JF
中华人民共和国工业和信息化部
电子计量技术规范
JJF（电子）0040—2019
静电放电靶校准规范 Calibration Specification of ESD Current Targets
2019-08-26发布
2019-12-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JJF (电于) 0040—2019
JJF (电子) 0040—2019
静电放电靶校准规范 Calibration Specification of ESD
本规范主要起草人：
JJF(电子)0040—2019
张辉(广州广电计量检测股份有限公司) 吕东瑞（广州广电计量检测股份有限公司）罗燕红（广州广电计量检测股份有限公司）李建征（广州广电计量检测股份有限公司）
Current Targets
参加起草人：
曾昕（广州广电计量检测股份有限公司）薛玉韬（广州广电计量检测股份有限公司) 胡小军(苏州泰思特电子科技有限公司)
归口单位：中国电子技术标准化研究院主要起草单位：广州广电计量检测股份有限公司参加起草单位：苏州泰思特电子科技有限公司
本规范技术条文委托起草单位负责解释
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265 JJF (电子) 0040—2019
JJF(电子)0040—2019
引 言
静电放电靶校准规范
目 录
本规范依据JF1071—2010(国家计量校准规范编写规则》和JF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》编写。
本规范为首次在国内发布。
引
(267) (268) (268 ) (268) (268) (268) (268) (269) (269) (269) (269) (269) (269) (269) (269) (270) (270) (270) (271) (271) (272) (273) (274) (275) (276) (279)
范围引用文件术语和计量单位
3. 1 输入阻抗 3. 2 转移阻抗 3.3 插入损耗
e 计量特性
5. 1 输入阻扰 5. 2 转移阻抗 5.3 插入损耗
校准条件 6.1 环境条件 5.2 测量标准及其他设备
投准项目和校准方法 7. 1 外观及工作正常性检查 7. 2 输入阻 7. 3 转移阻扰 7. 4 插入损款
视准结果表达复投时间间隔附录A 原始记录格式附录B 校准证书内页格式附录 C 测量不确定度评定示例附录 D 静电放电靶投准适配器
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JJF (电子) 0040—2019
6.2.1网络分析仪
数字多用表
频率范图：9kHz~4GHz; 动态范图：≥100dB；传输系数模值；±0.1dB。
6.2.2 校准适配器
插人损耗：<0.3dB,DC~4GHz; 回波损耗:>30dB,DC ~1GHz; >20dB,(1 ~4)CHz,
内电极
接地结构
6.2.3 直流电流源
静电放电视图2输入用款按准承意图
直流电流：(0.01~2)A，最大允许误差；±0.1%。 6.2.4数字多用表
7.2.3 按式(3)计算输人阻抗的示值误差：
直流电压：10mV~10V，最大允许误差：±0.1%；电阻测量：(0.1~10)0，最大允许误差：±0.5%。
R, R,
4 =
× 100% . (3.
R,
6.2.5500负载
式中; 4 R 输入阻抗标称值，0； R, 数字多用表测量值，0。
直流电阻值：500，最大允许误差：±1%。 6.2.6同轴衰减器
输入阻抗示值误差；
衰减值：10dB,DC~4GHz,最大允许误差：±0.5dB; 电压驻波比：≤1.2。 校准项目和校准方法
7.3 转移阻抗 7.3.1如图3所示，直流电流源输出正极接静电放电靶的电流输人端内电极，静电放电靶-衰减器-电缆链路的输出端转接500负载，链路电缆接地端和电阻的电流输出端接直流电流源的回路端。
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7.1 外观及工作正常性检查
