL烧杯中，加20mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，加入50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此浴液1mL含1mg缘。 3.20铟标准贮存溶液：称取1.0000g铟wn≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加人20mL硝酸（3.6），低温溶解，冷却，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀，此溶液 1mL含1mg钢。 3.21镁标准贮存溶液：称取1.0000g镁wM≥99.99%，置于300mL烧杯中，加人20mL水，慢慢加人20mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移入1000mL容量瓶中，加入 50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg镁。 3.22镍标准贮存溶液：称取1.0000g镍[wzi≥99.99%]，置于300mL烧杯中，加40mL硝酸（3.6），
2 GB/T26289—2010
低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，加人40mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg镍。 3.23铅标准贮存溶液：称取1.0000g铅wpb≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加人30mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移人1000mL容量瓶中，加人50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀，此溶液1mL含1mg铅。 3.24铋标准贮存溶液：称取1.0000g铋[wg≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加20mL硝酸（3.6），低温溶解，加热除去氮的氧化物，取下冷却，移入1000mL容量瓶中，加入50mL硝酸（3.2），用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg铋。 3.25锡标准贮存溶液：称取1.0000g锡［wsn≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加50mL盐酸（3.1），加热溶解，移人1000mL容量瓶中，加人150mL盐酸（3.1)用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含 1mg锡。 3.26铝标准贮存溶液：称取1.0000g铝[wAl≥99.99%］，置于300mL烧杯中，加20mL盐酸（3.3），滴加1mL~2mL硝酸（3.2），低温溶解，移入1000mL容量瓶中，加人80mL盐酸（3.1)用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg铝。 3.27钛标准贮存溶液：称取1.0000g钛［wr≥99.99%，置于300mL聚四氟乙烯烧杯中，加20mL 盐酸（3.1），滴加1mL~2mL硝酸（3.2），加4mL氢氟酸（3.3），低温溶解，移人1000mL塑料容量瓶中，加人80mL盐酸（3.1)用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg钛。 3.28标准贮存溶液：称取1.0000g锑［wsb≥99.99%]，置于300mL烧杯中，加人盐酸（3.1)和硝酸 (3.6)各20mL，加热溶解，移入1000mL容量瓶中，加人150mL盐酸（3.1)用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1mg锑。 3.29标准溶液A：分别移取标准贮存溶液（3.10~3.24)各1mL至100mL容量瓶，加入5mL硝酸（3.2），稀释至刻度，混匀，此溶液含银、砷、硼、汞、铁、碲、锌、镁、铋、铜、镉、镓、铟、镍、铅各10μg/mL。 3.30标准溶液B：分别移取标准贮存溶液（3.25～3.28)各1mL至100mL塑料容量瓶中，加人5mL 硝酸（3.2），稀释至刻度，混匀，溶液含锑、锡、铝、钛各10ug/mL。 3.31标准溶液C：移取10mL标准溶液A至100mL塑料容量瓶，加人5mL硝酸（3.2），稀释至刻度，混匀，此溶液含银、砷、硼、汞、铁、、锌、镁、铋、铜、镉、镓、钢、镍、铅各1.0ug/mL。 3.32标准溶液D：移取10mL标准溶液B至100mL塑料容量瓶，加人5mL硝酸（3.2），稀释至刻度，混匀，此溶液含锑、锡、铝、钛各1.0μg/mL。 3.33内标溶液：称取0.3856g氯酸铵，置于300mL烧杯中，加人10mL盐酸（3.3），移人100mL 容量瓶中，加人10mL盐酸（3.1)用水稀释至刻度，摇匀，此溶液1mL含1mg佬，使用前稀释，每一步的稀释溶液中保持2%的硝酸介质，稀释后溶液1mL含1.0ug，体积分数为2%HNO3介质。 3.34强酸性阳离子交换树脂
将70～200目筛的交联度为7%的001型强酸性阳离子交换树脂先用水冲洗至出水清澈无混浊、 无杂质，然后用盐酸（3.3)浸泡2h，再用大量水淋洗，至出水接近中性，如此重复3次，每次酸用量为树脂体积的2倍。最后用水洗至中性，待用。 3.35氟气[wAr≥99.995%]。
4仪器
4.1离子交换柱
管长约50mm，管内径1.5mm。将洗净后的玻璃纤维塞至管底，以防止树脂流出，管内充满水，将处理好的树脂（3.34）注人管内，装人树脂高度约25mm～40mm（树脂体积约0.5mL），上面再覆盖些玻璃纤维。泵人水，保持树脂湿润。
3 GB/T26289—2010
交换柱再生：以0.5mL/min的流速泵人15mL硝酸（3.7）；最后，用10mL去离子水以1mL/min 的流速冲洗柱中树脂，待用。 4.2电感耦合等离子体质谱仪：质量分辨率优于(0.8±0.1)amu。
5分析步骤
5.1试料 5.1.1硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲和汞的测定，称取0.1g试样，精确至0.0001g。 5.1.2镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅和铋的测定，称取1.5g试样，精确至0.0001g。 5.2测定数量
独立地进行两次测定，取其平均值。 5.3空白试验
随同试料做空白试验。 5.4分析试液的制备 5.4.1硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲和汞的测定
