ICS 71.060.30 CCS G 11
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T418812022
电子级硫酸
Electronicgradesulphuricacid
2022-10-12发布
2023-05-01实施
国家市场监督管理总局 发布
国家标准化管理委员会 GB/T41881—2022
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国石油和化学工业联合会提出。 本文件由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63)归口。 本文件起草单位：湖北兴福电子材料有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司、中石化南京化工研究
院有限公司、安阳氓山环能高科有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、苏州双狮环境科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、江苏电科环保有限公司、东莞市惟思德科技发展有限公司、淄博明泰电器科技有限公司、江苏省产品质量监督检验研究院、江苏中德电子材料科技有限公司、苏州热工研究院有限公司、中国硫酸工业协会、湖北兴发化工集团股份有限公司、衢州学院、江苏阳恒化工有限公司。
本文件主要起草人：李少平、邱爱玲、杨着、钱森林、何志军、张永萍、孙雪玲、顾玲燕、顾林建、 戈士勇、薛国彬、章文福、白宗玉、王伟、戈烨铭、顾鑫、李崇、周俊、吕亮、王小弟、孙建民、殷福华、何珂。
I GB/T41881—2022
电子级硫酸
警示一本文件中使用的部分试剂具有毒性或腐蚀性，部分操作具有危险性。本文件并未揭示所有可能的安全问题，使用者应严格按照有关规定正确使用，并有责任采取适当的安全和健康措施。
1范围
本文件规定了电子级硫酸的要求、试验方法、检验规则及标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于芯片、半导体、集成电路等用途的电子级硫酸。
2
规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂 色度测定通用方法 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1 电子级水 GB 15346 化学试剂包装及标志 GB50073 洁净厂房设计规范
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4要求
4.1外观
电子级硫酸应为无色透明液体，无肉眼可见杂质。 4.2规格
电子级硫酸按纯度分为E1级、E2级、E3级、E4级、E5级共5个等级，其技术指标应符合表1的规定。
1 GB/T41881—2022
表1 技术指标
指标 E3级
项目
E2级
E5级
E1级 95.0~98.0 95.0~98.0 95.0~98.0 95.0~98.0 95.0~98.0
E4级
硫酸H2SO.） w/% 色度/黑曾单位颗粒≥0.5μm/（个/mL) 颗粒≥0.3μm/（个/mL）颗粒≥0.2μm/（个/mL) 颗粒≥0.1μm/（个/mL）氟化物（CI-）w/（mg/kg）硝酸盐（NO;） w/(mg/kg) 磷酸盐（PO-） w/(mg/kg) 铵盐(NHt） w/(mg/kg) 还原高锰酸钾物质（以SO：计)， w/(mg/kg) 铝(AI) w/(μg/kg) 砷(As) w/(μg/kg) 钡(Ba) w/ (μg/kg) 硼(B) w /(μg/kg) 镉(Cd) w/(μg/kg) 钙(Ca) w /(μg/kg) 铬(Cr) w / (μg/kg) 钻(Co) w/ (μg/kg) 铜(Cu) w / (μg/kg) 金(Au) w/(μg/kg) 铁(Fe) w/(μg/kg) 铅(Pb) w / (μg/kg) 锂(Li) w/ (μg/kg) 镁(Mg) w/(μg/kg) 锰(Mn) w/(μg/kg) 镍(Ni) w/(μg/kg) 钾(K) w/(μg/kg)
≤ 10 ≤ 2 ≤ 20 ≤ 100 200 300 ≤ 300
10 25 一一一 0.1 0.2 0.5 1
10 100 一 - 一 0.1 0.2 0.5 1
10 4 50
10 5 100
500
一
≤ 0.05 0.05 0.05 ≤ 0.1
0.1 0.1 0.5
0.1 0.1 0.5
≤ 0.1 ≤ 0.5
≤ 1 1 1 2 2 ≤ 0.01
0.1 0.1 0.1 0.1
50 5 50 50 50 200 20 20 20 50 50 50 50 50 20 20 50
1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
