ICS 25.040.40 N 91
GE
中华人民共和国国家标准
GB/T326532016
微机械系统加速度检波器
Microelectro mechanical system acceleration geophone
2017-05-01实施
2016-04-25发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T32653—2016
目 次
前言 1 范围
规范性引用文件 3 术语和定义标记
2
4
要求 5.1 外观 5.2 环境适应性 5.3 单分量MEMS加速度检波器技术参数 5.4 三分量MEMS加速度检波器技术参数 6试验方法 6.1 试验条件 6.2 外观检查 6.3 环境适应性试验 6.4 单分量MEMS加速度检波器技术参数测试 6.5 三分量MEMS加速度检波器技术参数测试 7检验规则.· 7.1 出厂检验 7.2 型式检验· 8标志、包装、运输、贮存 8.1 标志 8.2 包装· 8.3 运输 8.4 贮存
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..
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13 13 14 14 14
15 GB/T32653—2016
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任，本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC153)归口。 本标准起草单位：威海双丰电子集团有限公司、北京大学、哈尔滨工业大学本标准主要起草人：田殿仓、杨仲华、牛德芳、唐晓刚、高成臣、陈伟平、丛方圆。
- GB/T32653—2016
微机械系统加速度检波器
1范围
本标准规定了微机械系统加速度检波器的术语和定义、标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于地震勘探用微机械系统加速度检波器。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志 GB/T2829一2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T6587—2012电子测量仪器通用规范
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
微机械系统加速度检波器 microelectro mechanical system acceleration geophone MEMS加速度检波器由微电子机械系统构成的，能检测振动加速度的地震传感器。
3.2
三分量MEMS加速度检波器MEMSthreecomponentsaccelerationgeophone 由三个MEMS加速度检波器芯体组成，能接受同一物理点上三个不同方向振动加速度的地震传
感器。 3.3
灵敏度温度系数 sensitivitythermal coefficient 满量程条件下，MEMS加速度检波器灵敏度随单位温度的相对变化量。
3.4
输出漂移 outputoffset 加速度为零时，MEMS加速度检波器的输出。
3.5
输出漂移温度系数 offset thermal coefficient 单位温度变化所引起的MEMS加速度检波器输出漂移的变化。
3.6
失真度distortion 特定频率的标准正弦波，用规定的速度驱动MEMS加速度检波器，MEMS加速度检波器输出信号
谐波分量的均方根值与基波分量有效值之比的百分数。
- GB/T32653—2016
3.7
绝缘电阻 isolationresistance MEMS加速度检波器输出端与壳体之间的电阻值。
3.8
矢量保真度 vector fidelity 单位加速度垂直于工作轴方向激励时，检波器输出电压与工作轴方
向灵敏度的比，用分贝数表示。
《三分量MEMS加速度检波器》受到来自一个坐标轴向（如X方向）的振动时，另外两个轴向（如 Y、Z方向)的输出信号分别与该轴向输出信号之比。
注：矢量保真度用分贝表示。
3.9
极性 polarity 表示MEMS加速度检波器激励方向与输出电信号方向的参数。
4标记
规格型号表示方法如下：
MEMS-XXX
可测加速度量程（土g）微电子机械系统
