ICS 13. 030. 20 CCS Z 05
HG
中华人民共和国化工行业标准
HG/T5962—2021
硅片切割废液处理处置方法
Treatment and disposal method for waste liquid of silicon cutting
2022-02-01实施
2021-08-21发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 HG/T5962—2021
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国石油和化学工业联合会提出。 本文件由全国废弃化学品处置标准化技术委员会（SAC/TC294）归口。 本文件起草单位：嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、
广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、渤海宏铄（连云港）清洁技术有限公司。
本文件主要起草人：金月祥、王彦、茹伟原、阮忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿宇、王莹、黄正浩。
1 HG/T5962—2021
硅片切割废液处理处置方法
1范围
本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。 本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB5085.7 危险废物鉴别标准通则 GB8978 污水综合排放标准 GB 16297 大气污染物排放标准 GB 18599 般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准
3术语定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
硅片切割废液的组成
硅片切割废液（浆）的主要成分见表1。
表 1
含 量
成 分
砂线配合砂浆切割
金刚线硅片切割
离线废浆料 45~47 44~46 5~7 2~4
在线废浆料 19~21 31~33 46~48 0.9~1.1
聚乙二醇w/% 碳化硅w/% 硅粉w/% 水w/% 金属杂质w/%
47~49 50~52 0.9~1.1
1 HG/T5962—2021
5硅片切割废液的处理处置方法
5.13 金刚线硅片切割废液处理处置
5.1.1方法提要
切割废液（废水、冷却液）经压滤分离，液相经净化处理后得到回收水回用，固相（固废）经处理后可回收硅。 5. 1.2 2工艺流程简述
切割废液（废水、冷却液）统一收集于废水收集池，用板框压滤机进行固液分离。液体经陶瓷滤膜过滤后，大部分返回切割工艺回用（得到的回用水），少量高浓废水进人污水站高浓废水池进行进一步处理。固废中含有硅粉及少量金属杂质，经处理后交由具有硅回收能力的企业进行硅提纯处理。 5.1.3工艺流程图
金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程见图1。
金刚线切片机 切割废液（废水、冷却液）
废水收集池
板框压滤机
固废处理（硅粉及少量金属杂质）
陶瓷滤膜过滤
污水站高浓废水池
回用水收集罐
图1金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程
5.1.4 工艺控制参数
5.1.4. 1 切割废液处理温度：50℃60℃。 5.1.4.2 2搅拌时间：30min~60min。 5.1.4.3 3水洗：pH6~8。 5. 1.4. 4 烘干温度：105℃~110℃。 5.1.4.5 5烘干时间：60min~90min。 5. 1.5 5主要生产设备
切割废液处理主要设备包括：加热搅拌装置、板框压滤机、陶瓷膜过滤器及收集罐。 5.1.6 6各工序处理效果及计算
各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求： a） 回用水不溶物含量不大于10g/L；
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b）回用水pH为6～8。 5.2砂线配合砂浆切割废液处理处置 5.2.1切割废浆料（离线）处理处置 5.2.1.1方法提要
切方后的切割废浆料（离线）经压滤分离得到聚乙二醇（高浓度），回用于切片工序。滤饼（砂料）加入后续工序产生的回用液调制成浆，进行四道循环压滤得到聚乙二醇和含微硅粉的碳化硅，再经处理后得到成品聚乙二醇和碳化硅，可再利用。 5.2.1.2工艺流程简述
切方后的切割废浆料（离线）经压滤机固液分离得到聚乙二醇（高浓度）。滤饼（砂料）加入后续工序产生的回用液调制成浆，进行四道循环压滤得到聚乙二醇，再经吸附脱色、脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇，与得到的聚乙二醇（高浓度）一并用于硅片切割。成品聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。
含微硅粉的碳化硅（滤饼）加人去离子水和聚乙二醇蒸发冷凝水，经悬流分离、底流筛分、带式过滤、碱洗、酸洗、水洗后，烘干脱水、筛分，得到成品碳化硅及微硅粉（含少量或微量碳化硅）。 成品聚乙二醇及成品碳化硅回收再利用。微硅粉（含少量或微量碳化硅）统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物（般性工业废物）。 5.2.1.3工艺流程图