被校静电放电靶-衰减器-电缆链路外观应完好，静电放电靶端面平整，衰减器的衰减值应清晰标注，线缆应无明显机械损伤和弯折形变。检查结果记录于附录A表A.1 中。 7.2 输人阻抗 7.2.1 用数字多用表测量静电放电靶的输人阻抗，设置数字多用表为电阻测量功能，选择合适的量程，特表笔或测试线短接测量引线电阻对测量结果进行修正或清零。 7.2.2如图2所示，用数字多用表的表笔或测试线分别接触静电放电靶的内电极和外环接地结构，数字多用表的测量值印为静电放电靶的直流输人阻抗R。，记录于附录A表 A.2 中。
直流电流源
50Q
负载 数字多用表
静电故电配航路
图3转移用执校准连换示意
7.3.2 设置电源输出电流1.为1A(或按使用要求设置），用数字多用表测量500负载两端的电压Vs，记录于附录A表A.3中。 7.3.3用式(1)计算静电放电靶-衰减器 器-电缆链路的转移阻抗Z..记录于附录A表 A.3 中。 7. 4 插人损耗 7.4.1用网络分析仪测量静电放电靶-衰减器-电缆链路的插人损耗，网络分析仅的测量模式设置为传输测量S,，或S，，扫描类型设置为对数频率，源信号功率设置为-10dBm，
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JJF （电子 0040—2019
中额带宽设为不大于100Hz，起始频率为9kHz，终止额率大于等于4CHz。 7.4.2如图4所示，将测试电绩和10dB衰减器接人网络分析仪的测试端口，对网络分析仪进行测量前的直通校准。
e）进行校准的地点（如果与实验室的地址不同)； d）证书或报告的唯一性标识(如编号），每页及总页数的标识；
客户的名称和地址；
e) D g)
被校准对象的损述和明确标识；进行校准的日期，如果与校准结果的有效性有关时，应说明被校对象的接收日期；
网络分析仪
b）如果与校准结果的有效性应用有关时，应对被校样品的抽样程序进行说明； 1）校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号；）本次校准所用测量标准的测源性及有效性说明； k）校准环境的措述； 1）校准结果及其测量不确定度的说明； m）对校准规范的偏离的说明； n）校准证书签发人的签名、职务或等效标识； o）校准结果仅对被校对象有效的说明； p）未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明。 复校时间间隔建议复校时间间隔不超过1年。由于复校时间闻隔的长短是由仪器的使用情况、使
衰减器
图4 直通投准连接示意图
7.4.3 按图5连接校准适配器和静电放电靶-衰减器-电缆链路，校准适配器和静电放电靶的端面对接使固定位对齐并固定，测试线缆和衰减器接至校准适配器，静电放电肥衰减器-电缆链路输出端接至网络分析仪的输人端。
网络分析仪
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用者、仪器本身质量等诸多因素决定的，因此，送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间陷。
衰减器
校准活配器图5暂人损耗校准连接示意
静电波电配链路
7.4.4 用网络分析仪标记功能读取各额率点的测量结果，所选频率点应包括起始额率 9kHz和上限频率4GHz，网络分析仪示值的绝对值即为静电放电靶-衰减器-电缆链路的插人损耗S'n，记录于附录A表A.4中。 7.4.5 用式(4)计算插人损耗的示值误差：
= 20lg[2Z../(R_, +50)] S′m
++++++* (4)
式中; 4 20lg[2Z_./(R_, +50) J 插人损耗标称值，dB； S’n 网络分析仪测量值，dB。
插人损耗示值误差，dB；
8 校准结果表达
校准后，出具校准证书。校准证书应至少包含以下信息： a）标题："校准证书"； b）实验室名称和地址；
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273 JJF (电子) 0040—2019
JJF (电子) 0040—2019
附录A
附录 B
原始记录格式
校准证书内页格式
A.1 外观及工作正常性检查
B.1 外观及工作正常性检查
表入.1外观及工作正常性检查
表B.1外观及工作正常性检查
项目外观检查工作正常性检查
检查结果
检查结果
项目外观检查工作正常性检查
A.2 输入阻抗
B.2 输入阻抗
表A.2输入阻抗
来B.2输入阻抗
测量值/0
标称值/n
误差/0
标称值/D
测量值/0
误差/0
不确定度(=2)
不确定度(=2)
A.3 转移阻抗
B.3 转移阻抗
表A.3 转移阻
素B.3转移阻抗电压值/V
电流值/A
