GB/T 36653-2018
电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium
2018-09-17发布
2019-01-01实施
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。