内容简介
微制造与纳米技术
作 者： N.P.Mahalik 编；蔡艳，吴毅雄 等 译
出版时间： 2015
丛编项： 国际制造业先进技术译丛
内容简介
《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。
目录
译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
11背景介绍
12概述
121精密工程
122微铣削和微型钻孔
13微机电系统
14微电子制造方法
141体微加工
142表面微加工
15微型化仪器
16微机械电子
17纳米修整
18光变图像
19微能源和化学系统
110空间微推进
111电子束纳米印刷
112纳米技术
113碳纳米管及其结构
114分子逻辑门
115纳米尺度生物传感器
116C60及其衍生物的化学
交联
117燃料电池
118参考文献
第2章微机电系统与微光机电
系统原理21概述
22执行器的驱动原理
23制造工艺
24机械微机电系统
241机械传感器
242加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
243扬声器
244陀螺仪
245机械执行器
25热微机电系统
251计温学
252数据存储应用
253微型加热器气体
传感器
254热执行器
26磁微机电系统
27微光机电系统
28空间光调制器