不确定度(=2)
电压值/V
电流值/A
转移阻抗/V/A
不确定度(=2)
转移阻抗/V/A
A.4插入损耗
B. 4 插入损耗
兼B.4 插入损耗测量值/dB
表 A.4 撬入损耗
不确定度/dB (& =2)
不确定度/dB (k =2)
期事 9kHz
标称值/dB
误差/dB
误差/dB
测量值/dB
频事 9kHz -. 4000MHx
标脉值/dB
4000MHz
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JJF （电子） 0040—2019
附录 C
C.1.4合成标准不确定度 C. 1. 4. 1 主要不确定度汇总表
测量不确定度评定示例
不确定度来军(=) 数字多用表量大允许误差，，
s,(0)
,(0) 0. 01 0. 0005 0.00172
k, V5 0. 0058 V3
示值分辨力，，测量重复性，%，
0. 00029 0.00172
C. 1 输入阻抗测量结果不确定度评定 C. 1.1 测量模型
C.1.4.2合成标准不确定度计算
以上各项不确定度分量相互独立不相关，合成标准不确定度为：
用数字多用表测量静电放电靶-衰减器-电缆链路输人阻抗的测量模型为：
s, = /, + , =0. 0060
R_ = R, +8pau +8g
(C. 1)
式中; R. 输人阻抗标称值，0； R, 数字多用表示值，0； Sus 数字多用表误差，0； 6+
C. 1.5 扩展不确定度
取包含因子&=2，则扩展不确定度为： U=ka,=0.0120,&=2;相对扩展不确定度U_，=0.6%,k=2。
C.2 插入损耗测量结果不确定度评定 C. 2. 1 测量模型
—示值分辨力误差。
C.1.2不确定度来源
不确定度来源主要有数字多用表最大允差、示值分辨力误差、测量重复性引人的不确定度分量。 C.1.3标准不确定度评定 C.1.3.1 数字多用表阻抗测量最大允差引人的不确定度分量
用网络分析仪测量静电放电肥-衰减器-电缆链路插人损耗的测量模型为：
Am = A, + 8,abm +8, ++++++++++++++++ (C,. 2)
式中： Aam 静电放电靶-衰减器-电缆链路的插人损耗，dB；
网络分析仪示值，dB；
数字多用表阻抗测量最大允许误差为±0.5%，则测量阻抗20时最大允许误差为 ±0.010，按均匀分布，取=3，则不确定度分量%，=0.010/3=0.00580。 C.1.3.2示值分辨力引入的不确定度分量%
4, 8xmlmm 网络分析仪测量误差，dB；
系统失配引入的误差，dB。
8r C.2.2 不确定度来源
数字多用表阻抗测量时分排力为0.0010，半区间c=0.00050，按均匀分布，取k= /3，则不确定度分量tz=0.00050//3=0.000290。 C.1.3.3 测量重复性引人的标准不确定度分量
不确定度来源主要有网络分析仪电平动态准确度、传输系数模值误差、系统失配误差、测量重复性引人的不确定度分量等。 C.2.3标准不确定度评定 C. 2. 3. 1 网络分析仪电平测量动态准确度引人的不确定度分量
对静电放电靶-衰减器-电缆链路的输人阻抗进行10次重复性测量，结果见下表(0)：测量序号
1
2
3
4
5
测量结果 1.997 1.995 1. 998 1.995 1.996 测量序号
网络分析仪-50dB时电平测量动态准确度约为±0.20dB，按均勾分布，取=/3，则不确定度分量a，=0.20dB//3=0.115dB。 C. 2.3.2 网络分析仪传输模值误差引人的不确定度分量"
7 1.999 标准差：
8 1.997 0. 00172
9 1.996
10 1.999
6 1. 994 1. 9966
测量结果平均值主
网络分析仪传输模值测量9kHz~4GHz最大允许误差为±0.056dB，按均勾分布，取 =/3,则不确定度分量s,=0.056dB//5=0.033dB。 C.2.3.3 网络分析仪示值分辨力引入的标准不确定度分量当
(-
( 1) = 0. 001720
则μ =s : 由于测量重复性包含了人员读数时因分辨力引人的误差，因此由分辨力引人的不确
网络分析仪测量电平时分解力为0.01dB，接均匀分布，=5，由分辨力引入的不确定度分量为;,=0.005 dB//5=0.0029dB。
定度分量和测量重复性引人的不确定度分量=，取大者。
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