10 5 10 20 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10
≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 0.1 ≤ 0.01 0.1 ≤ 0.01
0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01
2 GB/T41881—2022
表1技术指标(续)
指标 E3级 1 1 1 1 1 1 1 1 1
项目
E2级 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
E1级
E4级 10 10 10 10 10 10 10 10 10
E5级 20 100
银(Ag) w/ (μg/kg) 钠(Na) w/(μg/kg) 铊(TI) w/(μg/kg) 锅(Sn) w/(μg/kg) 钛(Ti) w/(μg/kg) 钒(V) w/(μg/kg) 锌(Zn) w/(μg/kg) 铂(Pt) w/(μg/kg) 锑(Sb) w/(μg/kg)
≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 ≤ 0.01 I 0.01 ≤ 0.01
50 50
50 - 20
注：指标中的“二”表示该类别产品的技术要求中没有此项目。
5 试验方法
5.1 一般规定
本文件所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂，所用水为GB/T11446.1规定的EW-I 级电子级水。试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按 GB/T601、GB/T602、GB/T603的规定配制。 5.2外观检验
量取50mL试样，注人50mL比色管中，沿比色管直径对光观察，与同体积水比较，应透明，无肉眼可见杂质。 5.3 硫酸质量分数的测定 5.3.1 原理
以甲基红-亚甲基蓝混合指示液为指示剂，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定，测得硫酸的质量分数。 5.3.2 试剂 5.3.2.1 氢氧化钠标准滴定溶液：c(NaOH)=0.5mol/L。 5.3.2.2 甲基红-亚甲基蓝混合指示液。 5.3.3分析步骤
称取约0.7g试样，精确到0.0001g，置于已知质量的带磨口盖的小称量瓶中，小心移入盛有 50mL水的250mL锥形瓶中，冷却至室温。向试液中加人2滴3滴甲基红-亚甲基蓝混合指示液，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液呈灰绿色为终点。
3 GB/T 41881—2022
5.3.4 4试验数据处理
硫酸（HzSO,）的质量分数（w），按式(1)计算：
Wi = 2000m VeM
X100%
（1)
式中： Wi- 硫酸（H2SO,)的质量分数； V
滴定时耗用氢氧化钠标准滴定溶液的体积，单位为毫升（mL）；氢氧化钠标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升（mol/L)；
c M 硫酸的摩尔质量，单位为克每摩尔（g/mol)（M=98.08g/mol)；
-
试料的质量，单位为克（g）。
m 取平行测定结果的算术平均值为测定结果，平行测定结果的绝对差值应不大于0.20%。
5.4 色度的测定
量取50mL试样，注人50mL比色管中，在白色背景下，沿比色管轴线方向观察，试样颜色不应深于GB/T605规定的色度标准10黑曾单位。 5.5 颗粒的测定 5.5.1原理
液体试样通过激光通道时，试样中颗粒造成光束的散射，散射的光转化为电脉冲，电脉冲在振幅上与光量成正比，也与颗粒的尺寸成正比， 5.5.2仪器
激光液体颗粒计数仪：检测范围为0.1μm~0.5μm。 5.5.3 环境条件
实验室的空气洁净度等级应不低于GB50073中规定的2级。 5.5.4分析步骤
根据仪器和分析要求选择仪器工作条件，按照仪器操作规程设定仪器清洗程序和测定程序。 根据分析要求进行通道设置：0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm。 试样的温度应与室温相同。试样放在工作台上静置不少于5min后进行颗粒测定，同时记录测量
结果。 5.6氯化物质量分数的测定 5.6.1原理
在硝酸介质中，氯离子与银离子生成难溶的氯化银。当氯离子含量较低时，在一定时间内氯化银呈悬浮体使溶液浑浊，不同浓度的氯化银悬浮体所呈的浊度不同，由此可用目视比浊法测定试液中氟化物的质量。 5.6.2试剂 5.6.2.1硝酸溶液：1十3。
4 GB/T 41881—2022
