ICS 17.120 N12 备案号：583202017
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T13111——2017
热式质量流量传感器
Thermal mass flow sensor
2018-01-01实施
2017-04-12发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T13111---2017
目 次
前言，
I1
范围 2规范性引用文件 3术语和定义. 4基本参数 5要求.. 6试验方法 7检验规则 8标志、包装、运输和贮存.
1
6
表1管路外径与安装尺寸.. 表2准确度指标表3灵敏度漂移. 表4检验项目
2
.3 JB/T13111—2017
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。 本标准起草单位：郑州炜盛电子科技有限公司、沈阳仪表科学研究院有限公司、河南汉威电子股份
有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、传感器国家工程研究中心、中国仪器仪表协会传感器分会。
本标准主要起草人：陈凌飞、张小水、刘建钢、古瑞琴、秦东振、祁泽刚、徐秋玲、于振毅、郑浩、 刘沁、殷波。
本标准为首次发布。
II JB/T13111-2017
热式质量流量传感器
1范围
本标准规定了热式质量流量传感器的术语和定义、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、 包装、运输和贮存。
本标准适用于热式质量流量传感器（以下简称传感器）。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温 GB/T2423.2一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.5一1995电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击 GB/T2423.10一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc和导则：振动
（正弦）
GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划
GB/T28292002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T7665传感器通用术语
3术语和定义
GB/T7665界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
热式质量流量传感器 thermalmassflowsensor 利用热传递原理，将感受到的流体质量流量转化成输出信号的传感器。
4基本参数 4.1分类 4.1.1按检测元件
按检测元件分为： MEMS式一非MEMS式。
4.1.2按安装方式
按安装方式分为：一插入式； JB/T13111-2017
分流式。
4.2测量范围 4.2.1传感器的测量范围
传感器的测量范围应符合产品详细规范的规定：除另有规定外，推荐从下列范围中选取： 0~1×10"、0~2×10"，0~3×10″5~1×10″6~1×10″、8~1×10"。 注：其中n为整数，n=0，±1，±2，±3，..。
4.2.2 测量单位
国际常用单位：sccm、slm 国内常用单位：kg/h、t/h。 注1：sccm（standardcubiccentimeterperminute）：气体流量单位，指在温度为0℃（273.15K），气压为101.325kPa
状态下每分钟流过的气体毫升数。 注2：slm（standardliterperminute）：气体流量单位，指在温度为0℃（273.15K）、气压为101.325kPa状态下每分
钟流过的气体升数。
4.3工作电压
推荐使用的直流电压为3V、3.3V、5V、6V、9V、10V、12V、15V、18V、24V等。 4.4安装尺寸
传感器的管路外径与安装尺寸应符合表1的规定。
表1管路外径与安装尺寸
单位为毫米
管路外径
安装尺寸 M3 M4 M5 M6 M8 M10 M12
1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 5 6 80 10
一
5要求
5.1外观
传感器的外观应无瑕疵、划痕、锈蚀和损伤，安装螺纹部分应无毛刺。
2 JB/T131112017
5.2准确度
传感器的准确度应满足表2的要求。
表2准确度指标
准确度 %FS ±0.1 ±0.2 ±0.5 ±1.0 ±1.5 ±2.5 ±4
准确度等级
0.1 0.2 0.5 1.0 1.5 2.5 4
5.3响应时间
MEMS传感器响应时间应不大于20mS，非MEMS传感器响应时间应不大于2S。 5.4零点漂移
传感器连续工作2h后，零点漂移量从下列值中选取：小于0.05%FS、0.1%FS、0.25%FS、0.5%FS。 5.5 5灵敏度漂移
传感器连续工作7d后，信号灵敏度漂移应符合表3的规定。
表3 灵敏度漂移
灵敏度漂移
准确度等级
%FS ±0.1 ±0.2 ±0.5 ±1.0 ±1.5 ±2.5 ±4
0.1 0.2 0.5 1.0 1.5 2.5 4
5.6绝缘电阻
在正常环境下，传感器的绝缘电阻应不小于100M2；稳态湿热后应不小于50M2。 5.7 温度影响
在（0～50）℃温度范围内，传感器准确度应符合表2的规定。 5.8 冲击
传感器经冲击试验后，准确度应符合表2的规定。
3 JB/T13111--2017
5.9振动
传感器经振动试验后，准确度应符合表2的规定。
6试验方法
6.1试验条件 6.1.1试验环境
试验的环境条件为：
温度：（5～45）℃； —相对湿度：30%～95% 大气压力：（86～106）kPa。
6.1.2试验准备
将被测传感器的电源、读数装置和能满足测量精度的流量发生装置，按产品规定的流量系统图和电路图连接好，接通电源，预热10min后开始试验（以下简称调好试验装置）。 6.2外观
用目测方法或用5倍的放大镜检测外观。 6.3准确度
准确度的试验方法及步骤如下：
-调好试验装置，将0%、20%、50%、80%、100%量程的气体流量由低到高通入传感器，通气时间均为3min，分别记录传感器输出值；将100%、80%、50%20%、0%量程的气体流量由高到低通入传感器，通气时间均为3min，
分别记录传感器输出值；重复此试验3次，各测点取其算术平均值，以绝对值最大的为试验结果。
按公式（1）计算其准确度，结果应符合5.2的规定。
4= 4=4α x100%
(1)
Am
式中： 4—准确度：%FS： A,-被测气体流量的算术平均值； A -被测气体标准流量值； A-一量程。
6.4响应时间
响应时间的试验方法及步骤如下：
调好试验装置，通入80%量程的气体流量，待信号输出稳定，记录传感器输出值：一关闭至零气体流量，待信号输出稳定，记录传感器输出值：一将在零流量中稳定的传感器迅速通入80%量程的气体流量，用示波器记录传感器从10%输出
值达到稳定值90%所需的时间；重复4次，取其后3次的算术平均值作为响应时间值。
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