切割废浆料（离线）处理处置工艺流程见图2。
3 HG/T5962—2021
废浆料（离线）
搅拌
压滤分离
聚乙二醇（高浓度）
回用液
滤饼（砂料）
聚乙二醇
吸附脱色 活性炭
四道循环压滤
御科压港
悬流分离
去离子水
脱悬压滤 活性炭（废）
底流筛分
微硅粉
带式过滤
反冲洗废水废树脂
碱液、酸液反冲洗去离子水
树脂交换
碱洗水洗
碱液
微孔过滤 一浆渣
敲洗
酸液 酸洗水洗 酸洗
废水
冷凝水
烘干分级
蒸发脱水
成品聚乙二醇
成品碳化硅等外碳化硅
图2切割废浆料（离线）处理处置工艺流程
5.2.1.4工艺控制参数
5.2.1. 4. 1 碳化硅回收工序 5.2. 1.4.1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1. 2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2.1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h～5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1)。 5. 2.1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5.2.1. 4.1.7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃～110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。 4 HG/T5962—2021
5.2.1.4.2聚乙二醇回收工序 5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃110℃。
5.2.1.5主要生产设备
切割废浆料（离线）处理处置碳化硅回收工序和聚乙二醇回收工序主要设备包括：
加热搅拌装置、板框压滤机、四道循环压滤装置、悬流分离装置、底流筛分装置、带式过滤
a)
机、烘干机及筛分收集系统等； b） 聚乙二醇脱色装置、板框压滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置等。
5.2.1.6各工序处理效果及计算
各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求： a） 成品碳化硅回收率不小于88%； b）成品聚乙二醇（含用于切片回用）回收率不小于98%。
5.2.2切割废浆料（在线）处理处置 5.2.2.1方法提要
切割废浆料（在线）先分离出规定粒度的碳化硅，收集回用。不符合要求的砂浆再经压滤得到聚乙二醇及废浆料（在线）。废浆料（在线）经固液分离，液相经蒸馏、汽提后得到成品聚乙二醇，固相统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物（一般性工业废物）。 5.2.2.2工艺流程简述
废浆料（在线）经螺旋沉降离心，分离出粒度符合切割砂浆要求的碳化硅，收集回用。不符合切割要求的废砂浆再经压滤，得到聚乙二醇及含少量碳化硅的聚乙二醇微硅粉浆，微硅粉浆经四道循环压滤使固液分离，液相聚乙二醇经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇。成品聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。
微硅粉（含少量碳化硅）统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物（一般性工业废物）。 5.2.2.3工艺流程图
废浆料（在线）处理处置工艺流程见图3。
LP HG/T5962—2021
废浆料（在线）
螺旋沉降离心分离
废砂浆压滤
回用碳化硅
聚乙二醇微硅粉浆
去离子水· 四道循环压滤 聚乙二醇 吸附脱色 活性炭
-
微硅粉
脱悬压滤
活性炭（废）
碱液、酸液反冲洗去离子水
反冲洗废水废树脂
树脂交换
微孔过滤 一浆渣
冷凝水
成品聚乙二醇。
蒸发脱水
图3废浆料（在线）处理处置工艺流程
5.2.2.4工艺控制参数 5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。 5.2.2.4.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.2.4.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃。 5.2.2.5主要生产设备
切割废浆料（在线）处理处置的主要设备包括：四道循环压滤装置、聚乙二醇脱色装置、板框压滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馅脱水装置。 5.2.2.6各工序处理效果及计算
成品聚乙二醇回收率不小于95%，按附录A计算。
6环保排放要求
6.1废水
硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废水，应经综合处理后，达到循环使用要求的送至生产工艺中。不能达到循环使用要求的，应进行无害化处理处置，若排放应符合GB8978的要求。 6.2废气
硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废气，应采用专业的喷淋吸收等，进行无害化处理，
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