示例：量程为土2g（峰值)的MEMS加速度检波器表示为：MEMS-002。
5要求 5.1外观
MEMS加速度检波器外观要求如下：
-MEMS加速度检波器表面应无毛刺、腐蚀或其他变形现象，型号、规格、制造年月应标识清晰；护壳及密封件应表面光滑，无明显缺陷；紧固件和尾锥无锈蚀，无松动；引出线的表面无破损，连接器无变形、牢固可靠； MEMS加速度检波器和插头应有明显的极性标记，MEMS加速度检波器单元应有清晰的型号、规格及编号；三分量MEMS加速度检波器顶盖应有矢量标记、水平指示、调节装置，引出线上应有轴向标志。
5.2环境适应性
MEMS加速度检波器经受表1的条件试验后，应能正常工作。
2 GB/T32653—2016
表1 适应环境要求项目工作温度振动
序号 1 2
要求 -40℃~70℃
GB/T6587—2012中第Ⅲ组
5.3 单分量MEMS加速度检波器技术参数
MEMS加速度检波器技术参数应符合表2规定。
表 2 MEMS加速度检波器技术参数（20℃土3℃）
序号 1 2 3 4 5 6 7
项目量程 kGal 灵敏度 V/kGal 灵敏度温度系数
技术参数要求 ±0.2、±1、±2、±3
1~2
±3.0×10§、±1.0×10-*、±3.0×10-4
℃-1 线性度 % 输出漂移 Gal
0.25,0.5,1
≤±100≤±200、≤±300
输出漂移温度系数
±100、±200、±300
mGal/ ℃ 工作频带 Hz
5~500,3~500,1~500
噪声(1Hz～500Hz)
8 9 10 11 12 13
《10、≤100、1000
mGal/Hz/2 失真度
《0.02、《0.05,0.1
% 绝缘电阻 MQ 动态范围 dB 矢量保真度
≥100 ≥80、≥90、≥105 ≤-40,≤-30 正确标识十/一极
dB 极性 +/-
5.4 三分量MEMS加速度检波器技术参数
单只芯体应满足表2要求，组合后矢量保真度应不大于一20dB。
3 GB/T32653—2016
6 试验方法
6.1 试验条件 6.1.1 试验环境
试验应在以下环境进行：
标准室温20℃±3℃；相对湿度低于70%；
-
一无影响试验的强电磁场及振动干扰。
6.1.2 主要测试设备 6.1.2.1 单参数测试设备
单参数测试设备包括：
函数发生器（12Hz正弦波输出失真度小于或等于0.02%）；标准加速度计；动态信号分析仪；垂直低频振动台（12Hz正弦驱动失真度小于或等于0.05%）； -水平低频振动台（12Hz正弦驱动失真度小于或等于0.05%）。
6.1.2.2MEMS加速度检波器综合参数测试设备
机械激励的MEMS加速度检波器测试系统。 6.1.2.3测试系统要求
测试系统要求如下：
-测试系统不确定度应小于被测参数允差的1/3；标准传感器及主要配套设备的测量范围能覆盖被测参数；系统测试的准确度应满足MEMS加速度检波器测试要求。
-
6.2外观检查
用目测的方法进行。 6.3 环境适应性试验 6.3.1 环境温度试验
根据表1的要求，按GB/T6587-2012中5.9.1规定的试验方法进行。 6.3.2 振动试验
根据表1的要求，按GB/T6587一2012中5.9.3规定的试验方法进行。
4 GB/T32653—2016
6.4单分量MEMS加速度检波器技术参数测试 6.4.1 噪声 6.4.1.1测试框图
MEMS加速度检波器噪声测试框图见图1。
动态信号分析仪
屏蔽体
标准传感器
MEMS 检波器
隔振基础
图1P 噪声测试框图
6.4.1.2测试步骤
MEMS加速度检波器噪声测试步骤如下：
将被测MEMS加速度检波器和标准传感器放在屏蔽体中，屏蔽体放在隔振基础上接地；
a)
b) 当加速度等于零时，将MEMS加速度检波器和标准传感器输出信号同时输送到动态信号分
析仪； c) 使用动态信号分析仪测试MEMS加速度检波器与标准传感器输出电压噪声的频谱密度。
6.4.2 量程、工作频带、灵敏度、输出漂移、线性度 6.4.2.1测试框图
MEMS加速度检波器量程、工作频带、灵敏度、输出漂移、线性度测试框图见图2。
动态信号分析仪
电荷放大器
J2
1
功率放大器
函数发生器
振动台
隔振基础
说明： J1 被测MEMS加速度检波器； J2 标准加速度传感器。
图2MEMS加速度检波器量程、工作频带、灵敏度、输出漂移、线性度测试框图
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