5.6.2.2硝酸银溶液：17g/L。 5.6.2.3氯化物(Cl-）标准溶液：0.1mg/mL。 5.6.2.4氯化物（Cl-）标准溶液：0.01mg/mL。
量取10.00mL氯化物标准溶液（5.6.2.3）置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。此溶液使用时现配。 5.6.3分析步骤
量取27.2mL（50g）试样，注人20mL水中，冷却至室温，稀释至50mL，加人4mL硝酸溶液、 1mL硝酸银溶液，摇匀，放置10min，溶液所呈浊度不应大于标准比浊溶液。
标准比浊溶液按照下列数量的氯化物标准溶液（5.6.2.4)制备：
一E4级、E5级：0.5mL； -E1级、E2级、E3级：0.25mL。
：用水稀释至50mL，加人4mL硝酸溶液、1mL硝酸银溶液，摇匀。 5.7硝酸盐质量分数的测定 5.7.1原理
硝酸根对靛蓝二磺酸钠的氧化作用使靛蓝二磺酸钠发生褪色反应，褪色程度与硝酸根含量呈线性关系。 5.7.2试剂 5.7.2.1氯化钠溶液：100g/L。 5.7.2.2靛蓝二磺酸钠溶液：0.001mol/L。 5.7.2.3无硝酸盐的硫酸：将优级纯硫酸按1十1的比例用水稀释后，加热蒸发至冒强烈的硫酸蒸气，冷却。重复处理一次。 5.7.2.4硝酸盐（NOs-）标准溶液：0.1mg/mL。 5.7.2.5硝酸盐（NO3-）标准溶液：0.01mg/mL。
量取10.00mL硝酸盐标准溶液（5.7.2.4）置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。此溶液使用时现配。 5.7.3分析步骤
量取15mL水，加人1mL氯化钠溶液、1mL靛蓝二磺酸钠溶液，摇匀，在摇动过程中加人27.2mL (50g)试样，冷却，所呈蓝色不应浅于标准比对溶液
标准比对溶液按照下列数量的硝酸盐标准溶液（5.7.2.5）制备：
-E4级、E5级：1.0mL； -E1级、E2级、E3级0.5mL。
用水稀释至约15mL，加人1mL氯化钠溶液、1mL靛蓝二磺酸钠溶液，摇匀，在摇动过程中加人 27.2mL无硝酸盐的硫酸。 5.8磷酸盐质量分数的测定 5.8.1原理
在浓度c(HNO:)为0.4mol/L～1.4mol/L的硝酸溶液中，正磷酸能定量与钼酸铵作用，生成磷钼杂多酸（磷钼黄），磷钼黄可被乙酸丁酯从1.0mol/L～1.4mol/L的硝酸溶液中定量萃取，从而与干扰
5 GB/T 41881—2022
化合物砷酸盐及过量试剂钼酸铵分离。加人氯化亚锡-抗坏血酸溶液，将磷钼黄还原为磷钼蓝。根据磷钼蓝颜色的深浅，用目视比色法测定磷酸盐含量。 5.8.2试剂 5.8.2.1 乙酸丁酯。 5.8.2.2 无水乙醇。 5.8.2.3 盐酸溶液：1十1。 5.8.2.4 盐酸溶液：1十8。 5.8.2.5 硝酸溶液：1十5。 5.8.2.6 钼酸铵溶液：100g/L。 5.8.2.7 氯化亚锡-抗坏血酸溶液。 5.8.2.8 磷酸盐（PO,3-）标准溶液：0.1mg/mL。 5.8.2.9 磷酸盐（PO,3-）标准溶液：0.01mg/mL。
量取10.00mL磷酸盐标准溶液（5.8.2.8）置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。此溶液使用时现配。
5.8.3分析步骤
量取5.5mL（10g）试样，注入石英血中，置于低温电炉上加热至硫酸蒸气逸尽，加入5mL水及
2mL盐酸溶液（5.8.2.3)溶解残渣，蒸干，用10mL水分次溶解残渣，移至50mL分液漏斗中。加人 10mL硝酸溶液、2mL钼酸铵溶液，放置20min。准确加人10mL乙酸丁酯，萃取，静置分层。弃去水相，有机相用盐酸溶液（5.8.2.4)洗涤两次，每次5mL，分出水相。在有机相中加入0.2mL氯化亚锡-抗坏血酸溶液，轻轻摇动，静置分层。弃去水相，加人1mL无水乙醇，摇匀。有机相所呈蓝色不应深于标准比对溶液。
标准比对溶液按照下列数量的磷酸盐标准溶液（5.8.2.9)制备：
E4级、E5级：0.5mL； E1级、E2级、E3级：0.1mL。
用水稀释至10mL，与同体积试液同时同样处理。 5.9铵盐质量分数的测定 5.9.1原理
以游离的氨或铵离子等形式存在的铵氮与纳氏试剂反应生成黄棕色络合物，该络合物的色度与铵
氮的含量成正比，可用目视比色法测定。 5.9.2试剂 5.9.2.1 无氨的水。 5.9.2.2 无氨的氢氧化钠溶液：320g/L。 5.9.2.3 硫酸溶液：1十100。 5.9.2.4 纳氏试剂。 5.9.2.5 铵（NH，+）标准溶液：0.1mg/mL。 5.9.2.6 5铵（NH,+）标准溶液：0.01mg/mL。
量取10.00mL铵标准溶液（5.9.2.5）置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。此溶液使用时现配。
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