将试料（5.1.1)置于300mL聚四氟乙烯烧杯中，盖上烧杯盖，分次加人总量为3mL的硝酸（3.2），低温加热至试料溶解完全，取下，冷却后移人100mL塑料容量瓶中，加入内标溶液（3.33)1.0mL，用去离子水稀释至刻度，摇匀待测。 5.4.2镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅和铋的测定
将试料（5.1.2)置于300mL聚四氟乙烯烧杯中，盖上烧杯盖，分次加人总量为5mL的硝酸（3.2），低温加热，试料溶解完全后，继续低温加热至烧杯内有少量白色固体析出，加入少量水溶解，取下，冷却后移人100mL塑料容量瓶中，用去离子水稀释（稀释体积大药50mL为宜），并用氨水（3.4)调节pH 值至1.0～3.0，然后以2mL·min的速度泵人准备好的离子交换柱中。进样完毕后，用5mL硝酸 (3.9）淋洗，再用5mL的硝酸（3.8)以0.5mL·min-1的速度洗脱。收集洗脱液，加入内标溶液（3.33） 0.25mL，定容至25mL，摇匀，待测。 5.5工作曲线的绘制
5.5.1硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲和汞工作曲线的绘制 5.5.1.1分别移取标准溶液C(3.31)0mL、0.20mL、0.50mL、1.00mL于4个100mL塑料容量瓶中，加人内标溶液（3.33)1.00mL，以水稀释至刻度，混匀。此系列标准溶液1mL含硼、铁、锌、砷、银、 碲、汞分别为0ng、2ng、5ng和10ng。 5.5.1.2分别移取标准溶液D(3.32)0mL0.20mL、0.50mL、1.00mL于4个100mL塑料容量瓶中，加入内标溶液(3.33)1.00mL，以水稀释至刻度，混匀。此系列标准溶液1mL含铝、锡、锑分别为 0ng、2ng、5ng和10ng。 5.5.2镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋工作曲线的绘制
分别移取标准溶液C(3.31）、标准溶液D(3.32)0mL、1.00mL、5.00mL、10.00mL、15.00mL于 4 GB/T26289—2010
5个100mL塑料容量瓶中，加人内标溶液（3.33)1.00mL，以水稀释至刻度，混匀。此系列标准溶液 1mL含镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋分别为0ng、10ng、50ng、100ng和150ng。 5.6测定 5.6.1测定同位素
各元素的测定同位素质量数见表2。
表 2
元 素
同位素质量数
元 素 Mg
同位素质量数
11 27 56 66 75 107 118,119 121 128 202
B Al Fe Zn As Ag Sn Sb Te Hg
24 47、48 6 63 69 111 115 208 209 103
Ti Ni Cu Ga Cd In Pb Bi Rh
注：Fe和1Sn采用去干扰技术测定。
5.6.2将空白溶液（5.3）、分析试液（5.4)与标准系列溶液(5.5)同时进行氩等离子体质谱测定。
分析结果的计算
6
按式（1)计算各待测元素的质量分数W，数值以%表示：
(pa=p).V×10-9
wr :
× 100
·(1 )
m
式中： x Pr -自工作曲线上查得空白试料溶液的各杂质元素的质量浓度，单位为纳克每毫升（ng/mL)； P——自工作曲线上查得试料中各杂质元素的质量浓度，单位为纳克每毫升(ng/mL)； V. 试料溶液的体积，单位为毫升（mL）； m- 试料的质量；单位为克（g）。
被测元素硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、镁、钛、镍、铜、、镉、钢、铅、铋；
精密度
7
7. 1 重复性
在重复性条件下获得的两个独立测试结果的测定值，在以下给出的范围内，这两个测试结果的绝对值不超过重复性限(r），超过重复性限(r)的情况不超过5%。重复性限（r)按表3数据采用线性内插法求得：
5 GB/T26289—2010
表3
元 素
元素
质量分数/% 0,0001 0. 000 5 0.0010 0.0001 0. 000 5 0.001 0 0. 0001 0. 000 5 0.0010 0.0001 0, 0005 0.001 0 0. 0001 0. 000 5 0. 001 0 0. 000 1 0.000 5 0.001 0 0. 0001 0. 000 5 0.001 0 0. 000 1 0. 000 5 0.001 0 0. 0001 0.000 5 0. 001 D 0. 000 1 0. 000 5 0.0010
重复性限(r)/% 0.00006 0.000 07 0. 000 13 0. 000 05 0.000 06 0.000 12 0. 000 04 0. 000 06
质量分数/% 0. 000 01 0. 000 05 0.00010 0.000 01 0.000 05 0,00010 0. 000 01 0, 000 05 0. 00010 0. 000 01 0. 000 05 0.00010 0, 000 01 0. 000 05 0,00010 0.00001 0.000 05 0. 00010 0.00001 0, 000 05 0.00010 0, 000 01 0. 000 05 0.00010 0. 000 01 0.00005 0, 00010
重复性限（r）/% 0.000 003 0.000006 0.000015 0. 000 005 0.000 008 0.000 015 0,000 004 0. 000 006 0.000015 0. 000 005 0.000 008 0.000 015 0,000 003 0. 000 004 0.000 014 0.000 005 0.000 008
镁
银
铝
钛
镍
砷
0. 0001 0.000 05 0.000 08 0.00017 0. 000 04 0.000 06 0.00014 0. 000 04 0.000 06 0.00015 0. 000 04 0. 000 04 0. 000 11 0. 000 05 0. 000 05 0.00012 0. 000 03 0. 000 06 0, 000 13 0.000 04 0. 000 06 0.00015
铜
硼
汞
缘
铁
锅
0,00002 0.000 003 0. 000 004 0.000 013 0.000 003 0.000 004 0.000 013 0.000 003 0.000 004 0, 000 011
锑
烟
锡
铅
碲
铋
- 一
锌
一
一一
7.2 再现性限
在再现性条件下获得的两次独立测试结果的测定值，在以下给出的平均值范围内，这两个测试结果的绝对差值不超过再现性限（R），超过再现性限（R)的情况不超过5%，再现性限（R)按表4数据采用线性内插法求得： 6